表面化學分析 二次離子質譜 單離子計數飛行時間質譜分析器的強度標線性 編制說明_第1頁
表面化學分析 二次離子質譜 單離子計數飛行時間質譜分析器的強度標線性 編制說明_第2頁
表面化學分析 二次離子質譜 單離子計數飛行時間質譜分析器的強度標線性 編制說明_第3頁
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文檔簡介

為了利用二次離子質譜（SIMS）對材料進行定量分析，需要測的。雖然TOF-SIMS儀器中存在諸多導致非線性的因素，但影響非線為了保證離子質量測量數據的準確性，制定《表面化學分析二組織（ISO）于2022年頒布了ISO17862:2022(E)《Surfacechemicalanalysis—Secondaryionmassspect微束分析標準化技術委員會表面化學分析分技術委員會于2023年6月行時間質量分析器強度標的線性》國家標準，該標準等同采用ISOtime-of-flightmassanalysers》國際標準，并列入國家標準化管中山大學分析測試中心一直以來從事表面分析相關技術的科研化學分析—二次離子質譜—飛行時間二次離子質譜儀質量標?！侗砻婊瘜W分析-掃描探針顯微術-用于二維摻雜物成像等用途的電掃描探針顯微鏡（ESPM,如SSRM和SCM2023年6月第三屆第三次全國微束分析標準化技術委員會表面化請，7月制訂單位中山大學成立了標準制訂小組，開始著手本標準的制訂工作，于2023年8月完成了本標準的制訂草案，2023年12月獲批2.標準編制原則和標準主要內容確定依據本標準等同采用國際標準ISO17862:2analysis—Secondaryionmassspectrometry—Linearityofint4.采用國際標準和國外先進標準情況

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