第一章第一節(jié) 掃描電子顯微鏡課件_第1頁
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01第一章第一節(jié)掃描電子顯微鏡第一章

掃描電子顯微鏡一、照明系統(tǒng)（電子光學系統(tǒng)）二、成像系統(tǒng)三、樣品臺四、真空系統(tǒng)五、穩(wěn)壓系統(tǒng)第一節(jié)掃描電子顯微鏡結構01第一章第一節(jié)掃描電子顯微鏡一、照明系統(tǒng)（電子光學系統(tǒng)）電子槍：提供穩(wěn)定的電子照明源聚光鏡（二級、有光欄）：束斑2μm物鏡及偏轉線圈：束斑 幾十?01第一章第一節(jié)掃描電子顯微鏡二、成像系統(tǒng)01第一章第一節(jié)掃描電子顯微鏡成像系統(tǒng)01第一章第一節(jié)掃描電子顯微鏡成像系統(tǒng)01第一章第一節(jié)掃描電子顯微鏡三、樣品臺01第一章第一節(jié)掃描電子顯微鏡四、真空系統(tǒng)

RP+DPRP：機械泵，10-2--10-3τDP：擴散泵（硅油），10-5τ

1τ=1mmHg01第一章第一節(jié)掃描電子顯微鏡01第一章第一節(jié)掃描電子顯微鏡01第一章第一節(jié)掃描電子顯微鏡五、穩(wěn)壓系統(tǒng)10-401第一章第一節(jié)掃描電子顯微鏡01第一章第一節(jié)掃描電子顯微鏡01第一章第一節(jié)掃描電子顯微鏡01第一章第一節(jié)掃描電子顯微鏡01第一章第一節(jié)掃描電子顯微鏡01第一章第一節(jié)掃描電子顯微鏡01第一章第一節(jié)掃描電子顯微鏡01第一章第一節(jié)掃描電

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