ICS23160

CCSJ7.8

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T43916—2024/ISO201462019

:

真空技術(shù)真空計(jì)電容薄膜真空計(jì)的

規(guī)范校準(zhǔn)和測(cè)量不確定度

、

Vacuumtechnolo—Vacuumaues—Secificationscalibrationand

gyggp,

measurementuncertaintiesforcapacitancediaphragmgauges

ISO201462019IDT

(:,)

2024-04-25發(fā)布2024-04-25實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T43916—2024/ISO201462019

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

組成

3.1…………………2

物理參數(shù)

3.2……………2

其他參數(shù)

3.3……………3

縮略語(yǔ)

4……………………5

電容薄膜真空計(jì)

5…………………………5

原理

5.1…………………5

電容薄膜真空計(jì)規(guī)范

6……………………6

電容薄膜真空計(jì)類型

6.1………………6

規(guī)管溫度控制

6.2………………………6

信號(hào)輸出單元的顯示和測(cè)量

6.3………………………6

電容薄膜真空計(jì)的測(cè)量范圍

6.4………………………6

目標(biāo)測(cè)量不確定度

6.5…………………6

零點(diǎn)和全量程的溫度系數(shù)

6.6…………7

分辨力

6.7………………7

規(guī)管響應(yīng)時(shí)間

6.8………………………7

預(yù)熱時(shí)間

6.9……………7

允許壓力最大負(fù)載壓力

6.10()…………7

破壞壓力爆破壓力

6.11()………………7

接觸氣體的材料

6.12……………………7

規(guī)管安裝方向

6.13………………………7

腔室的接口

6.14…………………………7

內(nèi)部容積

6.15……………7

接口和引腳連接

6.16……………………7

規(guī)管和控制器的兼容性

6.17……………7

規(guī)管和控制器的尺寸和質(zhì)量

6.18………………………8

常規(guī)工作環(huán)境條件

6.19()………………8

儲(chǔ)存和運(yùn)輸條件

6.20……………………8

供電要求

6.21……………8

電容薄膜真空計(jì)附加可選規(guī)范

7()………………………8

Ⅰ

GB/T43916—2024/ISO201462019

:

復(fù)現(xiàn)性長(zhǎng)期穩(wěn)定性

7.1()………………8

零點(diǎn)的傾斜效應(yīng)

7.2……………………8

零點(diǎn)重復(fù)性

7.3…………………………8

加壓至滿量程后的零點(diǎn)耐久度

7.4……………………8

加壓至滿量程后的量程耐久度

7.5……………………8

加壓至允許壓力后的零點(diǎn)耐久度

7.6…………………8

加壓至允許壓力后的量程耐久度

7.7…………………9

更新間隔

7.8……………9

連接管內(nèi)徑

7.9…………………………9

纜線長(zhǎng)度

7.10……………9

壓力設(shè)定點(diǎn)

7.11…………………………9

照片

7.12…………………9

檢測(cè)記錄和校準(zhǔn)證書(shū)

7.13………………9

校準(zhǔn)

8………………………9

校準(zhǔn)程序

8.1……………9

校準(zhǔn)不確定度

8.2………………………10

校準(zhǔn)證書(shū)

8.3……………10

使用中的測(cè)量不確定度

9…………………10

附錄資料性熱流逸效應(yīng)補(bǔ)償

A()………………………11

參考文獻(xiàn)

……………………14

Ⅱ

GB/T43916—2024/ISO201462019

:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件等同采用真空技術(shù)真空計(jì)電容薄膜真空計(jì)的規(guī)范校準(zhǔn)和測(cè)量不確

ISO20146:2019《、

定度

》。

本文件做了下列最小限度的編輯性改動(dòng)

:

對(duì)圖中的符號(hào)補(bǔ)充了標(biāo)引序號(hào)說(shuō)明

———A.1。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)提出

。

本文件由全國(guó)真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC18)。

本文件起草單位中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院上海振太儀表有限公司蘭州空間技術(shù)物理研究所淄博市

:、、、

計(jì)量技術(shù)研究院安徽歌博科技有限公司湖南維格磁流體股份有限公司安徽萬(wàn)瑞冷電科技有限公司

、、、、

沈陽(yáng)匯真真空技術(shù)有限公司廣州涂氏精怡科技有限公司惠州市宇之光科技有限公司廣東唯沃科技

、、、

有限公司河南華佳新材料技術(shù)有限公司深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)有限公司中核第七研究設(shè)計(jì)院有限

、、、

公司安徽精一門(mén)科技發(fā)展有限公司四川新途流體控制技術(shù)有限公司中科九微科技有限公司沈陽(yáng)真

、、、、

空技術(shù)研究所有限公司

。

本文件主要起草人于紅燕王金庫(kù)丁基敏唐云劍成永軍高翔孫雯君崔永鳳朱迎青言繼春

:、、、、、、、、、、

言文靜丁懷況宋青竹李智慧涂進(jìn)紅蔣振蘭張海鷹劉寶靈樂(lè)衛(wèi)平李崢鳴潘周周廷志孫圍華

、、、、、、、、、、、、、

趙瀾裴曉強(qiáng)吳成耀丁棟劉君明王玲玲

、、、、、。

Ⅲ

GB/T43916—2024/ISO201462019

:

真空技術(shù)真空計(jì)電容薄膜真空計(jì)的

規(guī)范校準(zhǔn)和測(cè)量不確定度

、

1范圍

本文件界定了電容薄膜真空計(jì)的相關(guān)術(shù)語(yǔ)規(guī)定了電容薄膜真空計(jì)有必要給定的參數(shù)描

(CDG),,

述了其校準(zhǔn)過(guò)程和操作儀器過(guò)程中有必要考慮的測(cè)量不確定度

。

本文件適用于使用和校準(zhǔn)并作為參考標(biāo)準(zhǔn)時(shí)的一個(gè)補(bǔ)充說(shuō)明

ISO3567ISO27893CDG,。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)第部分一般術(shù)語(yǔ)

ISO3529-11:(Vacuumtechnology—Vocabulary—Part1:

Generalterms)

注真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)

:GB/T3163—2007(ISO3529:1981,MOD)

真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)第部分全壓和分壓真空計(jì)

ISO3529-33:(Vacuumtechnology—Vocabulary—

Part3:Totalandpartialpressurevacuumgauges)

注真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)

:GB/T3163—2007(ISO3529:1981,MOD)

真空計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)直接比較校準(zhǔn)

ISO3567(Vacuumgauges—Calibrationbydirectcompar-

isonwithareferencegauge)

注真空計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)直接比較校準(zhǔn)

:GB/T34873—2017(ISO3567:2011,IDT)

真空技術(shù)