JJF(晉)116-20252025—06—20發(fā)布山西省市場(chǎng)監(jiān)督管理局發(fā)布JJF(晉)116-2025機(jī)械接觸式電子測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationforMechanicalContactElectronicThicknessGaugeJJF(晉)116-2025JJF(晉)116-2025 (Ⅱ) (1) JJF(晉)116-20251范圍本規(guī)范適用于測(cè)量范圍(0～2)mm的機(jī)械接觸式電子測(cè)厚儀的校準(zhǔn)。2引用文件GB/T451.3-2002紙和紙板厚度的測(cè)定GB/T6672-2001塑料薄膜和薄片厚度測(cè)定機(jī)械測(cè)量法凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本規(guī)范。3概述機(jī)械接觸式電子測(cè)厚儀(以下簡(jiǎn)稱測(cè)厚儀)采用機(jī)械接觸式測(cè)試原理，通過量具或量?jī)x的感受元件與被測(cè)表面直接接觸來獲得測(cè)量信息，通過顯示裝置將被測(cè)厚度顯示出來。主要組成部分包括基座、光柵尺(或電感傳感器)、測(cè)桿、測(cè)頭、電機(jī)、顯示和控制裝置等，其結(jié)構(gòu)如圖1所示。廣泛應(yīng)用于薄膜、薄片、紙張、紙板等各種材料的厚度測(cè)量。根據(jù)被測(cè)對(duì)象可分為塑料薄膜和薄片厚度測(cè)定的測(cè)厚儀、紙和紙板厚度測(cè)定的測(cè)厚儀兩種。22344計(jì)量特性4.1測(cè)量面的尺寸4.1.1塑料薄膜和薄片厚度測(cè)定的測(cè)厚儀上下測(cè)量面為平面/平面時(shí)，上測(cè)量面直徑應(yīng)在(2.5～10)mm之間。上下測(cè)量面為凸面/平面時(shí)，上測(cè)量面的曲率半徑應(yīng)在(15～50)mm之間，下測(cè)量面的直徑應(yīng)不小于5mm。JJF(晉)116-20252測(cè)厚儀測(cè)量面的表面粗糙度應(yīng)不超過0.2μm。表1塑料薄膜和薄片厚度測(cè)定的測(cè)厚儀的測(cè)量力測(cè)頭形式測(cè)量力平面/平面（0.5～1.0）N凸面/平面（0.1～0.5）N度測(cè)定的測(cè)厚儀，示值誤差應(yīng)不超過表3的規(guī)定。表2塑料薄膜和薄片厚度測(cè)定的測(cè)厚儀示值最大允許誤差測(cè)量范圍示值最大允許誤差JJF(晉)116-2025表3紙和紙板厚度測(cè)定的測(cè)厚儀示值最大允許誤差測(cè)量范圍示值最大允許誤差H≤500μm±2.5μm500μm＜H≤2mm±0.5%紙和紙板厚度測(cè)定的測(cè)厚儀測(cè)量重復(fù)性應(yīng)不超過表4的規(guī)定。表4紙和紙板厚度測(cè)定的測(cè)厚儀測(cè)量重復(fù)性測(cè)量范圍測(cè)量重復(fù)性H≤500μm2.5μm500μm＜H≤2mm0.5%注：以上指標(biāo)要求不用于合格性判定，僅供參考。測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備見表5，也可以采用滿足測(cè)量不確定要求的其他測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及表5測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備序號(hào)名稱計(jì)量指標(biāo)用途1卡尺M(jìn)PE：±0.03mm直徑2半徑樣板（15～50）mm，MPE：±0.035mm~±0.2mm曲率半徑3量塊4等示值誤差、平行度4表面粗糙度比較樣塊MPE12%17%表面粗糙度5測(cè)力儀分度值或分辨力:0.1N測(cè)量力6標(biāo)準(zhǔn)厚度片不確定度：Urel=0.2%,k2示值誤差JJF(晉)116-20254用卡尺直接測(cè)量測(cè)厚儀平面測(cè)量面直徑，測(cè)量時(shí)應(yīng)在如個(gè)方向上進(jìn)行，取兩個(gè)方向直徑測(cè)量結(jié)果的平均圖2測(cè)量面直徑測(cè)量位置示意圖6.2.2測(cè)量面間的平行度（僅適34 D D421圖3測(cè)量面間的平行度測(cè)量位置示意圖A0.5（1）JJF(晉)116-2025測(cè)厚儀測(cè)量面與測(cè)力儀測(cè)頭相接觸，讀取測(cè)力儀的示值，即為該測(cè)厚儀的測(cè)量力.或量塊，啟動(dòng)測(cè)厚儀分別進(jìn)行測(cè)量，每個(gè)受檢點(diǎn)連續(xù)測(cè)量5次HiHsi（2）——示值誤差，μm； Hi——該點(diǎn)示值平均值，μm；Hsi——標(biāo)準(zhǔn)厚度片或量塊尺寸，μm。s——測(cè)量重復(fù)性，μm；Himax——該點(diǎn)測(cè)量結(jié)果中最大值，μm；Himin——該點(diǎn)測(cè)量結(jié)果中最小值，μm；g）進(jìn)行校準(zhǔn)的日期，如果與校準(zhǔn)結(jié)果的有效性h）如果與校準(zhǔn)結(jié)果的有效性或應(yīng)用有關(guān)時(shí)，應(yīng)對(duì)被校樣品的抽JJF(晉)116-20257送檢單位器具名稱規(guī)格型號(hào)制造廠出廠編號(hào)校準(zhǔn)時(shí)間校準(zhǔn)地點(diǎn)環(huán)境條件溫度：℃相對(duì)濕度：%校準(zhǔn)依據(jù)不確定度/最大允許誤差/準(zhǔn)確度等級(jí)證書編號(hào)校準(zhǔn)所使用的主要計(jì)量器具名稱型號(hào)規(guī)格出廠編號(hào)不確定度或準(zhǔn)確度等級(jí)或最大允許誤差證書編號(hào)有效期至1測(cè)量面的直徑:上：mm，下：mm凸面測(cè)量面的曲率半徑：mm。2上、下測(cè)量面的平行度:位置1mm，位置2：mm，位置3mm，位置4：mm，平行度：μm3測(cè)量面的粗糙度：4測(cè)量力：N5示值誤差和重復(fù)性：校準(zhǔn)點(diǎn)測(cè)厚儀示值示值誤差擴(kuò)展不確定度重復(fù)性12345平均值JJF(晉)116-20258B.5示值誤差和重復(fù)性:校準(zhǔn)點(diǎn)示值誤差擴(kuò)展不確定度重復(fù)性JJF(晉)116-2025C.1機(jī)械接觸式電子測(cè)厚儀示值誤差校準(zhǔn)iHsiiitiHsisitsi——示值誤差；Hi——該點(diǎn)示值平均值，μm；Hsi——量塊長(zhǎng)度，μm；iti、tsi——分別為測(cè)厚儀和量塊溫度偏離20℃的數(shù)值。令isi；ttitsi；HiHsi；isi；ttitsiJJF(晉)116-2025HiHsiHtHtu2cu2(i)cu2Hsicu2cu2tc21；c3Ht0.5mm5℃2.5mm℃;c4H0.5mm11.5106℃15.75106mm℃1；C.1.4.1輸入量的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(i)評(píng)定_輸入量Hi的不確定度來源于測(cè)量的重復(fù)性和儀器的分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分_1）測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u1(i)測(cè)量次數(shù)123456789測(cè)量值502.3502.3501.0502.4500.8502.4501.3501.1501.1502.7—Hi=501.74μm—s(Hi)((Hii)2n1JJF(晉)116-20252）測(cè)厚儀分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u2按照測(cè)厚儀使用說明書可知：分辨力為0.1μm,所以，分辨力引入的不確定度：u2=0.29×0.1μm=0.029μm_儀器分辨力引入的分量，因此取重復(fù)性引入的分量作為輸入量Hi的標(biāo)準(zhǔn)不確定度：_C.1.4.2測(cè)量用量塊的長(zhǎng)度偏差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(Hsi)的評(píng)定取k=2，則：C.1.4.3測(cè)厚儀與量塊間線膨脹系數(shù)差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u()的評(píng)定u()2106℃-1/=0.816×10-6℃-1C.1.4.4測(cè)厚儀與量塊間溫度差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(t)的評(píng)定測(cè)厚儀與量塊間存在的溫度差以等概率落于±1℃區(qū)間內(nèi)，按均勻分布，k，u(t)=1℃/=0.577℃JJF(晉)116-2025表C.2標(biāo)準(zhǔn)不確定度匯總表標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量不確定度來源標(biāo)準(zhǔn)不確定度ciu(xi))測(cè)量重復(fù)性0.329μm10.329μmu(Hsi)量塊的長(zhǎng)度偏差0.10μm-10.10μmu()測(cè)厚儀與量塊間線膨脹系數(shù)差0.816×10-6℃-12.5mm·℃0.00204μmu(t)測(cè)厚儀與量塊間溫度差0.577℃5.75×10-6mm·℃-10.003318μmc 取k2，則擴(kuò)展不確定度為：Ukuc=2×0.34=0.68≈0.7μmJJF(晉)116-2025C.2機(jī)械接觸式電子測(cè)厚儀示值誤差標(biāo)準(zhǔn)厚度片不確定度為Urel0.2%，取k=2。iHsi——示值誤差；C.2.4.1輸入量的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(i)評(píng)定JJF(晉)116-20251）測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u1(i)測(cè)量點(diǎn)選在98μm、243μm、487μm處，用標(biāo)準(zhǔn)厚度片直接測(cè)量連續(xù)測(cè)量10次得到測(cè)表C.3各校準(zhǔn)點(diǎn)測(cè)量數(shù)據(jù)μm校準(zhǔn)點(diǎn)123456789平均值97.898.298.398.498.698.498.498.398.598.098.098.3243.7243.5243.6243.7243.6243.5243.5243.6243.7243.8243.6243.6487.2487.5487.7487.9487.6487.5487.5487.8487.5487.5487.5487.6s(Hii)2sn1表C.4各校準(zhǔn)點(diǎn)的實(shí)際標(biāo)準(zhǔn)偏差與標(biāo)準(zhǔn)不確定度的計(jì)算結(jié)果μm校準(zhǔn)點(diǎn)平均值實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差s標(biāo)準(zhǔn)不確定度u1(i)標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(i)97.898.30.1970.08810.0881243.7243.60.10.04470.0447487.2487.60.1490.06660.06662）測(cè)厚儀分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u2測(cè)厚儀分辨力引入的不確定度，按照測(cè)厚儀使用說明書可知：分辨力為0.1μm,所JJF(晉)116-2025u2=0.29×0.1μm=0.029μm分量作為輸入量i的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(i)，忽略另一個(gè)分量。見表C.C.2.3.2測(cè)量用標(biāo)準(zhǔn)厚度片的長(zhǎng)度偏差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(Hsi)的評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)厚度片的不確定度為Urel0.2%，取k=2，則：u(Hsi)Hi表C.5