(19)國家知識產(chǎn)權(quán)局F26B25/12(2006.01)(71)申請人華羿微電子股份有限公司地址710000陜西省西安市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)草灘生態(tài)產(chǎn)業(yè)園尚稷路8928號(72)發(fā)明人張超馬有有金浩怡馬耀祖張新元李樂成辛海軍孫杰(74)專利代理機構(gòu)北京中濟緯天專利代理有限公司11429專利代理師石淑珍F26B21/00(2006.01)(54)發(fā)明名稱一種程控式內(nèi)循環(huán)潔凈烘箱本發(fā)明提供一種程控式內(nèi)循環(huán)潔凈烘箱。該程控式內(nèi)循環(huán)潔凈烘箱，包括外殼體、塔燈與掃描槍，外殼體內(nèi)部設(shè)有控制裝置，門模塊包含門、拉手、合頁與標識牌，內(nèi)膽模塊有PC板卡、加熱風口構(gòu)成。通過控制裝置協(xié)同PC板卡控制加熱器產(chǎn)生熱量，循環(huán)風機帶動葉輪使熱風在內(nèi)膽固化倉與風道間循環(huán)，經(jīng)調(diào)風裝置調(diào)節(jié)，確保內(nèi)部氣體均勻分布，配合溫度傳感器實時監(jiān)測及反饋調(diào)121.一種程控式內(nèi)循環(huán)潔凈烘箱，其特征在于，包括：外膽模塊(1),所述外膽模塊(1)包括外殼體(5)與塔燈(6),所述外殼體(5)的前端設(shè)置有掃描槍(7),所述外殼體(5)的上端與塔燈(6)固定連接，所述外殼體(5)的內(nèi)部設(shè)置有控制裝置(29),所述外殼體(5)的前端設(shè)置有門模塊(3),所述外殼體(5)的內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)膽模塊(2),所述外殼體(5)的底部設(shè)置有風道模塊(4);所述門模塊(3)包括門(19)、拉手(20)、合頁(21)與標識牌(22);所述內(nèi)膽模塊(2)包括PC板卡(28)、加熱倉(26)、加熱器(18)、固化倉(10)、第一層板感器(25);所述風道模塊(4)包括循環(huán)風機(8)、葉輪(17)、出風口(23)、調(diào)風裝置(27)與回風口2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種程控式內(nèi)循環(huán)潔凈烘箱，其特征在于：所述外殼體(5)的底部固定連接有地腳(9),所述地腳(9)的數(shù)量為四個且均勻分布在所述外殼體(5)的底部。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種程控式內(nèi)循環(huán)潔凈烘箱，其特征在于：所述門(19)位于所述外殼體(5)的前端并通過合頁(21)鉸鏈連接，所述門(19)的前端與拉手(20)固定連接，所述門(19)的前端與標識牌(22)固定連接。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種程控式內(nèi)循環(huán)潔凈烘箱，其特征在于：所述加熱倉(26)位于所述外殼體(5)的底部，所述加熱器(18)安裝在所述加熱倉(26)的內(nèi)部。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種程控式內(nèi)循環(huán)潔凈烘箱，其特征在于：所述第一層板(11)、第二層板(12)、第三層板(13)、第四層板(14)、第五層板(15)與第六層板(16)分別安裝在所述固化倉(10)的內(nèi)部，所述固化倉(10)位于所述外殼體(5)的內(nèi)部。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種程控式內(nèi)循環(huán)潔凈烘箱，其特征在于：所述溫度傳感器(25)安裝在所述第一層板(11)的上方且均勻分布在左后、右后、左前與右前，所述溫度傳感器(25)安裝在所述第三層板(13)的中間位置，所述溫度傳感器(25)安裝在所述第六層板7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種程控式內(nèi)循環(huán)潔凈烘箱，其特征在于：所述循環(huán)風機(8)位于外殼體(5)的后端，所述葉輪(17)位于外殼體(5)的一側(cè)，所述出風口(23)位于外殼體(5)的右后側(cè)，所述回風口(24)位于外殼體(5)的左后側(cè)，所述調(diào)風裝置(27)位于外殼體(5)的內(nèi)部。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種程控式內(nèi)循環(huán)潔凈烘箱，其特征在于：所述PC板卡(28)位于外殼體(5)的內(nèi)部，所述PC板卡(28)與所述溫度傳感器(25)電性連接。3技術(shù)領(lǐng)域[0001]本發(fā)明涉及集成電路封裝的塑封后固化技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種程控式內(nèi)循環(huán)潔凈烘箱。背景技術(shù)[0002]半導(dǎo)體芯片通常在塑封后需要固化，而固化是集成電路封裝的關(guān)鍵工序，主要目的包括保護芯片，通過環(huán)氧樹脂等塑封材料，將芯片、金屬引線和支架完全包封，形成物理屏障，防止?jié)駳?、塵埃和機械應(yīng)力對芯片的損害；消除翹曲，在固化過程中使塑封體受熱均勻，減少因材料收縮導(dǎo)致的翹曲現(xiàn)象；提升可靠性，確保塑封材料充分交聯(lián)固化，提高封裝[0003]目前在進行半導(dǎo)體芯片的固化操作時通常采用潔凈烘箱進行，潔凈烘箱的無塵烘箱是一種專為高溫凈化環(huán)境設(shè)計的烘干設(shè)備，通過耐高溫高效空氣過濾器實現(xiàn)封閉自循環(huán)，確保工作室內(nèi)達到Class100,甚至更高的潔凈度，同時提供精密的溫度和濕度控制，潔凈烘箱通過熱空氣循環(huán)+精確溫控實現(xiàn)固化，其核心組件包括加熱系統(tǒng)、保溫層、溫度控制發(fā)明內(nèi)容[0004]針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種程控式內(nèi)循環(huán)潔凈烘箱，解決了在長時間的高溫工作狀態(tài)下使得潔凈烘箱的能耗較高，長時間高負荷運行成本高，同時大型烘箱邊緣與中心溫差大，影響固化的一致性，進而影響芯片后期使用性能的問題。[0005]為實現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn)：一種程控式內(nèi)循環(huán)潔凈烘述外殼體的上端與塔燈固定連接，所述外殼體的內(nèi)部設(shè)置有控制裝置，所述外殼體的前端設(shè)置有門模塊，所述外殼體的內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)膽模塊，所述外殼體的底部設(shè)置有風道模塊；[0009]優(yōu)選的：所述外殼體的底部固定連接有地腳，所述地腳的數(shù)量為四個且均勻分布在所述外殼體的底部。[0010]優(yōu)選的：所述門位于所述外殼體的前端并通過合頁鉸鏈連接，所述門的前端與拉手固定連接，所述門的前端與標識牌固定連接。[0011]優(yōu)選的：所述加熱倉位于所述外殼體的底部，所述加熱器安裝在所述加熱倉的內(nèi)安裝在所述固化倉的內(nèi)部，所述固化倉位于所述外殼體的內(nèi)部。4[0013]優(yōu)選的：所述溫度傳感器安裝在所述第一層板的上方且均勻分布在左后、右后、左前與右前，所述溫度傳感器安裝在所述第三層板的中間位置，所述溫度傳感器安裝在所述[0014]優(yōu)選的：所述循環(huán)風機位于外殼體的后端，所述葉輪位于外殼體的一側(cè)，所述出風口位于外殼體的右后側(cè)，所述回風口位于外殼體的左后側(cè)，所述調(diào)風裝置位于外殼體的內(nèi)[0015]優(yōu)選的：所述PC板卡位于外殼體的內(nèi)部，所述PC板卡與所述溫度傳感器電性連接。[0016]本發(fā)明提供了一種程控式內(nèi)循環(huán)潔凈烘箱。具備以下有益效果：[0017]通過采用PMC程控，以及固化倉體內(nèi)均布的探頭，使得烘箱邊緣與中心溫差實時監(jiān)測并控制減小，提高半導(dǎo)體芯片固化的一致性。[0018]采用熱風循環(huán)送風來干燥物料，將熱風由風道送入烘箱的工作室，且將使用后的熱風再次吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，并配合調(diào)風裝置，使內(nèi)部的氣體均勻分布，進而使產(chǎn)品均勻受熱，有效降低烘箱長時間高溫工作的能耗。附圖說明[0019]圖1為本發(fā)明內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；[0020]圖2為本發(fā)明外膽模塊結(jié)構(gòu)示意圖；[0021]圖3為本發(fā)明內(nèi)膽模塊結(jié)構(gòu)示意圖；[0022]圖4為本發(fā)明的門模塊結(jié)構(gòu)示意圖；[0023]圖5為本發(fā)明溫度傳感器分布示意圖；[0024]圖6為本發(fā)明的循環(huán)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。具體實施方式[0026]下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他[0028]如圖1-6所示，本發(fā)明實施例提供一種程控式內(nèi)循環(huán)潔凈烘箱，包括，外膽模塊1,外膽模塊1包括外殼體5與塔燈6,外殼體5的前端設(shè)置有掃描槍7,外殼體5的上端與塔燈6固定連接，外殼體5的內(nèi)部設(shè)置有控制裝置29,外殼體5的底部固定連接有地腳9,地腳9的數(shù)量為四個且均勻分布在外殼體5的底部，確保設(shè)備放置平穩(wěn)，外殼體5的前端設(shè)置有門模塊3,外殼體5的內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)膽模塊2,外殼體5的底部設(shè)置有風道模塊4。[0029]門模塊3包括門19、拉手20、合頁21與標識牌22,門19位于外殼體5的前端并通過合5頁21鉸鏈連接，門19的前端與拉手20固定連接，門19的前端與標識牌22固定連接，各部件連接方式及作用，方便物料進出與設(shè)備管理。[0032]實施例二[0033]如圖1-6所示，本發(fā)明實施例提供一種程控式內(nèi)循環(huán)潔凈烘箱，包括，外膽模塊1,外膽模塊1包括外殼體5與塔燈6,外殼體5的前端設(shè)置有掃描槍7,外殼體5的上端與塔燈6固定連接，外殼體5的內(nèi)部設(shè)置有控制裝置29,外殼體5的底部固定連接有地腳9,地腳9的數(shù)量為四個且均勻分布在外殼體5的底部，確保設(shè)備放置平穩(wěn)，外殼體5的前端設(shè)置有門模塊3,外殼體5的內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)膽模塊2,外殼體5的底部設(shè)置有風道模塊4。12、第三層板13、第四層板14、第五層板體5的底部，加熱器18安裝在加熱倉26的內(nèi)部，保障高效加熱，第一層板1三層板13、第四層板14、第五層板15與第六層板16分別安裝在固化倉10的內(nèi)部，利于物料均勻受熱，固化倉10位于外殼體5的內(nèi)部，溫度傳感器25安裝在第一層板11的上方且均勻分布在左后、右后、左前與右前，溫度傳感器25安裝在第三層板13的中間位置，溫度傳感器25安裝在第六層板16的上方且均勻分布在左后、右后、左前與右前，實現(xiàn)精準溫度監(jiān)測，PC板卡28位于外殼體5的內(nèi)部，PC板卡28與溫度傳感器25電性連接，實現(xiàn)溫度精確控制。[0037]實施例三[0038]如圖1-6所示，本發(fā)明實施例提供一種程控式內(nèi)循環(huán)潔凈烘箱，包括，外膽模塊1,外膽模塊1包括外殼體5與塔燈6,外殼體5的前端設(shè)置有掃描槍7,外殼體5的上端與塔燈6固定連接，外殼體5的內(nèi)部設(shè)置有控制裝置29,外殼體5的底部固定連接有地腳9,地腳9的數(shù)量為四個且均勻分布在外殼體5的底部，確保設(shè)備放置平穩(wěn)，外殼體5的前端設(shè)置有門模塊3,外殼體5的內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)膽模塊2,外殼體5的底部設(shè)置有風道模塊4。[0041]風道模塊4包括循環(huán)風機8、葉輪17、出風口23、調(diào)風裝置27與回風口24,循環(huán)風機8位于外殼體5的后端，葉輪17位于外殼體5的一側(cè)，出風口23位于外殼體5的右后側(cè)，回風口24位于外殼體5的左后側(cè)，調(diào)風裝置27位于外殼體5的內(nèi)部，保證熱風有效循環(huán)與調(diào)節(jié)。[0042]工作原理：固化倉10采用SUS201不銹鋼鏡面板制造，這種材質(zhì)具有良好的耐腐蝕性和光潔度，能夠有效防止在烘干過程中因環(huán)境因素導(dǎo)致的生銹等問題，保證產(chǎn)品固化環(huán)境的清潔，倉內(nèi)設(shè)置的多層層板，為放置待烘干物料提供了充足空間，且層板的合理布局有助于熱風在固化倉10內(nèi)部均勻分布，使物料能夠全方位、均勻地接受熱量，加熱倉26同樣采用SUS201不銹鋼鏡面板制造，為加熱器18提供了一個穩(wěn)定、耐用的工作環(huán)境，保障加熱器186信息處理系統(tǒng)開始初始化工作，隨后，控制裝置29依據(jù)預(yù)設(shè)程序向PC板卡28發(fā)送啟動指令，PC板卡28控制位于加熱倉26內(nèi)的加熱器18通電，加熱器18迅速將電能轉(zhuǎn)化為熱能，對加熱倉26內(nèi)的空氣進行加熱，使空氣溫度快速上升，形成初始的熱風，循環(huán)風機8在控制裝置29的驅(qū)動下開始運轉(zhuǎn)，電機的高速轉(zhuǎn)動帶動葉輪17旋轉(zhuǎn)，葉輪17的轉(zhuǎn)動產(chǎn)生強大的吸力，將加熱倉26內(nèi)已加熱的熱風通過出風口23吹出，吹出的熱風沿著特定的風道，被輸送至烘箱的固化倉10,在固化倉10內(nèi)，熱風會依次流經(jīng)各層板，與放置在層板上的物料充分接觸，通過熱傳遞的方式帶走物料中的水分，實現(xiàn)干燥物料的目的，由于固化倉采用不銹鋼鏡面板，能夠有效減少熱量散失，增強熱風循環(huán)的效率。第三層板13中間位置，以及第六層板16上方分布在左后、右后、左前、右前均安裝有溫度傳感器25,這些傳感器實時采集所在位置的空氣溫度信息，并將溫度信號以電信號的形式傳送給與之電性連接的PC板卡28,PC板卡28接收到這些溫度信號后，會將其與預(yù)設(shè)的溫度值進行精確比較，若檢測到實際溫度低于預(yù)設(shè)溫度值，PC板卡28會通過控制裝置29增大加熱器18的加熱功率，使加熱倉26內(nèi)產(chǎn)生更多的熱量，從而提升循環(huán)熱風的溫度，若檢測到實際溫度高于預(yù)設(shè)溫度值，PC板卡28則會降低加熱器18的加熱功率，甚至暫時停止加熱器18工[0045]同時還可能對循環(huán)風機8的轉(zhuǎn)速進行調(diào)節(jié)，以控制熱風的循環(huán)速度，確保烘箱內(nèi)溫度在滿載恒溫穩(wěn)定段能夠保持在±5℃的均勻性范圍內(nèi)，使用后的熱風并不會直接排出烘箱，而是在循環(huán)風機8的吸力作用下，通過回風口24再次被吸入風道，重新回到加熱倉26,成為新的熱風源，回到加熱倉26的熱風與加熱器18新產(chǎn)生的熱量混合，再次被加熱升溫，隨后又被循環(huán)風機8驅(qū)動進入固化倉10進行新一輪的干燥工作，這種熱風源循環(huán)加熱的方式，極大地提高了能源的利用效率，減少了能源的浪費，降低了整個烘干過程的能量消耗。[0046]三級超溫保護機制在設(shè)備運行過程中時刻監(jiān)測溫度，當溫度傳感器25檢測到溫度超過