ICSCCSCSEA中國表面工程協(xié)會團體標準T/CSEA26—20238YSZ術(shù)條件Technicalspecificationof8YSZtargetforElectronBeamPhysicalVaporDeposition（報批稿）在提交反饋意見時，請將您知道的相關(guān)專利連同支持性文件一并附上。2023-2-7發(fā)布 2023-3-1實施中國表工程會 發(fā)布T/CSEA26T/CSEA26—2023II前 言本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導(dǎo)則第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。本文件由中國表面工程協(xié)會熱噴涂分會提出。本文件由中國表面工程協(xié)會歸口。本文件起草單位：北京金輪坤天特種機械有限公司、中國航發(fā)沈陽黎明航空發(fā)動機有限責(zé)任公司、北京航空航天大學(xué)。本標準主要起草人：何箐、鄒晗、王世興、王璐、彭徽。T/CSEA26T/CSEA26—2023PAGEPAGE1電子束物理氣相沉積用8YSZ陶瓷靶材技術(shù)條件范圍本文件規(guī)定了采用化學(xué)共沉淀法、電熔法合成的高純氧化釔部分穩(wěn)定氧化鋯（ZrO2(HfO2)-7~8wt.%Y2O3）原材料所制備的陶瓷靶材的技術(shù)要求、質(zhì)量保證，標志、包裝、運輸和貯存等。本文件適用于電子束物理氣相沉積用8YSZ陶瓷靶材。（GB/T4984GB/T13747.16鋯及鋯合金化學(xué)分析方法第16部分：氯量的測定氯化銀濁度法和離子選擇性電極法GB/T20123鋼鐵總碳硫含量的測定高頻感應(yīng)爐燃燒后紅外吸收法（常規(guī)方法）GB/T21649.1YB/T5320X值法YS/T568.1氧化鋯、氧化鉿化學(xué)分析方法氧化鋯和氧化鉿合量的測定苦杏仁酸重量法YS/T568.2氧化鋯、氧化鉿化學(xué)分析方法鐵量的測定磺基水楊酸分光光度法YS/T568.3氧化鋯、氧化鉿化學(xué)分析方法硅量的測定硅鉬藍分光光度法YS/T568.4氧化鋯、氧化鉿化學(xué)分析方法鋁量的測定鉻天青S-氯化十四烷基吡啶分光光度法YS/T568.6氧化鋯、氧化鉿化學(xué)分析方法鈦量的測定二安替吡啉甲烷分光光度法YS/T568.8氧化鋯、氧化鉿化學(xué)分析方法氧化鋯中鋁、鈣、鎂、錳、鈉、鎳、鐵、鈦、鋅、鉬、釩、鉿量的測定電感耦合等離子體發(fā)射光譜法本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義?；瘜W(xué)成分瓷材分雜含量符表的定。 表1 8YSZ陶靶成及含量化學(xué)成分/wt.%主成分含量雜質(zhì)含量HfO2Y2O3Al2O3Fe2O3SiO2TiO2CaOMgOCl-碳殘留≥99.65<27-8≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.06≤0.15外觀靶材外觀應(yīng)為白色或灰白色，外觀應(yīng)無影響產(chǎn)品質(zhì)量的缺陷及裂紋。晶體結(jié)構(gòu)靶材晶體結(jié)構(gòu)應(yīng)以四方相為主。平均晶粒度靶材平均晶粒度不應(yīng)大于10μm。密度靶材的密度應(yīng)為（3.5~4.2）g/cm3。同批次靶材的密度允許偏差應(yīng)為±2.5%。靶材尺寸靶材尺寸應(yīng)符合需方尺寸和形狀要求，直徑宜為φ（68.5±0.1）mm，長度不應(yīng)小于100mm。檢驗應(yīng)為質(zhì)量一致性檢驗。組批產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗收，每批應(yīng)由同一牌號、同一規(guī)格、同一批原料連續(xù)生產(chǎn)的產(chǎn)品組成。檢驗質(zhì)量一致性檢驗應(yīng)符合表2的規(guī)定。表2 質(zhì)量致檢驗檢驗項目取樣數(shù)量取樣方法檢驗要求檢驗方法化學(xué)成分3根任取4.15.3.1外觀全數(shù)-4.25.3.2晶體結(jié)構(gòu)3根任取4.35.3.3平均晶粒度3根任取4.45.3.4密度全數(shù)-4.55.3.5表2 質(zhì)一性驗檢驗項目取樣數(shù)量取樣方法檢驗要求檢驗方法密度均勻性全數(shù)-4.65.3.6靶材尺寸全數(shù)-4.75.3.7SiO2Al2O3ZrO2+HfO2TiO2Fe2O3CaOMgOGB/T4984YS/T568Y2O3YS/T568.8碳殘留可按GB/T20123規(guī)定的方法進行測定。Cl-測試可按GB/T13747.16規(guī)定的方法進行測定。供需雙方測試結(jié)果不一致時，應(yīng)采用供需雙方協(xié)商一致的具有國家相關(guān)檢測資質(zhì)的第三方檢測機構(gòu)測定。外觀靶材外觀可采用目視方法檢驗，照明度不應(yīng)低于300Lx。靶材晶體結(jié)構(gòu)測試應(yīng)按YB/T5320執(zhí)行。靶材晶粒度測試應(yīng)按GB/T21649.1200010密度靶材密度檢驗通過天平稱取靶材質(zhì)量，根據(jù)靶材尺寸計算體積，用質(zhì)量除以體積計算確定。ρavρmaxρn

(ρave-ρmaxρmin)/ρave×100%靶材尺寸應(yīng)采用游標卡尺等測量工具測量。標志產(chǎn)品每根塑封包裝標志應(yīng)包括下列內(nèi)容：