ICS7110020

CCSG.86.

中華人民共和國國家標準

GB/T18867—2025

代替GB/T18867—2014

電子氣體六氟化硫

Electronicgas—Sulphurhexaflouride

2025-04-25發(fā)布2025-11-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T18867—2025

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替電子工業(yè)用氣體六氟化硫與相比除結

GB/T18867—2014《》,GB/T18867—2014,

構調(diào)整和編輯性改動外主要技術變化如下

,:

更改了范圍見第章年版的第章

———(1,20141);

更改了六氟化硫應符合的技術要求見第章年版的第章

———(4,20143);

更改了采樣的要求見第章年版的

———(5,20144.1.3、4.1.5);

更改了純度計算方法見年版的

———(6.1,20144.2);

更改了氧氬氮四氟化碳一氧化碳二氧化碳甲烷含量的測定方法見年版的

———+、、、、、(6.2,2014

4.3);

增加了氫六氟乙烷和八氟丙烷含量的測定方法見

———、(6.2);

增加了尾氣處理的要求見

———(6.6);

更改了檢驗規(guī)則見第章年版的

———(7,20144.1);

更改了標志包裝運輸及貯存的要求見年版的

———、、(8.1、8.2,20145.1);

更改了安全信息的內(nèi)容見年版的

———(8.3,20145.2)。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位昊華氣體有限公司福建德爾科技股份有限公司浙江省化工研究院有限公司

:、、、

福建永晶科技股份有限公司上海上芃電氣有限公司北京普瑞分析儀器有限公司南大光電淄博有

、、、()

限公司中船邯鄲派瑞特種氣體股份有限公司廣東華特氣體股份有限公司福建恒申電子材料科技

、()、、

有限公司昊華氣體有限公司西南分公司中昊光明化工研究設計院有限公司大連大特氣體有限公司

、、、、

上海華愛色譜分析技術有限公司聯(lián)雄投資上海有限公司杭州新世紀混合氣體有限公司沈陽中復

、()、、

科金壓力容器有限公司宿州伊維特新材料有限公司北京睿信捷環(huán)?？萍加邢薰緩V東電網(wǎng)有限責

、、、

任公司電力科學研究院國網(wǎng)山東省電力公司電力科學研究院深圳供電局有限公司國網(wǎng)湖南省電力

、、、

有限公司電力科學研究院上海凡偉儀器設備有限公司西南化工研究設計院有限公司

、、。

本文件主要起草人陳興龍湯月貞陳施華林德榮史婉君鐘卉菲劉春花李文陳凱史蘭

:、、、、、、、、、、

黃秀榮張艷志張露露陳艷珊呂磊謝世鵬郭瓊孫福楠依俊廷杜雨桐方華黃輝楊金山

、、、、、、、、、、、、、

鮑光強王大為李明談益強尹樂樂趙潔唐念李麗齊國棟唐峰吳俊杰何波唐中偉賴曉峰

、、、、、、、、、、、、、、

周鵬云唐霞梅

、。

本文件于年首次發(fā)布年第一次修訂本次為第二次修訂

2002,2014,。

Ⅰ

GB/T18867—2025

電子氣體六氟化硫

1范圍

本文件規(guī)定了電子用六氟化硫的技術要求采樣檢驗規(guī)則標志包裝運輸貯存描述了相應的

、、、、、、,

試驗方法提供了六氟化硫的安全信息

,。

本文件適用于以工業(yè)六氟化硫為原料提純制得的電子用六氟化硫

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險貨物包裝標志

GB190

純氦高純氦和超純氦

GB/T4844、

所有部分鋼質(zhì)無縫氣瓶

GB/T5099()

氣體中微量水分的測定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

氣瓶顏色標志

GB/T7144

鋁合金無縫氣瓶

GB/T11640

工業(yè)六氟化硫

GB/T12022

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB/T14193