1光伏電池工藝設備低壓擴散設備技術規(guī)范GB/T3768聲學聲壓法測定噪聲源聲功率級和聲能量級采用反射面上方包絡測量面的簡易法GB/T5226.33機械電氣安全機械電氣設備第33部分:半導體設備技術GB/T13277.1—2023壓縮空氣第1部分:污染物凈化等級GB/T17626.16電磁兼容試GB/T25915.9—2018潔凈室及相關受控環(huán)境第9部分:按粒子濃度劃分表面潔凈度GB/T29845半導體制造設備的最終裝配、包裝、運輸、拆包及安放導則GB/T30116半導體生產設施電磁兼容性SJ2065半導體器件生產用擴散設備實際運行時間和設備可用時間的比值。4縮略語BSG：硼硅玻璃層（BorosilicateGlasCDA：壓縮干燥空氣（CompressedDryMFC：質量流量控制器（MassFlowController）PCW：工藝冷卻水（ProcessCoolingWaUPS：不間斷電源（UninterruptiblePowerSupply）2b)CDA：空氣質量應符合GB/Tc)冷卻水：壓力0.4MPa～0.6MPa，進水溫度15℃~20℃。d)環(huán)境溫度：20℃~26℃。e)環(huán)境濕度：2060％。f)潔凈室高度不低于4.9m。c)電路走線整齊、無松脫、無線芯裸露、線號標識清楚，電線排布符合工程圖紙要求，電箱潔d)設備箱門與箱體配合縫隙均勻門框及門周邊無毛刺、利邊、銳角，關門順暢、無干涉、無異e)銘牌標識位置符合圖紙要求，內容正確、齊全、無漏裝、錯裝；g)五金件表面無變形、凹凸不平、撞傷、臟污、銹跡；k)設備內潔凈，無臟污、無積塵、無殘膠、無扎帶碎頭、無掉落螺釘；m)導軌、絲桿、模組推動順暢無卡滯、異響現(xiàn)象；o)凈化臺、爐體、氣柜拼接后無明顯段差和縫隙。6.2.1.1石英舟除符合JC/T2065外6.2.1.2搬舟機械手應具有同步檢測裝置及防3從室溫加熱到900℃的時間應不大于45min≤0.5%6.2.4.1設備應具備報警功能，具有工藝狀態(tài)聲光提醒以及計算機異常、短路、水流、超溫報警與欠6.2.4.2設備應配備UPS，斷電后上位機應能運行至少15min。6.2.4.3設備運動部件應配置高清監(jiān)控攝4≤0.01%≤0.03%≤5%≤5%≤4%BSG厚度≤5%≤5%≤4%應不大于1mm。注：不良現(xiàn)象包括吸盤印、劃傷、崩邊、脫晶、梳齒、頂齒印等。5≤0.02%≤0.03%≤0.01%a)至少在自動化與主機臺相近操作位置設有急停按鈕，按鈕位置b)設有斷電或報警觸發(fā)時的安全停機功能，確保運行參數的安全存儲；c)急停護罩缺口不少于2個，不準許阻礙操作人員在緊急情況下的快速操作，護罩d)在傳輸過程和工藝過程中應設有暫停按6.5.3.2安全門開啟后，操作界面應彈出“維修中”或類似表述的提示信息；維修完后，確認提示信a)安全門打開后按鈕應被激活，維修時應先確認內部按鈕，再關閉安全門，確認外部按鈕，內b)按鈕安裝位置應醒目，操作簡易。6.5.3.4機臺內部作業(yè)端上方應配備安全繩掛6.5.4.1人員易觸及的可動零部件，應進行封閉或隔離。步進電機同步帶、同步齒形輪應該加設防護6.5.4.2對操作人員在設備運行時可能觸及的運動部件，應配備安全門裝置。6.5.4.3搬舟側應具備安全門開關狀態(tài)提醒功能，維修通道安全門配置電子安全鎖與上位機虛擬按鈕6.5.4.4運動中具有的勢能可能引起危險的機械手升降電機應配置防墜落裝置，當機臺掉電時機械手67.2.1.2通過現(xiàn)場模擬碰撞報警功能測試，現(xiàn)場模擬不平衡等報警功能 溫度控制器設定某一溫度，按18℃/min升溫，計時器記錄達到設定溫度所花的時間，計算升溫速7ΔP7.2.4.3設備正常運行72h，檢查監(jiān)控視頻留存情況。1——設備實際運行時間；2——設備可用時間。8），7.2.9.2射頻電磁場輻射抗擾度按GB×100%·················線對稱，距離邊緣20mm。9Ymax——片內最大方阻，單位為歐姆每平方(Ω/sqYmin——片內最小方阻，單位為歐姆每平方(Ω/sq取1片，每片樣品按照6.3.2.2.1的規(guī)定取點，并采用四探針測量各點的方阻，按式（9）計算片間方阻（Yi，i=1...n）max——片與片間方阻平均值的最大值，單位為歐姆(Ω/sq（Yi，i=1...n）min——片與片間方阻平均值的最小值，單位為歐姆(Ω/sq）。在采用完全相同的的工藝條件和參數完成摻雜工藝若干批基片中，每批至少取9片樣品，每片樣品（Xi，i=1...n）max——批與批間方阻平均值的最大值，單位為歐姆每平方(Ω/sq（Xi，i=1...n）min——批與批間方阻平均值的最小值，單位為歐姆每平方(Ω/sq）。7.3.3.2片內均勻性按式（8）進行計算，片間均勻性按式（9）進行計算，批間均勻性按式（a)通過輪廓儀，將硅片自由放置于三點支撐平臺（避免支撐點影響測量）；b)探針沿硅片表面移動，記錄高度變化；2——硅片最高點高度,單位為毫米；7.5.2.2在擴散設備正常運行時斷電，檢查是否停機；在擴散設備正常運行時引發(fā)報警器，檢查是否7.5.3.1目測確認是否安裝聯(lián)動防護開關，使用普通工具拆解確認是否可拆；啟動聯(lián)鎖裝置，查看安7.5.3.2開啟安全門，檢查是否彈出提示信息；在沒有確認提示信息情況下關閉安全門，檢查是否能b)在未確認內外部按鈕時關閉安全門，記錄關閉情況；f)在未確認內外部按鈕時關閉安全門，記錄關閉情況；7.5.3.4檢查機臺內部作業(yè)端上方是否配備安全繩掛鉤，使用擴散設備出廠時應逐臺檢驗。檢驗項目滿足表9的要求時，判定為該擴散設備合格，其中任一項不8.3.1有下列情形之一時，應進行型式檢a)新產品或老產品轉廠生產的試制、鑒定、定型；c)檢驗結果與以前的型式檢驗結果對比存在不可允許的偏差；9標志、包裝、運輸和貯存9.1標志9.1.2設備上各部分的標志應符合下列規(guī)定：b)各介質有對應的標志；9.1.3包裝上標志應至少包括下列內容：9.2包裝9.2.2設備應分類裝箱，并應遵循適于運