《微機(jī)電結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性的激光測(cè)量方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明1《微機(jī)電結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性的激光測(cè)量方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明國(guó)光電測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（TC487）與全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（TC336）協(xié)商，雙方同意項(xiàng)目號(hào)為20243096-T-491的《微機(jī)電結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)參數(shù)的《微機(jī)電結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性的激光測(cè)量方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明212余姚舜宇智能光學(xué)技術(shù)有限協(xié)助起草，從技術(shù)及應(yīng)用角度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)3協(xié)助起草，從技術(shù)及應(yīng)用角度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)4中國(guó)科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研5協(xié)助起草，從技術(shù)及應(yīng)用角度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)6杭州士蘭微電子股份有限公司協(xié)助起草，從技術(shù)及應(yīng)用角度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)7協(xié)助起草，從技術(shù)及應(yīng)用角度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)8協(xié)助起草，從技術(shù)及應(yīng)用角度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)9協(xié)助起草，從技術(shù)及應(yīng)用角度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)協(xié)助起草，從技術(shù)及應(yīng)用角度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)協(xié)助起草，從技術(shù)及應(yīng)用角度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)《微機(jī)電結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性的激光測(cè)量方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明3協(xié)助起草，從技術(shù)及應(yīng)用角度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)協(xié)助起草，從技術(shù)及應(yīng)用角度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)蘇州明搞傳感科技股份有限協(xié)助起草，從技術(shù)及應(yīng)用角度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)協(xié)助起草，從技術(shù)及應(yīng)用角度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)1負(fù)責(zé)人，負(fù)責(zé)制定計(jì)劃和實(shí)施234567894段通過(guò)有效測(cè)試技術(shù)手段對(duì)微機(jī)電結(jié)構(gòu)的動(dòng)態(tài)進(jìn)行精確測(cè)試并建立起相應(yīng)的標(biāo)《微機(jī)電結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性的激光測(cè)量方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明5量方法亟需建立統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，這對(duì)MEMS領(lǐng)域企業(yè)對(duì)產(chǎn)品性能、成《微機(jī)電結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性的激光測(cè)量方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明6形成了標(biāo)準(zhǔn)草案，根據(jù)實(shí)際應(yīng)用狀況進(jìn)行了內(nèi)容充實(shí)，并按GB/T1.1—2020要本標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)微機(jī)電結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性激光測(cè)量系統(tǒng)需求，以及微機(jī)電結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試所需儀器現(xiàn)狀，確數(shù)包括位移、速度、加速度、共振頻率、品質(zhì)因數(shù)、本標(biāo)準(zhǔn)適用于微機(jī)電結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)參數(shù)激光測(cè)量相應(yīng)地操作方法，因此本標(biāo)準(zhǔn)《微機(jī)電結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性的激光測(cè)量方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明7 在本專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域，動(dòng)態(tài)位移一般是指微機(jī)電結(jié)構(gòu)可動(dòng)部件相對(duì)于靜止部件的相對(duì)動(dòng)態(tài)位移，由于微機(jī)電結(jié)構(gòu)的尺寸非常小且振動(dòng)頻率非常高，根據(jù)GB/T面特征實(shí)施測(cè)量，故只能對(duì)平面的2維運(yùn)動(dòng)特性進(jìn)行評(píng)定，且當(dāng)微機(jī)電結(jié)構(gòu)振動(dòng)8本標(biāo)準(zhǔn)使用掃描顯微激光多普勒測(cè)量裝置，根據(jù)用戶實(shí)際需要，選擇進(jìn)行單點(diǎn)或者區(qū)域多點(diǎn)掃描動(dòng)態(tài)位移測(cè)量，通過(guò)多次不同測(cè)量點(diǎn)的位移-時(shí)間響應(yīng)測(cè)在本專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域，動(dòng)態(tài)速度一般是指微機(jī)電結(jié)構(gòu)可動(dòng)部件相對(duì)于靜止部件的相對(duì)動(dòng)態(tài)速度，由于微機(jī)電結(jié)構(gòu)的尺寸非常小且振動(dòng)頻率非常高，根據(jù)GB/T本標(biāo)準(zhǔn)結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)編制組研究的最新顯微成像和顯微掃描激光多普勒技術(shù)，根據(jù)GB/T33929—2017《MEMS高g值加速度傳感器性能試驗(yàn)方法》大部門(mén)MEMS器件需要在高真空、高精密環(huán)境中開(kāi)展測(cè)試，沖擊9在本專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域，共振頻率是指微機(jī)電結(jié)構(gòu)在外部激勵(lì)下產(chǎn)生最大振動(dòng)響應(yīng)其共振頻率和品質(zhì)因數(shù)的精確測(cè)量對(duì)性能評(píng)估至關(guān)重要。根據(jù)GB/T26112— 針對(duì)微機(jī)電系統(tǒng)工作振型測(cè)量的國(guó)際和國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)尚未全面建立，國(guó)內(nèi)一些針對(duì)微機(jī)電系統(tǒng)模態(tài)振型測(cè)量的國(guó)際和國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)尚未全面建立，同工作振（1）社會(huì)效益：基于顯微掃描激光多普勒測(cè)振技統(tǒng)的研制成功，必能打破國(guó)外公司的技術(shù)壟斷，為國(guó)內(nèi)MEMS器件（2）經(jīng)濟(jì)效益：該標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施將促進(jìn)微機(jī)電結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性4:1993，ISO16063-22：2005規(guī)定了振動(dòng)與沖擊傳感器的校準(zhǔn)方E2245-02、ASTME2246-06規(guī)定了使標(biāo)GB/T34899—2017規(guī)定了微機(jī)標(biāo)GB/T20485.41—2015規(guī)定了通常在0本標(biāo)準(zhǔn)符合我國(guó)有關(guān)現(xiàn)行法律、法規(guī)的相關(guān)規(guī)定，與我國(guó)現(xiàn)行法律、法規(guī)和相建議由全國(guó)