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文檔簡介

T/ACCEMXXX-XXXX

新材料多線切割機控制系統(tǒng)

1范圍

本文件規(guī)定了新材料多線切割機控制系統(tǒng)的術語和定義、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標志、說

明書、包裝、儲存和運輸。

本文件適用于硅片制造工序切片環(huán)節(jié)的多線切割機控制系統(tǒng),可變軸距設計,一機可兼容

16X/18X/210/220/230等不同尺寸硅片的切割需求,同步兼容HJT和TOPCon等新型電池的大尺寸、薄

片化、半片、矩形片發(fā)展需求。

系統(tǒng)搭載偏心套/偏心軸箱技術,通過軸距變化,實現(xiàn)最優(yōu)軸距切割;采用模塊化、平臺化產(chǎn)品設

計,預留性能升級空間,可兼容未來更大尺寸更薄厚度切割需求及半片切割需求,工藝應用空間更廣闊;

全面優(yōu)化各組件裝置,采用最新切割布局,實現(xiàn)行業(yè)領先的切割軸距,全面提升切割能力,具有切割效

率高、加工質量好、操作方便等特點。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中,注日期的引用文件,

僅該日期對應的版本適用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本

文件。

GB/T191包裝儲運圖示標志

GB/T13384機電產(chǎn)品包裝通用技術條件

GB/T26071太陽能電池用硅單晶片

GB/T29055太陽能電池用硅多晶片

SJ/T142電子工專用設備通用規(guī)范

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件。

3.1

多線切割機自動控制系統(tǒng)Multilinecuttingmachineautomaticcontrolsystem

多線切割機自動控制系統(tǒng)是通過金屬絲的高速往復運動,對單(多)晶硅、石英、水晶、陶瓷、人造

寶石、磁性材料、化合物、氧化物等硬脆材料進行切割加工,可將棒料或錠件一次同時切割為數(shù)百片甚

至數(shù)千片薄片的一種新型切割加工方法。

3.2

人機界面Humanmachinelnterface

人機界面(又稱用戶界面或使用者界面)是系統(tǒng)和用戶之間進行交互和信息交換的媒介,它實現(xiàn)信息

的內(nèi)部形式與人類可以接受形式之間的轉換。凡參與人機信息交流的領域都存在著人機界面。

3.3

可編程控制器Programmablelogiccontroller

1

T/ACCEMXXX-XXXX

可編程控制器是一類可編程的存儲器,用于其內(nèi)部存儲程序,執(zhí)行邏輯運算、順序控制、定時、計

數(shù)與算術操作等面向用戶的指令,并通過數(shù)字或模擬式輸入/輸出控制各種類型的機械或生產(chǎn)過程。

3.4

伺服驅動器Servodrives

伺服驅動器又稱為“伺服控制器”、“伺服放大器”,用來控制伺服電機的一種控制器,其作用類

似于變頻器作用于普通交流馬達,屬于伺服系統(tǒng)的一部分,主要應用于高精度的定位系統(tǒng)。一般是通過

位置、速度和力矩三種方式對伺服馬達進行控制,實現(xiàn)高精度的傳動系統(tǒng)定位,目前是傳動技術的高端

產(chǎn)品。

3.5

伺服電機Servomotor

伺服電機是指在伺服系統(tǒng)中控制機械元件運轉的發(fā)動機,是一種補助馬達間接變速裝置。伺服電機

可使控制速度,位置精度非常準確,可以將電壓信號轉化為轉矩和轉速以驅動控制對象。伺服電機轉子

轉速受輸入信號控制,并能快速反應,在自動控制系統(tǒng)中,用作執(zhí)行元件,且具有機電時間常數(shù)小、線

性度高、始動電壓等特性,可把所收到的電信號轉換成電動機軸上的角位移或角速度輸出。分為直流和

交流伺服電動機兩大類,其主要特點是,當信號電壓為零時無自轉現(xiàn)象,轉速隨著轉矩的增加而勻速下

降。

3.6

變頻器Variable-frequencydrive

變頻器主要由整流(交流變直流)、濾波、逆變(直流變交流)、制動單元、驅動單元、檢測單元微處

理單元等組成。變頻器靠內(nèi)部IGBT的開斷來調(diào)整輸出電源的電壓和頻率,根據(jù)電機的實際需要來提供

其所需要的電源電壓,進而達到節(jié)能、調(diào)速的目的,另外變頻器還有很多的保護功能,如過流、過壓、

過載保護等等。隨著工業(yè)自動化程度的不斷提高,變頻器也得到了非常廣泛的應用。

4要求

4.1一般要求

4.1.1新材料多線切割機控制系統(tǒng)應包含部分:人機界面、可編程控制器、伺服驅動器、伺服電機、

變頻器。

4.1.2新材料多線切割機控制系統(tǒng)監(jiān)測應包含內(nèi)容:切割時間、溫度流量、總線長度、設備運行狀態(tài)。

4.1.3新材料多線切割機控制系統(tǒng)的制造應符合本文件的要求,并按規(guī)定程序批準的圖樣及技術文件

制造。

4.1.4新材料多線切割機控制系統(tǒng)所采用的外購件應符合其相應的標準規(guī)定,并附有產(chǎn)品合格證。

4.2基本要求

4.2.1新材料多線切割機控制系統(tǒng)的使用條件應符合SJ/T142的要求。

4.2.2正常工作條件:

1)額定工作電壓:三相340V~430V;

2)環(huán)境溫度:-10℃~50℃;

3)相對濕度:小于90%RH;

4)硅片要求:切割單晶硅片尺寸及質量應符合GB/T26071的規(guī)定。切割多品硅片尺寸及質

量應符合GB/T29055的規(guī)定。

4.2.3系統(tǒng)性能

2

T/ACCEMXXX-XXXX

4.2.3.1主控單元、元器件性能可靠,運算功能正常。

4.2.3.2主機單元、位置控制單元、速度控制單元、連接單元的元器件性能可靠,定位準確,運行平

穩(wěn)。

4.2.3.3手動控制輸入和顯示功能操作可靠。

4.2.3.4按鍵動作靈活可靠,控制裝置組成部分完整、功能齊全、性能良好、顯示清晰。

4.2.3.5人機界面正常,通電自檢正常。

4.2.3.6具有參數(shù)編輯功能。

4.2.3.7具有對關鍵參數(shù)的監(jiān)控和記錄及保存功能。

4.3技術要求

4.3.1新材料多線切割機控制系統(tǒng)應可在交流340V~430V范圍內(nèi)正常工作。

4.3.2新材料多線切割機控制系統(tǒng)的切割線運行速度應可在0~400m/min范圍內(nèi)自由設定,最佳

線切速度可控制在42m/s。

4.3.3新材料多線切割機控制系統(tǒng)的金剛砂線徑應在34μm~50μm范圍內(nèi)。

4.3.4新材料多線切割機控制系統(tǒng)的擺桿角度應控制在±0.5°范圍內(nèi),

4.3.5新材料多線切割機控制系統(tǒng)的線張力應可在2N~40N范圍內(nèi)自由設定。

4.3.6新材料多線切割機控制系統(tǒng)的張力控制精度±0.3N范圍內(nèi)。

4.3.7新材料多線切割機控制系統(tǒng)的擺桿伺服采用力矩控制算法,以確保設備在運行過程中,作用于

切割線上張力恒定。線張力精度應在±1N范圍內(nèi)。

4.3.8新材料多線切割機控制系統(tǒng)收放線軸各自兩端的同軸度應不大于1.5mm。

4.3.9新材料多線切割機控制系統(tǒng)通過高精度切割進給伺服控制系統(tǒng)。配合鋼線張力自動控制進給系

統(tǒng),以確保在不斷線的條件下實現(xiàn)切割的高效性。伺服精確控制后,應使得每一層根數(shù)相同,并且每兩

根線之間緊密接觸,以實現(xiàn)緊密排線。

4.3.10多線切割機應有自動排線功能,以提高切割線的使用率,切割良率應大于96%,節(jié)約生產(chǎn)成

本。

4.3.11多線切割機控制系統(tǒng)應有自動故障報警功能,以確保設備的使用安全性。

5試驗方法

5.1試驗環(huán)境

除特殊要求外,試驗應在如下環(huán)境下進行:

a)額定工作電壓:三相340V~430V;

b)環(huán)境溫度:-10℃~50℃;

c)相對濕度:小于90%RH;

d)硅片要求:切割單晶硅片尺寸及質量應符合GB/T26071的規(guī)定。切割多品硅片尺寸及質量應

符合GB/T29055的規(guī)定。

5.2性能試驗

開啟多線切割機按照操作說明書逐一檢查設備控制系統(tǒng)的性能和功能。

5.3電壓工作范圍

用調(diào)壓器和萬用表分別調(diào)整輸入電壓到高位及低位,開啟閉合多線切割機電源開關,結果應符合

4.3.1條的要求。

3

T/ACCEMXXX-XXXX

5.4運行速度

調(diào)節(jié)運行速度在某一定值,運行一段時間后,用卷尺和電子秒表測量運行速度,其值應與設定值基

本一致,結果應符合4.3.2條的要求。

5.5金剛砂線徑

監(jiān)測設備運行參數(shù),結果應符合4.3.3條的要求。

5.6擺桿角度

監(jiān)測設備運行參數(shù),結果應符合4.3.4條的要求。

5.7線張力

多次設定多線切割機的線張力,結果應符合4.3.5條的要求。

5.8張力控制

監(jiān)測設備參數(shù),結果應符合4.3.6條的要求。

5.9線張力精度

用示波器觀察張力傳感器輸出波形的波動幅度值,結果應符合4.2.7條的要求。

5.10收放線

旋轉收放線軸的一端,用千分表在另一端測量其波動值,結果應符合4.2.8條的要求。

5.11排線

多線切割機運行一段時間后,用目視法檢查每層根數(shù)和排線密度,結果應符合4.2.9條的要求。

5.12自動排線功能

運行多線切割機,用目視法檢查其排線方式,結果應符合4.2.10條的要求。

5.13故障報警

人為設置故障,多線切割機控制系統(tǒng)應能發(fā)出相應的故障報警,結果應符合4.2.11條的要求。

6檢驗規(guī)則

6.1鑒定檢驗項目應符合表1。

表1檢驗項目

檢驗項目要求章節(jié)號試驗方法章節(jié)號交付檢驗

電壓工作范圍4.3.15.3●

運行速度4.3.25.4●

金剛砂線徑4.3.35.5●

擺桿角度4.3.45.6●

線張力4.3.55.7●

4

T/ACCEMXXX-XXXX

表1檢驗項目(續(xù))

張力控制4.3.65.8●

線張力精度4.3.75.9●

收放線4.3.85.10●

排線4.3.95.11●

自動排線功能4.3.105.12●

故障報警4.3.115.13●

6.2交付檢驗項目中任一項出現(xiàn)故障時,應停止檢驗,查出故障原因,排除故障后,重新進行檢驗。

重新檢驗中若再次出現(xiàn)故障,應將該設備判為不合格。

7標志、說明書、包裝、儲存和運輸

7.1標志

產(chǎn)品在明顯位置上應清晰的標出下列標志:

a)產(chǎn)品名稱;

b)制造廠名;

c)生產(chǎn)日期或出廠編號。

7.2說明書

多線切割機控制系統(tǒng)的說明書中應有詳細的參數(shù)說明、操作說明、注意事項,以及維護保養(yǎng)等詳細

說明。

7.3包裝

包裝應符合CB/T13384中的5.2.1.2的要求。

7.4儲存

7.4.1保存地方應清潔,其環(huán)境溫度應不低于25℃,相對濕度不超過90%,且在空氣中不含有引起

腐蝕的有害物質。

7.4.2長時間存放會導致電解電容的劣化,必須保證在2年之內(nèi)通一次電,通電時間至少5h,輸入

電壓必須用調(diào)壓器緩緩升高至額定值。

7.5運輸

運輸過程中應有防雨、雪措施,裝卸車應避免強烈的震動、撞擊,以保證產(chǎn)品在正常運輸過程中不

會受到損壞。

━━━━━━━━━━━

5

ICS25.040

CCSC382T/ACCEM

團體標準

T/ACCEMXXXX-XXXX

新材料多線切割機控制系統(tǒng)

Controlsystemofnewmaterialmultilinecuttingmachine

(征求意見稿)

20XX-XX-XX發(fā)布20XX-XX-XX實施

中國商業(yè)企業(yè)管理協(xié)會發(fā)布

T/ACCEMXXX-XXXX

新材料多線切割機控制系統(tǒng)

1范圍

本文件規(guī)定了新材料多線切割機控制系統(tǒng)的術語和定義、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標志、說

明書、包裝、儲存和運輸。

本文件適用于硅片制造工序切片環(huán)節(jié)的多線切割機控制系統(tǒng),可變軸距設計,一機可兼容

16X/18X/210/220/230等不同尺寸硅片的切割需求,同步兼容HJT和TOPCon等新型電池的大尺寸、薄

片化、半片、矩形片發(fā)展需求。

系統(tǒng)搭載偏心套/偏心軸箱技術,通過軸距變化,實現(xiàn)最優(yōu)軸距切割;采用模塊化、平臺化產(chǎn)品設

計,預留性能升級空間,可兼容未來更大尺寸更薄厚度切割需求及半片切割需求,工藝應用空間更廣闊;

全面優(yōu)化各組件裝置,采用最新切割布局,實現(xiàn)行業(yè)領先的切割軸距,全面提升切割能力,具有切割效

率高、加工質量好、操作方便等特點。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中,注日期的引用文件,

僅該日期對應的版本適用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本

文件。

GB/T191包裝儲運圖示標志

GB/T13384機電產(chǎn)品包裝通用技術條件

GB/T26071太陽能電池用硅單晶片

GB/T29055太陽能電池用硅多晶片

SJ/T142電子工專用設備通用規(guī)范

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件。

3.1

多線切割機自動控制系統(tǒng)Multilinecuttingmachineautomaticcontrolsystem

多線切割機自動控制系統(tǒng)是通過金屬絲的高速往復運動,對單(多)晶硅、石英、水晶、陶瓷、人造

寶石、磁性材料、化合物、氧化物等硬脆材料進行切割加工,可將棒料或錠件一次同時切割為數(shù)百片甚

至數(shù)千片薄片的一種新型切割加工方法。

3.2

人機界面Humanmachinelnterface

人機界面(又稱用戶界面或使用者界面)是系統(tǒng)和用戶之間進行交互和信息交換的媒介,它實現(xiàn)信息

的內(nèi)部形式與人類可以接受形式之間的轉換。凡參與人機信息交流的領域都存在著人機界面。

3.3

可編程控制器Programmablelogiccontroller

1

T/ACCEMXXX-XXXX

可編程控制器是一類可編程的存儲器,用于其內(nèi)部存儲程序,執(zhí)行邏輯運算、順序控制、定時、計

數(shù)與算術操作等面向用戶的指令,并通過數(shù)字或模擬式輸入/輸出控制各種類型的機械或生產(chǎn)過程。

3.4

伺服驅動器Servodrives

伺服驅動器又稱為“伺服控制器”、“伺服放大器”,用來控制伺服電機的一種控制器,其作用類

似于變頻器作用于普通交流馬達,屬于伺服系統(tǒng)的一部分,主要應用于高精度的定位系統(tǒng)。一般是通過

位置、速度和力矩三種方式對伺服馬達進行控制,實現(xiàn)高精度的傳動系統(tǒng)定位,目前是傳動技術的高端

產(chǎn)品。

3.5

伺服電機Servomotor

伺服電機是指在伺服系統(tǒng)中控制機械元件運轉的發(fā)動機,是一種補助馬達間接變速裝置。伺服電機

可使控制速度,位置精度非常準確,可以將電壓信號轉化為轉矩和轉速以驅動控制對象。伺服電機轉子

轉速受輸入信號控制,并能快速反應,在自動控制系統(tǒng)中,用作執(zhí)行元件,且具有機電時間常數(shù)小、線

性度高、始動電壓等特性,可把所收到的電信號轉換成電動機軸上的角位移或角速度輸出。分為直流和

交流伺服電動機兩大類,其主要特點是,當信號電壓為零時無自轉現(xiàn)象,轉速隨著轉矩的增加而勻速下

降。

3.6

變頻器Variable-frequencydrive

變頻器主要由整流(交流變直流)、濾波、逆變(直流變交流)、制動單元、驅動單元、檢測單元微處

理單元等組成。變頻器靠內(nèi)部IGBT的開斷來調(diào)整輸出電源的電壓和頻率,根據(jù)電機的實際需要來提供

其所需要的電源電壓,進而達到節(jié)能、調(diào)速的目的,另外變頻器還有很多的保護功能,如過流、過壓、

過載保護等等。隨著工業(yè)自動化程度的不斷提高,變頻器也得到了非常廣泛的應用。

4要求

4.1一般要求

4.1.1新材料多線切割機控制系統(tǒng)應包含部分:人機界面、可編程控制器、伺服驅動器、伺服電機、

變頻器。

4.1.2新材料多線切割機控制系統(tǒng)監(jiān)測應包含內(nèi)容:切割時間、溫度流量、總線長度、設備運行狀態(tài)。

4.1.3新材料多線切割機控制系統(tǒng)的制造應符合本文件的要求,并按規(guī)定程序批準的圖樣及技術文件

制造。

4.1.4新材料多線切割機控制系統(tǒng)所采用的外購件應符合其相應的標準規(guī)定,并附有產(chǎn)品合格證。

4.2基本要求

4.2.1新材料多線切割機控制系統(tǒng)的使用條件應符合SJ/T142的要求。

4.2.2正常工作條件:

1)額定工作電壓:三相340V~430V;

2)環(huán)境溫度:-10℃~50℃;

3)相對濕度:小于90%RH;

4)硅片要求:切割單晶硅片尺寸及質量應符合GB/T26071的規(guī)定。切割多品硅片尺寸及質

量應符合GB/T29055的規(guī)定。

4.2.3系統(tǒng)性能

2

T/ACCEMXXX-XXXX

4.2.3.1主控單元、元器件性能可靠,運算功能正常。

4.2.3.2主機單元、位置控制單元、速度控制單元、連接單元的元器件性能可靠,定位準確,運行平

穩(wěn)。

4.2.3.3手動控制輸入和顯示功能操作可靠。

4.2.3.4按鍵動作靈活可靠,控制裝置組成部分完整、功能齊全、性能良好、顯示清晰。

4.2.3.5人機界面正常,通電自檢正常。

4.2.3.6具有參數(shù)編輯功能。

4.2.3.7具有對關鍵參數(shù)的監(jiān)控和記錄及保存功能。

4.3技術要求

4.3.1新材料多線切割機控制系統(tǒng)應可在交流340V~430V范圍內(nèi)正常工作。

4.3.2新材料多線切割機控制系統(tǒng)的切割線運行速度應可在0~400m/min范圍內(nèi)自由設定,最佳

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