ICS13.060.30

CCSZ60

34

安徽省地方標準

DB34/4812.5—2024

固定源揮發(fā)性有機物綜合排放標準

第5部分：電子工業(yè)

Integratedemissionstandardofvolatileorganiccompoundsforstationarysources

—Part5:Electronicindustry

2024-05-22發(fā)布2024-08-01實施

安徽省生態(tài)環(huán)境廳

發(fā)布

安徽省市場監(jiān)督管理局

.

DB34/4812.5—2024

目次

前言.................................................................................II

引言................................................................................III

1范圍...............................................................................1

2規(guī)范性引用文件.....................................................................1

3術(shù)語和定義.........................................................................2

4有組織排放控制要求.................................................................5

5無組織排放控制要求.................................................................7

6企業(yè)邊界監(jiān)控要求...................................................................8

7污染物監(jiān)測要求.....................................................................8

7.1一般要求.......................................................................8

7.2排氣筒監(jiān)測.....................................................................8

7.3廠區(qū)監(jiān)測.......................................................................9

7.4企業(yè)邊界監(jiān)測...................................................................9

7.5分析測試方法...................................................................9

8達標判定要求......................................................................10

9實施與監(jiān)督........................................................................11

附錄A（資料性）適用的電子工業(yè)行業(yè)范圍及電子專用材料涵蓋的主要產(chǎn)品范圍..............12

附錄B（規(guī)范性）等效排氣筒污染物排放速率計算方法....................................14

參考文獻.............................................................................15

I

DB34/4812.5—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定

起草。

本文件是DB34/4812《固定源揮發(fā)性有機物綜合排放標準》的第5部分。DB34/4812已經(jīng)發(fā)布了

以下部分：

——第1部分：涂料、油墨及膠粘劑工業(yè)；

——第2部分：農(nóng)藥制造工業(yè)；

——第3部分：有機化學品制造工業(yè)；

——第4部分：印刷工業(yè)；

——第5部分：電子工業(yè)；

——第6部分：其他行業(yè)。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔識別專利的責任。

本文件由安徽省生態(tài)環(huán)境廳提出并歸口。

本文件起草單位：華東理工大學、安徽省生態(tài)環(huán)境科學研究院、安徽省安慶生態(tài)環(huán)境監(jiān)測中心。

本文件主要起草人：修光利、張紅、陳亮峰、朱森、張巍、章宜潔、馮欣怡、洪星園、王芳芳、錢

靖、鄧毅強、林明月、楊雪瑞、吳蕾、秦志勇。

本文件由安徽省人民政府2024年05月09日批準。

II

DB34/4812.5—2024

引言

為貫徹《中華人民共和國環(huán)境保護法》《中華人民共和國大氣污染防治法》《安徽省大氣污染防治

條例》，防治環(huán)境污染，改善環(huán)境治理，保障公眾健康，加強控制安徽省重點行業(yè)固定源揮發(fā)性有機物

排放，促進工業(yè)生產(chǎn)和污染防治進步，制定《固定源揮發(fā)性有機物綜合排放標準》。本標準根據(jù)安徽重

點行業(yè)分布特點分類修訂相應管控要求，擬由六個部分組成。

——第1部分：涂料、油墨及膠粘劑工業(yè)。規(guī)定了涂料、油墨及膠粘劑工業(yè)揮發(fā)性有機物排放控

制要求、監(jiān)測和監(jiān)控要求。旨在加強控制安徽省涂料、油墨及膠粘劑工業(yè)揮發(fā)性有機物排放，

促進工業(yè)生產(chǎn)工藝和污染治理技術(shù)進步。

——第2部分：農(nóng)藥制造工業(yè)。規(guī)定了農(nóng)藥制造工業(yè)揮發(fā)性有機物排放控制要求、監(jiān)測和監(jiān)控要

求。旨在加強控制安徽省農(nóng)藥制造工業(yè)揮發(fā)性有機物排放，促進工業(yè)生產(chǎn)工藝和污染治理技

術(shù)進步。

——第3部分：有機化學品制造工業(yè)。規(guī)定了有機化學品制造工業(yè)揮發(fā)性有機物排放控制要求、

監(jiān)測和監(jiān)控要求。旨在加強控制安徽省有機化學品制造工業(yè)揮發(fā)性有機物排放，促進工業(yè)生

產(chǎn)工藝和污染治理技術(shù)進步。

——第4部分：印刷工業(yè)。規(guī)定了印刷工業(yè)揮發(fā)性有機物排放控制要求、監(jiān)測和監(jiān)控要求。旨在

加強控制安徽省印刷工業(yè)揮發(fā)性有機物排放，促進工業(yè)生產(chǎn)工藝和污染治理技術(shù)進步。

——第5部分：電子工業(yè)工業(yè)。規(guī)定了電子工業(yè)揮發(fā)性有機物排放控制要求、監(jiān)測和監(jiān)控要求。

旨在加強控制安徽省電子工業(yè)揮發(fā)性有機物排放，促進工業(yè)生產(chǎn)工藝和污染治理技術(shù)進步。

——第6部分：其他行業(yè)。規(guī)定了化學纖維制造，現(xiàn)代煤化工，橡膠塑料等其他重點工業(yè)揮發(fā)性

有機物排放控制要求、監(jiān)測和監(jiān)控要求。旨在加強控制化學纖維制造，現(xiàn)代煤化工，橡膠塑

料等其他重點工業(yè)揮發(fā)性有機物排放，促進工業(yè)生產(chǎn)工藝和污染治理技術(shù)進步。

本文件是安徽省重點行業(yè)固定源揮發(fā)性有機物排放管控的基本要求。頒布實施后，國家發(fā)布相應行

業(yè)污染物排放標準嚴于本文件的，執(zhí)行國家相應標準。環(huán)境影響評價文件和排污許可要求嚴于本文件時，

應按照相應要求執(zhí)行。

III

DB34/4812.5—2024

固定源揮發(fā)性有機物綜合排放標準

第5部分：電子工業(yè)

1范圍

本文件規(guī)定了電子工業(yè)揮發(fā)性有機物排放標準的有組織排放控制、無組織排放控制、企業(yè)邊界監(jiān)控、

污染物監(jiān)測、達標判定等要求及實施與監(jiān)督。

本文件適用于現(xiàn)有電子工業(yè)企業(yè)或生產(chǎn)設施的揮發(fā)性有機物排放管理，以及電子工業(yè)建設項目的環(huán)

境影響評價、環(huán)境保護設施設計、竣工環(huán)境保護驗收、排污許可證核發(fā)及其投產(chǎn)后的揮發(fā)性有機物排放

管理。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB/T4754—2017國民經(jīng)濟行業(yè)分類

GB/T8017石油產(chǎn)品蒸氣壓的測定雷德法

GB14554惡臭污染物排放標準

GB/T15516空氣質(zhì)量甲醛的測定乙酰丙酮分光光度法

GB/T16157固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態(tài)污染物采樣方法

GB18597危險廢物貯存污染控制標準

GB33372膠粘劑揮發(fā)性有機化合物限量

GB37822揮發(fā)性有機物無組織排放控制標準

GB38507油墨中可揮發(fā)性有機化合物含量的限值

GB38508清洗劑揮發(fā)性有機化合物含量限值

GB/T38597低揮發(fā)性有機化合物含量涂料產(chǎn)品技術(shù)要求

HJ38固定污染源廢氣總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定氣相色譜法

HJ/T55大氣污染物無組織排放監(jiān)測技術(shù)導則

HJ/T373污染源監(jiān)測質(zhì)量保證與質(zhì)量控制技術(shù)規(guī)范（試行）

HJ/T397固定源廢氣監(jiān)測技術(shù)規(guī)范

HJ583環(huán)境空氣苯系物的測定固體吸附/熱脫附-氣相色譜法

HJ584環(huán)境空氣苯系物的測定活性炭吸附/二硫化碳解吸-氣相色譜法

HJ604環(huán)境空氣總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定直接進樣-氣相色譜法

HJ644環(huán)境空氣揮發(fā)性有機物的測定吸附管采樣-熱脫附/氣相色譜-質(zhì)譜法

HJ683環(huán)境空氣醛、酮類化合物的測定高效液相色譜法

HJ732固定污染源廢氣揮發(fā)性有機物的采樣氣袋法

HJ734固定污染源廢氣揮發(fā)性有機物的測定固相吸附-熱脫附/氣相色譜-質(zhì)譜法

HJ759環(huán)境空氣65種揮發(fā)性有機物的測定罐采樣/氣相色譜-質(zhì)譜法

HJ801環(huán)境空氣和廢氣酰胺類化合物的測定液相色譜法

HJ819排污單位自行監(jiān)測技術(shù)指南總則

1

DB34/4812.5—2024

HJ942排污許可證申請與核發(fā)技術(shù)規(guī)范總則

HJ944排污單位環(huán)境管理臺賬及排污許可證執(zhí)行報告技術(shù)規(guī)范總則（試行）

HJ1006固定污染源廢氣揮發(fā)性鹵代烴的測定氣袋采樣-氣相色譜法

HJ1031排污許可證申請與核發(fā)技術(shù)規(guī)范電子工業(yè)

HJ1153固定污染源廢氣醛、酮類化合物的測定溶液吸收-高效液相色譜法

HJ1154環(huán)境空氣醛、酮類化合物的測定溶液吸收-高效液相色譜法

HJ1253排污單位自行監(jiān)測技術(shù)指南電子工業(yè)

HJ1261固定污染源廢氣苯系物的測定氣袋采樣/直接進樣-氣相色譜法

HJ1286固定污染源廢氣非甲烷總烴連續(xù)監(jiān)測技術(shù)規(guī)范

HJ1331固定污染源廢氣總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定便攜式催化氧化-氫火焰離子化檢測

器法

HJ1332固定污染源廢氣總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定便攜式氣相色譜-氫火焰離子化檢測

器法

DB34/T310007設備泄漏揮發(fā)性有機物排放控制技術(shù)規(guī)范

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1

固定源stationarysources

排放大氣污染物的固定設施或建（構(gòu)）筑物。包括鍋爐、工業(yè)爐窯以及生產(chǎn)或服務過程中排放廢氣

的設施或建（構(gòu)）筑物等。

[來源：HJ/T397—2017,3.2,有修改]

3.2

電子工業(yè)electronicindustry

GB/T4754—2017中的C39計算機、通信和其他電子設備制造的工業(yè)企業(yè)或生產(chǎn)設施。根據(jù)產(chǎn)品特點

和生產(chǎn)特點，主要分為半導體器件、顯示器件、電子專用材料、電子元件、印制電路板、電子終端產(chǎn)品

制造和其他電子工業(yè)等七個類別。

[來源：GB39731—2020,3.1]

3.3

電子專用材料specialelectronicmaterials

GB/T4754—2017中C3985電子專用材料制造的產(chǎn)品，指具有特定要求且僅用于電子元器件、組件及

系統(tǒng)制備的材料。根據(jù)其作用與用途，主要包括電子功能材料（半導體材料、光電子材料、壓電晶體材

料、鋁電解電容器電極箔等），互聯(lián)與封裝材料（覆銅板及銅箔材料等），工藝與輔助材料（電子漿料

等）；不包括磁性材料、陶瓷材料、鋰離子電池材料、焊接材料等，不包括生產(chǎn)電子專用材料的原輔材

料的生產(chǎn)制造。具體產(chǎn)品范圍見附錄A。

[來源：GB39731—2020,3.2,有修改]

3.4

印制電路板printedcircuitboard（PCB）

在絕緣基材上，按預定設計形成印制元件、印制線路或兩者結(jié)合的導電圖形的印制電路或印制線路

成品，主要包括剛性板與撓性板，單面印制電路板、雙面印制電路板、多層印制電路板，以及剛撓結(jié)合

印制電路板和高密度互連（highdensityinterconnector，HDI）印制電路板等。

[來源：GB39731—2020,3.4]

2

DB34/4812.5—2024

3.5

電子元件electronicunit

GB/T4754—2017中C398電子元件（不包括電子專用材料和印制電路板），指電子電路中可對電壓

和電流進行控制、變換和傳輸?shù)染哂歇毩⒐δ艿膯卧?，主要產(chǎn)品包括電阻器、電容器、電子變壓器、電

感器、壓電晶體元器件、電子敏感元器件與傳感器、電接插元件、控制繼電器、微特電機與組件、電聲

器件等。

[來源：GB39731—2020,3.3,有修改]

3.6

半導體器件semiconductordevice

GB/T4754—2017中C3972半導體分立器件和C3973集成電路兩大類產(chǎn)品，指利用半導體材料的特

殊電特性制造，以實現(xiàn)特定功能的電子器件。

[來源：GB39731—2020,3.5,有修改]

3.7

光電子器件photoelectroncomponent

GB/T4754—2017中C3971電子真空器件制造、C3975半導體照明器件制造、C3976光電子器件制

造和C3979其他電子器件制造的產(chǎn)品，指利用半導體光-電子（或電-光子）轉(zhuǎn)換效應制成的各種功能器

件，主要包括發(fā)光二極管（LED），半導體光電器件中的光電轉(zhuǎn)換器、光電探測器等，激光器件中的氣體

激光器件、半導體激光器件、固體激光器件、靜電感應器件等，光通信電路及其他器件，半導體照明器

件等。

[來源：GB39731—2020,3.7,有修改]

3.8

顯示器件displaydevice

GB/T4754—2017中C3974顯示器件產(chǎn)品，指基于電子手段呈現(xiàn)信息供視覺感受的器件及模組，主

要包括薄膜晶體管液晶顯示器件、低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器件、有機發(fā)光二極管顯示器件、真

空熒光顯示器件、場發(fā)射顯示器件、等離子顯示器件、曲面顯示器件以及柔性顯示器件等。

[來源：GB39731—2020,3.6,有修改]

3.9

電子終端產(chǎn)品electronterminalsproducts

GB/T4754—2017中C391計算機制造、C392通信設備制造、C393廣播電視設備制造、C394雷達及

配套設備制造、C395非專業(yè)視聽設備制造、C396智能消費設備制造和C399其他電子設備制造等產(chǎn)品，

指以采用印制電路板（PCB）組裝工藝技術(shù)為基礎裝配的具有獨立應用功能的電子產(chǎn)品或組件。

[來源：GB39731—2020,3.8,有修改]

3.10

揮發(fā)性有機物volatileorganiccompounds（VOCs）

參與大氣光化學反應的有機化合物，或者有關(guān)規(guī)定確定的有機化合物。在表征VOCs總體排放情況

時，根據(jù)行業(yè)特征和環(huán)境管理要求，可采用總揮發(fā)性有機物（以TVOC表示）、非甲烷總烴（以NMHC

表示）作為污染物控制項目。除根據(jù)行業(yè)特征和環(huán)境管理要求確定VOCs外，可根據(jù)20時蒸氣壓不小℃

于10Pa或者101.325kPa大氣壓下沸點不高于250的有機化合物或者實際生產(chǎn)條件下具有以上相應揮℃

發(fā)性的有機化合物（甲烷除外）來確定。

[來源：GB37822—2019,3.1,有修改]

3.11

非甲烷總烴non-methanehydrocarbons（NMHC）

采用規(guī)定的監(jiān)測方法，氫火焰離子化檢測器有響應的除甲烷外的氣態(tài)有機化合物的總和，以碳的質(zhì)

3

DB34/4812.5—2024

量濃度計。

[來源：GB37822—2019,3.3]

3.12

總揮發(fā)性有機物totalvolatileorganiccompounds（TVOCs）

采用規(guī)定的監(jiān)測方法，對廢氣中的單項VOCs物質(zhì)進行測量，加和得到VOCs物質(zhì)的總量，即單項VOCs

物質(zhì)的質(zhì)量濃度之和。實際工作中，應按預期分析結(jié)果，對占總量90%以上的單項VOCs物質(zhì)進行測量，

加和得出。針對集成電路制造企業(yè)，指采用HJ734方法對廢氣中的單項VOCs物質(zhì)進行測量，加和得到VOCs

物質(zhì)的總量。

[來源：GB37822—2019,3.2,有修改]

3.13

無組織排放fugitiveemission

大氣污染物不經(jīng)過排氣筒的無規(guī)則排放，包括開放式作業(yè)場所逸散，以及通過縫隙、通風口、敞開

門窗和類似開口（孔）的排放等。

[來源：GB37822—2019,3.4]

3.14

VOCs物料VOCs-containingmaterials

VOCs質(zhì)量占比大于等于10%的原輔材料、產(chǎn)品和廢料（渣、液），以及有機聚合物原輔材料和廢料

（渣、液）。

[來源：GB37822—2019,3.7,有修改]

3.15

揮發(fā)性有機液體volatileorganicliquid

真實蒸氣壓大于等于0.3kPa的單一組分有機液體；或混合物中真實蒸氣壓大于等于0.3kPa的組分

總質(zhì)量占比大于等于20%的有機液體。

[來源：GB37822—2019,3.8]

3.16

真實蒸氣壓truevaporpressure

有機液體工作（儲存）溫度下的飽和蒸氣壓（絕對壓力），或者有機混合物液體氣化率為零時的蒸

氣壓，又稱泡點蒸氣壓，可根據(jù)GB/T8017等相應測定方法換算得到。常溫下工作（儲存）的有機液體，

其工作（儲存）溫度按常年的月平均氣溫最大值計算。

[來源：GB37822—2019,3.9]

3.17

蓄熱燃燒裝置regenerativethermaloxidizer（RTO）

將工業(yè)有機廢氣進行燃燒凈化處理，并利用蓄熱體對待處理廢氣進行換熱升溫、對凈化后排氣進行

換熱降溫的裝置，由換向設備、蓄熱室、燃燒室和控制系統(tǒng)等組成。

[來源：HJ1093—2020,3.3]

3.18

標準狀態(tài)standardstate

溫度為273.15K，壓力為101.325kPa時的狀態(tài)。本文件規(guī)定的大氣污染物排放濃度限值均以標準

狀態(tài)下的干氣體為基準。

[來源：GB16297—1996,3.1]

3.19

排氣筒高度stackheight

自排氣筒（或其主體建筑構(gòu)造）所在的地平面至排氣筒出口計的高度，單位為m。

4

DB34/4812.5—2024

[來源：GB37822—2019,3.19]

3.20

企業(yè)邊界enterpriseboundary

企業(yè)或生產(chǎn)設施的法定邊界。若難以確定法定邊界，則指企業(yè)或生產(chǎn)設施的實際占地邊界。

[來源：GB37822—2019,3.20]

3.21

現(xiàn)有企業(yè)existingfacility

本文件實施之日前環(huán)境影響評價文件通過審批或備案，以及已經(jīng)投產(chǎn)運行的電子工業(yè)企業(yè)或生產(chǎn)設

施。

[來源：GB37822—2019,3.16,有修改]

3.22

新建企業(yè)newfacility

本文件實施之日起環(huán)境影響評價文件通過審批或備案的新建、改（擴）建電子工業(yè)企業(yè)建設項目。

[來源：GB37822—2019,3.17,有修改]

4有組織排放控制要求

4.1電子工業(yè)揮發(fā)性有機物排放的基本污染物項目執(zhí)行表1規(guī)定的排放限值。

表1揮發(fā)性有機物基本污染物項目排放限值

電子元件、電子專用材料、電子

半導體器件顯示器件及光電子器件終端產(chǎn)品、印制電路板、其他電

a污染物排

序污染物子工業(yè)

放監(jiān)控位

號項目最高允許排最高允許排最高允許最高允許排最高允許排放最高允許排放

b,cb置

放濃度放速率排放濃度放速率濃度速率b

mg/m3kg/hmg/m3kg/hmg/m3kg/h

1NMHC505.0505.0603.0車間或生

2苯系物d252.5252.5401.6產(chǎn)設施的

3TVOCe605.0————排氣筒

a涉及印刷工序的VOCs排放執(zhí)行本系列標準的第4部分印刷工業(yè)DB34/4812.4。

b污染治理設施的去除效率≥90%視同最高允許排放速率達標，最高允許排放速率以等效排氣筒排放速率計。

c不適用于含12英寸40nm及以下工藝制程的集成電路制造項目或生產(chǎn)線。

d包括苯、甲苯、二甲苯、三甲苯、乙苯和苯乙烯，其中三甲苯待國家或安徽省污染物監(jiān)測分析方法標準發(fā)布后實施。

e僅適用于集成電路制造企業(yè)。

4.2企業(yè)根據(jù)使用的原輔材料、生產(chǎn)工藝過程、產(chǎn)品和副產(chǎn)品等，結(jié)合有關(guān)環(huán)境管理要求，篩選特征

污染物項目，執(zhí)行表2規(guī)定的排放限值。

5

DB34/4812.5—2024

表2揮發(fā)性有機物特征污染物項目排放限值

最高允許排放濃度，mg/m3

污染物排

污染物顯示器件

序號半導體器印制電路電子專電子元電子終端產(chǎn)其他電子放監(jiān)控位

項目及光電子

件板a用材料a件a品a工業(yè)a置

器件

1苯1111111

2甲苯55510101010

3二甲苯——2020202020

4苯乙烯——2020202020

車間或生

5甲醛5—555—5

產(chǎn)設施的

6三氯乙烯——2020202020

排氣筒

7異丙醇40404040404040

8丙酮40404040404040

9N,N-二甲——5050———

基甲酰胺

a涉及印刷工序的VOCs排放執(zhí)行本系列標準的第4部分印刷工業(yè)DB34/4812.4

4.3污染治理設施的去除效率按照式（1）計算，當污染治理設施為多級串聯(lián)處理工藝時，去除效率為

多級處理的總效率，即以第一級進口為“處理前”，最后一級出口為“處理后”進行計算；當污染治理

設施處理多個來源的廢氣時，應以各來源廢氣的污染物總量為“處理前”，以污染治理設施總出口為“處

理后”進行計算。當污染治理設施有多個排放出口，則以各排放出口的污染物總量為“處理后”。

處理前×處理前處理后×處理后

=×100%···············································(1)

????????處理前×?????處理前????

式中：????????????

η——去除效率，%；

3

ρ處理前——污染治理設施處理前的污染物濃度，mg/m；

3

Q處理前——污染治理設施處理前的氣量，m/h；

3

ρ處理后——污染治理設施處理后的污染物濃度，mg/m；

3

Q處理后——污染治理設施處理后的氣量，m/h。

4.4車間或生產(chǎn)設施排氣中NMHC初始排放速率大于等于2kg/h時，NMHC去除效率不應低于80%；若

同一車間或生產(chǎn)設施有多個排氣筒排放VOCs時，應合并計算。使用的原輔材料符合國家有關(guān)低VOCs

含量產(chǎn)品規(guī)定的除外，主要包括GB/T38597中水性涂料、無溶劑涂料、輻射固化涂料、粉末涂料，GB33372

中水基型膠粘劑、本體型膠粘劑，GB38507中水性油墨、膠印油墨、能量固化油墨、雕刻凹印油墨，

GB38508中水基清洗劑或半水基清洗劑等。

4.5涉及VOCs排放的危險廢物暫存場所和廢水處理設施的廢氣排放執(zhí)行表1的規(guī)定。涉及惡臭類污染

物的排放應同時滿足GB14554或地方相關(guān)排放標準的要求。

4.6企業(yè)應考慮生產(chǎn)工藝、操作方式、廢氣性質(zhì)、處理方法等因素，對廢氣進行分類收集，按照規(guī)定

設置回收或處理裝置。

4.7VOCs燃燒（焚燒、氧化）裝置排放要求：

——利用鍋爐、工業(yè)爐窯、固廢焚燒爐焚燒處理有機廢氣的，除執(zhí)行表1和表2規(guī)定外，還應滿

足相應排放標準的控制要求；

6

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——進入VOCs燃燒（焚燒、氧化）裝置的廢氣需要補充空氣進行燃燒、氧化反應的，排氣筒中

實測大氣污染物排放濃度，應按式（2）換算為基準含氧量為3%（體積分數(shù)）的大氣污染物

基準排放濃度。利用鍋爐、工業(yè)爐窯、固廢焚燒爐焚燒處理有機廢氣的，煙氣基準含氧量按

其適用排放標準規(guī)定執(zhí)行；

基

基=×實····································································(2)

21?????實

式中：????21?????????

3

基——大氣污染物基準排放濃度，mg/m；

O——干煙氣基準含氧量，%；

????基

O實——實測的干煙氣含氧量，%；

3

實——實測大氣污染物排放濃度，mg/m。

——進入VOCs燃燒（焚燒、氧化）裝置的廢氣含氧量可滿足自身燃燒、氧化反應需要，不需另外

????

補充空氣的（燃燒器的助燃空氣和符合規(guī)范要求的RTO吹掃氣不屬于補充空氣的情形），以

實測濃度作為達標判定依據(jù)，但裝置出口廢氣含氧量不得高于裝置進口廢氣含氧量；

——采用VOCs燃燒（焚燒、氧化）裝置處理含氯、溴、氟廢氣時，應進行必要的預處理，減少腐

蝕和二次污染物的產(chǎn)生和排放；

——利用鍋爐、工業(yè)爐窯、固廢焚燒爐處理有機廢氣的，應符合VOCs燃燒（焚燒、氧化）條件和

安全要求，有機廢氣應作為燃料氣或助燃空氣引入火焰區(qū)。

4.8吸附、吸收、冷凝、生物、膜分離等其他VOCs治理設施，以實測濃度作為達標判定依據(jù)。

4.9廢氣收集處理系統(tǒng)應與生產(chǎn)工藝設備同步運行。廢氣收集處理系統(tǒng)發(fā)生故障或檢修時，對應的生

產(chǎn)工藝設備應停止運行，待檢修完畢后同步投入使用；生產(chǎn)工藝設備不能立即停止運行或不能及時安全

停止運行的，應設置廢氣應急處理設施或采取其他等效替代措施。

4.10排氣筒高度不低于15m（因安全考慮或有特殊工藝要求的除外），具體高度以及與周圍建筑物

的相對高度關(guān)系應根據(jù)環(huán)境影響評價文件確定。

4.11等效排氣筒污染物排放速率按附錄B方法計算。

4.12當執(zhí)行不同排放控制要求的廢氣合并排氣筒排放時，應在廢氣混合前進行監(jiān)測，并執(zhí)行相應的排

放控制要求；若可選擇的監(jiān)控位置只能對混合后的廢氣進行監(jiān)測，則應按各排放控制要求中最嚴格的規(guī)

定執(zhí)行。

4.13正常運行時不應通過旁路排放；當廢氣治理設施非正常運行，為保證安全生產(chǎn)確需使用旁路煙道

排放的，企業(yè)應及時向生態(tài)環(huán)境主管部門報告，并及時采取修復措施。

4.14企業(yè)應按照HJ942、HJ944、HJ1103、HJ1116以及相適應的排污許可證申請和核發(fā)技術(shù)規(guī)范

等要求建立臺賬，記錄污染治理設施的主要運行信息，包括但不限于廢氣收集量和處理量、廢氣濃度、

治理設施關(guān)鍵運行參數(shù)、運行時間等。臺賬保存期限不少于5年。

5無組織排放控制要求

5.1確定VOCs物料時，有產(chǎn)品質(zhì)量標準規(guī)定的，按照標準規(guī)定的VOCs含量檢測方法確定相應產(chǎn)品的

VOCs含量；無產(chǎn)品質(zhì)量標準規(guī)定的，將20℃時蒸氣壓不小于10Pa或者101.325kPa大氣壓下，沸點

不高于250℃的有機化合物或者實際生產(chǎn)條件下具有以上相應揮發(fā)性的有機化合物（甲烷除外）納入

核算范圍。

5.2除本文件規(guī)定的要求外，VOCs無組織排放控制要求按照GB37822規(guī)定執(zhí)行。

7

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5.3揮發(fā)性有機液體儲罐應優(yōu)先選用內(nèi)浮頂罐，使用低泄漏的呼吸閥、緊急泄壓閥；應對呼吸閥進行

定期檢查和維護，操作壓力低于75%設計開啟壓力時，呼吸閥的泄漏檢測值應小于等于2000μmol/mol。

5.4根據(jù)GB37822或有關(guān)規(guī)定，需要開展設備與管線組件VOCs泄漏檢測與修復工作的，執(zhí)行DB34/T

310007規(guī)定。

5.5涉及VOCs排放的危險廢物暫存場所應設置廢氣收集裝置和氣體凈化設施，除滿足本文件的要求外，

還應滿足GB18597的要求。

5.6廠區(qū)內(nèi)VOCs無組織排放限值執(zhí)行表3規(guī)定。

表3廠區(qū)內(nèi)VOCs無組織排放限值

污染物項目最高允許排放濃度，mg/m3排放限值含義無組織排放監(jiān)控位置

6監(jiān)控點處1h平均濃度值

NMHC在廠房外設置監(jiān)控點

20監(jiān)控點處任意一次濃度值

6企業(yè)邊界監(jiān)控要求

6.1企業(yè)應對排放的有毒有害大氣污染物進行管控，采取有效措施防范環(huán)境風險。

6.2企業(yè)邊界任何1h大氣污染物平均濃度執(zhí)行表4規(guī)定的排放限值。

表4企業(yè)邊界VOCs排放限值

序號污染物項目最高允許排放濃度，mg/m3

1苯0.1

2甲醛0.2

7污染物監(jiān)測要求

7.1一般要求

7.1.1企業(yè)應按照《環(huán)境監(jiān)測管理辦法》、HJ819、HJ1031、HJ1253等國家或地方法律、法規(guī)和標

準要求，建立企業(yè)監(jiān)測制度，建立企業(yè)監(jiān)測制度，制定監(jiān)測方案，對污染物排放狀況開展自行監(jiān)測，保

存原始監(jiān)測記錄，并按規(guī)定公開自行監(jiān)測信息。

7.1.2企業(yè)應按照GB/T16157、HJ1031、HJ1253、《污染源自動監(jiān)控管理辦法》等國家或地方法律、

法規(guī)和標準要求，安裝、使用廢氣自動監(jiān)控設備。

7.1.3企業(yè)應按照環(huán)境監(jiān)測管理規(guī)定和技術(shù)規(guī)范的要求，設計、建設、維護永久性采樣口、采樣測試

平臺和排污口標志。采樣孔和采樣平臺應符合GB/T16157、HJ/T397的相關(guān)要求。

7.1.4大氣污染物監(jiān)測應在規(guī)定的監(jiān)控位置進行，有廢氣治理設施的，應在治理設施后監(jiān)測。根據(jù)企

業(yè)使用的原輔材料、生產(chǎn)工藝過程、產(chǎn)品、副產(chǎn)品等，確定需要監(jiān)測的污染物項目。

7.1.5企業(yè)應在污染治理設施的出口設置采樣口和采樣平臺；根據(jù)國家或地方相關(guān)規(guī)定對去除效率有

明確要求的污染治理設施應在進口設置采樣口和采樣平臺，因相關(guān)工藝及生產(chǎn)安全要求，無法設置進口

采樣口的，應提供說明和進口濃度計算方法。若排氣筒采用多筒集合式排放，應在合并排氣筒前的各分

管上設置采樣口。

7.1.6實施執(zhí)法監(jiān)測期間，企業(yè)應提供工況數(shù)據(jù)的證明材料。

7.2排氣筒監(jiān)測

8

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7.2.1排氣筒中大氣污染物的監(jiān)測采樣按GB/T16157、HJ/T373、HJ/T397和HJ732的規(guī)定執(zhí)行。

對于序批式生產(chǎn)工序、儲罐呼吸排氣等排放強度周期性波動的污染源，污染物排放監(jiān)測時段應涵蓋其排

放強度大的時段。

7.2.2排氣筒中大氣污染物濃度和排放速率可以任何連續(xù)1h采樣獲得平均值，或者在任何1h內(nèi)以

等時間間隔采集3個～4個樣品，計算平均值；對于間歇式排放且排放時間小于1h，則應在排放階段

實現(xiàn)連續(xù)監(jiān)測，或者在排放時段內(nèi)以等時間間隔采集2個～4個樣品，計算平均值。

7.2.3采取組合工藝處理廢氣的，VOCs燃燒（焚燒、氧化）裝置基準氧含量監(jiān)測點位的設置應考慮其

避免受到其他處理工藝（如雙氧水催化氧化、生物滴濾等）對氧含量的干擾。

7.2.4因工藝需要設置廢氣應急旁路的企業(yè)，按規(guī)定應安裝大氣污染物排放自動監(jiān)控設備的，應將其

采樣點安裝在旁路與廢氣治理設施混合后的煙道內(nèi)；不具備條件的，應在旁路煙道上安裝大氣污染物排

放自動監(jiān)控設備。

7.3廠區(qū)監(jiān)測

7.3.1對廠區(qū)內(nèi)VOCs無組織排放進行監(jiān)控時，在廠房門窗或通風口、其他開口（孔）等排放口外1m，

距離地面1.5m以上位置處進行監(jiān)測。若廠房不完整（如有頂無圍墻），則在操作工位下風向1m，距

離地面1.5m以上位置處進行監(jiān)測。

7.3.2廠區(qū)內(nèi)NMHC任何1h平均濃度的監(jiān)測采用HJ604規(guī)定的方法或者按HJ1331、HJ1332等便攜

式監(jiān)測技術(shù)規(guī)范執(zhí)行，以連續(xù)1h采樣獲取平均值，或在1h內(nèi)以等時間間隔采集3個～4個樣品，計

算平均值。廠區(qū)內(nèi)NMHC任意一次濃度值的監(jiān)測，按HJ1331、HJ1332或HJ604規(guī)定的方法執(zhí)行。

7.4企業(yè)邊界監(jiān)測

7.4.1企業(yè)邊界大氣污染物的監(jiān)測采樣按HJ/T55的規(guī)定執(zhí)行。

7.4.2企業(yè)邊界VOCs的監(jiān)測，一般以連續(xù)1h采樣獲取平均值；若分析方法靈敏度高，僅需用短時間

采集時，應在1h內(nèi)以等時間間隔采集3個～4個樣品，計算平均值。

7.5分析測試方法

7.5.1大氣污染物的分析測定采用表5所列的方法標準。

表5大氣污染物分析方法標準

序號污染物項目標準名稱標準編號

固定污染源廢氣總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定氣相色譜法HJ38

固定污染源廢氣非甲烷總烴連續(xù)監(jiān)測技術(shù)規(guī)范HJ1286

固定污染源廢氣總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定便攜式催化氧化-氫火焰離

非甲烷總烴HJ1331

1子化檢測器法

（NMHC）

固定污染源廢氣總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定便攜式氣相色譜-氫火焰離

HJ1332

子化檢測器法

環(huán)境空氣總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定直接進樣-氣相色譜法HJ604

固定污染源廢氣揮發(fā)性有機物的測定固相吸附-熱脫附/氣相色譜-質(zhì)譜法HJ734

環(huán)境空氣苯系物的測定固體吸附/熱脫附-氣相色譜法HJ583

2苯系物

環(huán)境空氣苯系物的測定活性炭吸附/二硫化碳解吸-氣相色譜法HJ584

固定污染源廢氣苯系物的測定氣袋采樣/直接進樣-氣相色譜法HJ1261

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表5大氣污染物分析方法標準（續(xù)）

序號污染物項目標準名稱標準編號

固定污染源廢氣揮發(fā)性有機物的測定固相吸附-熱脫附/氣相色譜-質(zhì)譜法HJ734

環(huán)境空氣苯系物的測定固體吸附/熱脫附-氣相色譜法HJ583

環(huán)境空氣苯系物的測定活性炭吸附/二硫化碳解吸-氣相色譜法HJ584

3苯

固定污染源廢氣苯系物的測定氣袋采樣/直接進樣-氣相色譜法HJ1261

環(huán)境空氣揮發(fā)性有機物的測定吸附管采樣-熱脫附/氣相色譜-質(zhì)譜法HJ644

環(huán)境空氣65種揮發(fā)性有機物的測定罐采樣/氣相色譜-質(zhì)譜法HJ759

固定污染源廢氣揮發(fā)性有機物的測定固相吸附-熱脫附/氣相色譜-質(zhì)譜法HJ734

環(huán)境空氣苯系物的測定固體吸附/熱脫附-氣相色譜法HJ583

4甲苯

環(huán)境空氣苯系物的測定活性炭吸附/二硫化碳解吸-氣相色譜法HJ584

固定污染源廢氣苯系物的測定氣袋采樣/直接進樣-氣相色譜法HJ1261

固定污染源廢氣揮發(fā)性有機物的測定固相吸附-熱脫附/氣相色譜-質(zhì)譜法HJ734

環(huán)境空氣苯系物的測定固體吸附/熱脫附-氣相色譜法HJ583

5二甲苯

環(huán)境空氣苯系物的測定活性炭吸附/二硫化碳解吸-氣相色譜法HJ584

固定污染源廢氣苯系物的測定氣袋采樣/直接進樣-氣相色譜法HJ1261

固定污染源廢氣醛、酮類化合物的測定溶液吸收-高效液相色譜法HJ1153

空氣質(zhì)量甲醛的測定乙酰丙酮分光光度法GB/T15516

6甲醛

環(huán)境空氣醛、酮類化合物的測定高效液相色譜法HJ683

環(huán)境空氣醛、酮類化合物的測定溶液吸收-高效液相色譜法HJ1154

N,N-二甲基

7環(huán)境空氣和廢氣酰胺類化合物的測定液相色譜法HJ801

酰胺

8異丙醇固定污染源廢氣揮發(fā)性有機物的測定固相吸附-熱脫附/氣相色譜-質(zhì)譜法HJ734

9三氯乙烯固定污染源廢氣揮發(fā)性鹵代烴的測定氣袋采樣-氣相色譜法HJ1006

固定污染源廢氣揮發(fā)性有機物的測定固相吸附-熱脫附／氣相色譜-質(zhì)譜法HJ734

10丙酮

固定污染源廢氣醛、酮類化合物的測定溶液吸收-高效液相色譜法HJ1153

7.5.2本文件實施后國家和安徽省新發(fā)布的污染物監(jiān)測方法標準，若適用性滿足要求，同樣適用于本

文件相應污染物的測定。

8達標判定要求

8.1對于有組織排放，采用手工監(jiān)測或在線監(jiān)測時，按照監(jiān)測規(guī)范要求測得的任意1h平均濃度值超

過本文件規(guī)定的限值，判定為超標；按照監(jiān)測規(guī)范要求測得的任意1h平均排放速率超過本文件規(guī)定的

限值或者去除效率低于本文件規(guī)定的限值，判定為超標；適用于本文件4.4規(guī)定的去除效率在適用條件

下低于本文件規(guī)定的限值，判定為超標。

8.2對于廠區(qū)內(nèi)VOCs無組織排放，可采用手工監(jiān)測或在線監(jiān)測進行達標判定；按照監(jiān)測規(guī)范要求測得

的任意1h平均濃度值或任意一次值超過本文件規(guī)定的限值，判定為超標。

8.3對于企業(yè)邊界大氣污染物排放，采用手工監(jiān)測或在線監(jiān)測時，按照監(jiān)測規(guī)范要求測得的任意1h

平均濃度值超過本文件規(guī)定的限值，判定為超標。

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9實施與監(jiān)督

9.1本文件由生態(tài)環(huán)境主管部門監(jiān)督實施。

9.2新建企業(yè)自本文件實施之日起，現(xiàn)有企業(yè)自2025年06月01日起，執(zhí)行本文件要求。

9.3本文件未列出的污染控制項目執(zhí)行國家或安徽省相關(guān)標準。文件頒布實施后，國家或安徽省發(fā)布

相應行業(yè)污染物排放標準嚴于本文件的或者涉及本文件未作規(guī)定的污染物項目的，執(zhí)行國家或安徽省標

準。

9.4企業(yè)是實施排放標準的責任主體，應采取必要措施，達到本文件規(guī)定的污染物排放控制要求。

9.5現(xiàn)有企業(yè)在本文件實施后應制定達標規(guī)劃，在新標準規(guī)定生效的時效前完成達標治理。現(xiàn)有企業(yè)

排污許可證規(guī)定的內(nèi)容與本文件規(guī)定不一致的，應在本文件規(guī)定生效的時效前更改排污許可證。

9.6VOCs治理設施在開停車等非正常排放、事故排放等工況下，確因安全控制需要，短期難以滿足本

文件要求，應及時向所屬生態(tài)環(huán)境主管部門報告。

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附錄A

（資料性）

適用的電子工業(yè)行業(yè)范圍及電子專用材料涵蓋的主要產(chǎn)品范圍

A.1電子工業(yè)行業(yè)范圍的分類

表A.1給出了本文件適用的電子工業(yè)行業(yè)范圍的分類。

表A.1本文件適用的電子工業(yè)行業(yè)范圍的分類

中類代碼類別名稱小類代碼類別名稱分類

C3911計算機整機制造

C3912計算機零部件制造

C3913計算機外圍設備制造

C391計算機制造

C3914工業(yè)控制計算機及系統(tǒng)制造

C3915信息安全設備制造

C3919其他計算機制造

C3921通信系統(tǒng)設備制造

C392通信設備制造

C3922通信終端設備制造

C3931廣播電視節(jié)目制作及發(fā)射設備制造

C3932廣播電視接收設備制造

C393廣播電視設備制造