國家標(biāo)準(zhǔn)《碳化硅單晶》編制說明（討論稿）工作簡況立項目的和意義隨著半導(dǎo)體碳化硅產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，全球碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈進一步分工細(xì)化是必然的趨勢。隨著碳化硅單晶生產(chǎn)效率的提升，生產(chǎn)成本的降低，碳化硅材料正逐步取代硅材料成為功率半導(dǎo)體材料的另一主流材料，打破硅器件由于材料本身性能而產(chǎn)生的瓶頸，碳化硅單晶材料將會給電子信息產(chǎn)業(yè)帶來革命性的變化。碳化硅功率器件生產(chǎn)過程主要包括碳化硅單晶生長、晶體加工、外延層生長、器件制造四大步驟，分別對應(yīng)產(chǎn)業(yè)鏈的碳化硅單晶、拋光片、外延片、器件四大環(huán)節(jié)。碳化硅單晶是整個產(chǎn)業(yè)鏈的上游，是半導(dǎo)體碳化硅產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基石。目前，碳化硅單晶的制備工藝愈發(fā)成熟，單晶質(zhì)量越發(fā)穩(wěn)定國內(nèi)外碳化硅拋光廠商已將碳化硅單晶作為碳化硅產(chǎn)品進行單獨交易，但目前在碳化硅行業(yè)國內(nèi)外還沒有碳化硅單晶相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)，已有的標(biāo)準(zhǔn)多是針對碳化硅單晶經(jīng)切割、研磨、拋光后制備的碳化硅單晶拋光片進行制定的，缺少對于碳化硅單晶本身的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、檢測方法、檢測規(guī)則等的明確標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，這顯然是不利于碳化硅行業(yè)的整體發(fā)展，因此單獨制定碳化硅單晶標(biāo)準(zhǔn)。使用該標(biāo)準(zhǔn)界定可以滿足不同用途的產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，強化碳化硅材料生產(chǎn)企業(yè)的質(zhì)量控制管理，減少半導(dǎo)體行業(yè)對碳化硅單晶質(zhì)量要求存在的質(zhì)量分歧，杜絕碳化硅單晶生產(chǎn)行業(yè)內(nèi)的不規(guī)范經(jīng)營和不正當(dāng)競爭。任務(wù)來源根據(jù)《國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會關(guān)于下達2024年第四批推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)計劃的通知》（國標(biāo)委綜合[2024]28號）的要求，由北京天科合達半導(dǎo)體股份有限公司負(fù)責(zé)制定《碳化硅單晶》，計劃編號20241932-T-469。根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會批準(zhǔn)，國家標(biāo)準(zhǔn)《碳化硅單晶》由全國半導(dǎo)體設(shè)備與材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會（SAC/TC203）提出并歸口管理，主要起草單位為北京天科合達半導(dǎo)體股份有限公司。標(biāo)準(zhǔn)主編單位簡況牽頭單位北京天科合達半導(dǎo)體股份有限公司，成立于2006年9月，是國內(nèi)成立時間最早、目前生產(chǎn)規(guī)模最大、產(chǎn)品種類最全的第三代半導(dǎo)體碳化硅晶片生產(chǎn)企業(yè)。公司主要開展研究、開發(fā)、生產(chǎn)第三代半導(dǎo)體碳化硅產(chǎn)品（碳化硅晶片、晶體），銷售自產(chǎn)產(chǎn)品等業(yè)務(wù)。天科合達公司擁有完善的廠房設(shè)施和設(shè)備基礎(chǔ)，5000平米的研發(fā)生產(chǎn)基地，自主研發(fā)設(shè)計的單晶爐，切磨拋設(shè)備若干臺，進口檢測設(shè)備若干臺。第三代半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)準(zhǔn)入門檻極高，天科合達公司已經(jīng)進行碳化硅晶體研發(fā)10余年，擁有一支穩(wěn)定的研發(fā)團隊，從原料制備、生長設(shè)備、晶體生長、晶體加工工藝流程以及清洗檢測全生產(chǎn)線，形成了碳化硅晶片制備全工藝流程知識產(chǎn)權(quán)體系，徹底打破了國外的技術(shù)和專利封鎖，為國產(chǎn)碳化硅晶片生產(chǎn)和全球銷售掃清障礙。公司是中關(guān)村標(biāo)準(zhǔn)化試點單位，制定并發(fā)布了5項國家標(biāo)準(zhǔn)、1項行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和7項團體標(biāo)準(zhǔn)，其中《碳化硅單晶拋光片》為國內(nèi)碳化硅半導(dǎo)體領(lǐng)域唯一一項國家產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)。積累了豐富的標(biāo)準(zhǔn)編制經(jīng)驗，具備了本標(biāo)準(zhǔn)制定及相關(guān)實驗條件和分析能力。主要工作過程標(biāo)準(zhǔn)通過計劃公示之后，北京天科合達半導(dǎo)體股份有限公司開始組織標(biāo)準(zhǔn)草案的完善，并在公司內(nèi)部進行了意見征集，并于2024年9月將標(biāo)準(zhǔn)稿件提交給標(biāo)委會秘書處。標(biāo)準(zhǔn)編制的原則和主要內(nèi)容的確定依據(jù)1、編制原則標(biāo)準(zhǔn)的編寫格式按國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)和編寫》的統(tǒng)一規(guī)定和要求進行編寫。根據(jù)碳化硅單晶最新的產(chǎn)品分類編寫。根據(jù)碳化硅襯底及外延廠家對碳化硅單晶最新技術(shù)要求進行編寫。主要內(nèi)容的確定依據(jù)本次標(biāo)準(zhǔn)制定結(jié)合近些年來碳化硅單晶的質(zhì)量水平，以及需方對產(chǎn)品的具體要求進行，制定的標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)指標(biāo)科學(xué)、合理，滿足需方要求，符合產(chǎn)品生產(chǎn)實際。三、標(biāo)準(zhǔn)水平分析本標(biāo)準(zhǔn)是結(jié)合GB/T30656《碳化硅單晶拋光片》，制定碳化硅單晶相關(guān)技術(shù)指標(biāo)要求。綜合分析，本標(biāo)準(zhǔn)的主要技術(shù)指標(biāo)達到國內(nèi)先進生產(chǎn)企業(yè)的質(zhì)量水平，本標(biāo)準(zhǔn)綜合水平達到國內(nèi)先進水平。四、與現(xiàn)行法律、法規(guī)、強制性國家標(biāo)準(zhǔn)及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)協(xié)調(diào)配套情況本標(biāo)準(zhǔn)符合國家現(xiàn)行法律、法規(guī)、規(guī)章和強制性國家標(biāo)準(zhǔn)的要求，本標(biāo)準(zhǔn)制定過程中遵循了國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的要求。五、重大分歧意見的處理經(jīng)過和依據(jù)無。六、貫徹標(biāo)準(zhǔn)的要求和建議本標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布后建議由歸口單位和標(biāo)準(zhǔn)編制單位組織宣貫，促進本標(biāo)準(zhǔn)的實施。七、廢止現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的建議無。八、標(biāo)準(zhǔn)作為強制性或推薦性標(biāo)準(zhǔn)的建議建議將本標(biāo)準(zhǔn)作為推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布實施。九、其他應(yīng)予以說明的情況本標(biāo)準(zhǔn)作為推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)供大家使用，若對結(jié)果有疑義，以供需雙方協(xié)商。本標(biāo)準(zhǔn)將根據(jù)技術(shù)的發(fā)展和產(chǎn)業(yè)的進