1.2全因子DOE實驗設(shè)計結(jié)合六西格瑪項目的質(zhì)量改進(I階段)設(shè)計案例目錄 1 1 1 3 4那么質(zhì)量改進I階段的主要目標是通過改進輸入變量提高關(guān)鍵質(zhì)量特性Y,找出1.1DOE分析計劃實驗設(shè)計(DOE)是處理多個因子與響應(yīng)變量之間關(guān)系的方法，該方法可以同時研究多個輸入變量X,確定它們對關(guān)鍵質(zhì)量特性Y的影響，也可以通過同時操縱多個輸入，確定輸入變量X之間的交互作用。DOE實驗設(shè)計通過分析試使用壽命以及A/K流量。此外，y2異物斷線中的Clamp壽命雖然為非顯著,卻是影響PVD過程的重要可控因子，同樣，y3爬坡斷線中的基板預(yù)處分析計劃如表1.13所示。流程目標(y)2X1-3:HM-S水汽比例2210/30天222為綜合考慮各因素對質(zhì)量特性的影響，本節(jié)采用全因子實驗設(shè)計，即對所有因子的所有排列組合都進行試驗，優(yōu)點便是方法思路簡單明了，能夠很清晰的看到主效應(yīng)以及各個效應(yīng)之間的交互作用。在多數(shù)的初期研究中，每一因子采用兩水平，我們將k個因子的兩水平的全因子試驗稱為2K。在此次實驗設(shè)計中，根據(jù)批量生產(chǎn)水平和設(shè)備規(guī)格范圍，并結(jié)合對生產(chǎn)成本的評估，在實際生產(chǎn)的基礎(chǔ)上選擇因子水平。判定方式為y1通過對水洗室流量和HM-S水汽比例的調(diào)整，y2通過對部材使用壽命的調(diào)整，y3通過對成膜基板預(yù)處理的管控及AK流量的調(diào)整，再由SL點燈S斷線發(fā)生panel數(shù)整理對應(yīng)測試數(shù)據(jù)，如表1.14-1.16所示，其中相關(guān)設(shè)計因子如下：因子：2基本設(shè)計：2,4試驗次數(shù)：8仿行：2區(qū)組：1中心點(合計):0標準序運行序中心點區(qū)組HM-S水汽比例實驗結(jié)果S斷Panel數(shù)5111211231164114511361177118811標準序運行序中心點區(qū)組實驗結(jié)果S斷Panel數(shù)61115211431134111511861127117811標準序運行序中心點區(qū)組實驗結(jié)果S斷Panel數(shù)81111211411111163111111632547345644411111177811111.3DOE分析基于DOE實驗設(shè)計及結(jié)果，運用Minitab軟件進行分析因子的影響效果。下圖1.10為y1液殘斷線因子分析結(jié)果、標準化效應(yīng)ParetoS的顯著因子且兩者之間無交互作用，擬合方程為：液殘斷線發(fā)生panel數(shù)=279+0.22水洗室流量+13.82HM-S水汽比例。方差分析自由度器4運用相同方法，下圖1.11和1.12分別為y2異物斷線和y3爬坡斷線因子分析結(jié)果、標準化效應(yīng)ParetoS斷Panel數(shù)交互作用圖。得到y(tǒng)2異物斷線顯著因子為毛刷使用壽命，擬合方程式：異物斷線發(fā)生panel數(shù)=188.6+13.04毛刷使用壽命+0.2387Clamp壽命-0.00987毛刷使用壽命*Clamp壽命。y3爬坡斷線顯著因子為AK流量，擬合方程為方程式：爬坡斷線發(fā)生panel數(shù)=974+10.1基板預(yù)處理-0.168A/K流量-0.00363基板預(yù)處理*A/K流量。 2因子交互作用32111147136.1780.1780.1456.5136.11.19780.16.84項3981239812153.1105.1105.1130955395921211147 1.4DOE響應(yīng)優(yōu)化在對DOE的結(jié)果進行分析后，確定項目的質(zhì)量特性為望小，故可以借助minitab響應(yīng)(輸出結(jié)果/指標)優(yōu)化器，建立響應(yīng)優(yōu)化模式，確認顯著因子與非顯著因子的最優(yōu)參數(shù)組合，y1、y2、y3的DOE響應(yīng)優(yōu)化結(jié)果如表1.17所示。模塊結(jié)果高高低y1y3結(jié)合最優(yōu)組合及測試結(jié)果，綜合考慮實際生產(chǎn)成本，確定選擇水洗室流量=83L/min,H