ICS27010

F01.

上海市地方標(biāo)準(zhǔn)

DB31/792—2020

代替

DB31/792—2014

硅單晶及其硅片單位產(chǎn)品能源消耗限額

Thenormofenergyconsumptionperunitproductsformonocrystalline

siliconandsiliconwafer

2020-03-05發(fā)布2020-06-01實(shí)施

上海市市場(chǎng)監(jiān)督管理局發(fā)布

DB31/792—2020

前言

本標(biāo)準(zhǔn)42和43是強(qiáng)制性的其余為推薦性的

..,。

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)代替硅單晶及其硅片單位產(chǎn)品能源消耗限額與相

DB31/792—2014《》,DB31/792—2014

比除編輯性修改外主要技術(shù)變化如下

,,:

修改了英文名稱(chēng)

———;

修改了適用范圍取消了太陽(yáng)能級(jí)硅單晶及其硅片的要求見(jiàn)第章和年版的第章

———,(120141);

調(diào)整了規(guī)范性引用文件刪除了增加了

———,GB/T3484,GB/T12962、GB/T12964、GB/T12965、

見(jiàn)第章和年版的第章

GB/T14139(220142);

修改了第章調(diào)整了術(shù)語(yǔ)和定義增加了硅單晶研磨片拋光片外延片等產(chǎn)品定義見(jiàn)第

———3,,、、、(3

章和年版的第章

20143);

修改了第章刪除了太陽(yáng)能級(jí)硅產(chǎn)品的能耗要求細(xì)分了產(chǎn)品重新規(guī)定了硅單晶及硅片單

———4,,,

位產(chǎn)品能源消耗限額的限定值準(zhǔn)入值先進(jìn)值見(jiàn)和年版的

、、(4.2、4.3、4.420144.1、4.2、4.3);

修改第章為統(tǒng)計(jì)范圍及計(jì)算方法增加了統(tǒng)計(jì)范圍刪除了計(jì)算原則見(jiàn)年版的

———5“”,5.1,(20145.1),

并對(duì)計(jì)算方法做了修改精簡(jiǎn)

、;

修改第章為節(jié)能降耗導(dǎo)向見(jiàn)第章和年版的第章

———6“”(620146);

增加了附錄

———A。

本標(biāo)準(zhǔn)由上海市發(fā)展和改革委員會(huì)上海市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會(huì)共同提出由上海市經(jīng)濟(jì)和信息化

、,

委員會(huì)組織實(shí)施

。

本標(biāo)準(zhǔn)由上海市能源標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位上海有色金屬行業(yè)協(xié)會(huì)上海市有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)上海合晶硅材料有

:、、

限公司上海晶盟硅材料有限公司上海新傲科技股份有限公司上海晶哲電子材料有限公司

、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人陳建綱韓建超高璇馬志輝張向東楊文杰唐宗平

:、、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為

:

———DB31/792—2014。

Ⅰ

DB31/792—2020

硅單晶及其硅片單位產(chǎn)品能源消耗限額

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅單晶及硅單晶片單位產(chǎn)品能源消耗限額的技術(shù)要求統(tǒng)計(jì)范圍計(jì)算方法及節(jié)能降

、、

耗導(dǎo)向

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體級(jí)硅單晶和硅單晶片包括研磨片拋光片外延片以下統(tǒng)稱(chēng)硅片生產(chǎn)企

,、、(“”)

業(yè)產(chǎn)品能源單耗的計(jì)算考核以及對(duì)新建項(xiàng)目能源單耗的控制

、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

綜合能耗計(jì)算通則

GB/T2589

硅單晶

GB/T12962

硅單晶拋光片

GB/T12964

硅單晶切割片和研磨片

GB/T12965

硅外延片

GB/T14139

用能單位能源計(jì)量器具配備和管理通則

GB17167

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

。

31

.

可比硅片產(chǎn)量comparablesiliconwaferyield

企業(yè)生產(chǎn)的不同直徑的合格硅片實(shí)際產(chǎn)量按硅片表面積折算系數(shù)折算后的產(chǎn)量

,。

32

.

硅單晶monocrystallinesilicon

高純度的多晶硅在單晶爐內(nèi)用直拉法生長(zhǎng)的單晶硅棒材是制造硅器件的原料

,。

33

.

硅單晶研磨片monocrystallinesiliconlappedwafer

硅單晶切割片經(jīng)研磨工藝加工硅單晶研磨片是用于制造半導(dǎo)體分立器件的直接原材料也是制造

,,

硅拋光片的中間產(chǎn)品

。

34

.

硅單晶拋光片monocrystallinesiliconpolished