-1-中國晶圓的靜電卡盤行業(yè)市場規(guī)模、供需現(xiàn)狀及價(jià)格走勢分析一、晶圓的靜電卡盤行業(yè)概況在集成電路制造工藝，特別是刻蝕、物理氣相沉積及化學(xué)氣相沉積過程中，為了避免晶片出現(xiàn)移動(dòng)或者錯(cuò)位現(xiàn)象而導(dǎo)致工藝過程無法正常進(jìn)行,多采用一定的裝置對(duì)晶片進(jìn)行固定、支撐。晶片固定裝置主要包括機(jī)械卡盤、真空吸盤和靜電卡盤三類。靜電卡盤顧名思義是利用靜電吸附原理將待加工晶片吸附在其表面并且可以通過背吹氣體來控制晶片表面溫度的設(shè)備，靜電卡盤的基本結(jié)構(gòu)主要包括陶瓷基板、靜電電極、機(jī)械頂針、外設(shè)電源、背吹系統(tǒng)、水冷基體等。與傳統(tǒng)的機(jī)械卡盤和真空吸盤相比靜電卡盤具有很多的優(yōu)點(diǎn)：機(jī)械卡盤、真空吸盤與靜電卡盤的特點(diǎn)和對(duì)比機(jī)械卡盤、真空吸盤與靜電卡盤的特點(diǎn)和對(duì)比二、集成電路行業(yè)政策集成電路產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略地位顯著，為鼓勵(lì)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，推進(jìn)自主可控，擺脫受制于人的情況，國家先后出臺(tái)一系列集成電路投資稅收減免、政府補(bǔ)貼相關(guān)政策，舉國之力保障供應(yīng)鏈安全，促進(jìn)行業(yè)健康發(fā)展。近年來集成電路行業(yè)一系列支持政策的推出，對(duì)晶圓的靜電卡盤行業(yè)的健康發(fā)展提供了良好的保障。三、晶圓的靜電卡盤行業(yè)現(xiàn)狀在下游需求的刺激下，我國晶圓的靜電卡盤行業(yè)不斷發(fā)展，市場規(guī)模不斷擴(kuò)張，2021年中國晶圓的靜電卡盤市場規(guī)模達(dá)到2.6億元，同比增速為48.82%。近年來我國晶圓的靜電卡盤產(chǎn)品呈現(xiàn)出供不應(yīng)求的趨勢。2017至2021年期間，產(chǎn)量方面，我國晶圓的靜電卡盤產(chǎn)量自11臺(tái)增長至42臺(tái)，CAGR為39.79%；需求量方面，晶圓的靜電卡盤需求量自197臺(tái)增長至407臺(tái)，CAGR為19.89%。目前,國內(nèi)晶圓的靜電卡盤行業(yè)需求的地區(qū)主要分布在國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集中的華北、華東地區(qū)。2021年兩大地區(qū)的合計(jì)占比達(dá)到86%。據(jù)統(tǒng)計(jì)，2017年，我國國產(chǎn)晶圓的靜電卡盤均價(jià)為18萬元/臺(tái)，進(jìn)口晶圓的靜電卡盤均價(jià)70萬元/臺(tái)。2021年，我國國產(chǎn)晶圓的靜電卡盤均價(jià)增至28.5萬元/臺(tái)，進(jìn)口晶圓的靜電卡盤均價(jià)為68萬元/臺(tái)。四、晶圓的靜電卡盤行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈1、產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)疽鈭D晶圓的靜電卡盤行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上游主要包括氧化鋁、鈦、碳化硅、聚酰亞胺薄膜及環(huán)氧樹脂等行業(yè)；下游主要集中在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。2、下游市場晶圓的靜電卡盤行業(yè)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)。根據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，2011至2021年，中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額從36.5億美元增長至296.2億美元，年復(fù)合增長率高達(dá)23.29%。五、晶圓的靜電卡盤行業(yè)重點(diǎn)企業(yè)北京華卓精科科技股份有限公司（簡稱華卓精科）由清華大學(xué)IC裝備團(tuán)隊(duì)創(chuàng)立，是一家肩負(fù)著專項(xiàng)重大科研成果產(chǎn)業(yè)化重任的高新技術(shù)企業(yè)。公司擁有由國內(nèi)外一流高校畢業(yè)的博士、碩士組成的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)和超精密制造經(jīng)驗(yàn)豐富的核心生產(chǎn)團(tuán)隊(duì)，主要面向芯片制造廠及芯片裝備制造商，提供系列整機(jī)裝備、核心子系統(tǒng)、關(guān)鍵零部件和定制服務(wù)。是目前國內(nèi)唯一一家成功設(shè)計(jì)研制集成電路光刻機(jī)雙工件臺(tái)的企業(yè)。數(shù)據(jù)顯