(10)申請(qǐng)公布號(hào)CN120198455A(71)申請(qǐng)人廣東索魯達(dá)科技有限公司地址510000廣東省廣州市黃埔區(qū)開(kāi)源大道188號(hào)萊迪科技園G棟一層(74)專利代理機(jī)構(gòu)廣州維智林專利代理事務(wù)所(普通合伙)44448專利代理師趙曉慧(54)發(fā)明名稱一種基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取方法和系統(tǒng)本發(fā)明提供了一種基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取方法和系統(tǒng)，方法包括：估算晶粒的周期性，根據(jù)水平和豎直方向的周期性確定晶粒的初始寬度和高度；增強(qiáng)晶圓圖像中的邊緣信息；提取圖像中的四個(gè)方向的直線，四個(gè)方向包括垂直、水平、45度和135度方向；設(shè)置晶粒的初始輪廓；利用主動(dòng)輪廓模型進(jìn)行圖像分割，迭代更新晶粒的精細(xì)輪廓；在晶圓圖像上的多個(gè)區(qū)域重復(fù)二步輪廓分割，得到多個(gè)晶圓圖像的分割結(jié)果；對(duì)得到的多個(gè)結(jié)果進(jìn)行平滑，將結(jié)果作為晶粒模板并輸出。本發(fā)明二次輪廓提取的方法，解決了基于直線提取的晶粒輪廓精確度低，和主動(dòng)輪廓模型需要手動(dòng)設(shè)立初始值的缺點(diǎn)。本發(fā)明晶圓圖像7模板增強(qiáng)邊緣平滑多個(gè)輪提取直線重復(fù)提取多個(gè)輪原設(shè)置晶粒初迭代更新輪廓21.一種基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取方法，其特征在于，包括：S1、估算晶粒的周期性，根據(jù)水平和豎直方向的周期性確定晶粒的初始寬度和高度；S3、提取所述晶圓圖像中的四個(gè)方向的直線，所述四個(gè)方向包括垂直、水平、45度和135度方向；S5、利用主動(dòng)輪廓模型進(jìn)行圖像分割，迭代更新晶粒的精細(xì)輪廓；S6、在晶圓圖像上的多個(gè)區(qū)域重復(fù)步驟S4-S5,得到多個(gè)晶圓圖像的分割結(jié)果；S7、對(duì)步驟S6得到的多個(gè)結(jié)果進(jìn)行平滑，將結(jié)果作為晶粒模板并輸出。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取方法，其特征在所述估算晶粒的周期性，根據(jù)水平和豎直方向的周期性確定晶粒的初始寬度和高度，在估算晶粒的周期性時(shí)，首先對(duì)晶圓圖像進(jìn)行離散傅里葉變換，然后計(jì)算水平和豎直方向上的周期性能量分布，最后將水平方向和豎直方向上周期性能量最大處的坐標(biāo)作為晶粒初始寬度和高度。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取方法，其特征所述增強(qiáng)晶圓圖像中的邊緣信息，包括：首先分別利用兩個(gè)算子對(duì)晶圓圖像進(jìn)行卷積，得到卷積后的圖像，然后根據(jù)所述卷積后的圖像計(jì)算得到邊緣信息增強(qiáng)后的圖像。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取方法，其特征在所述提取所述晶圓圖像中的四個(gè)方向的直線，包括：首先創(chuàng)建一個(gè)累加器矩陣，然后遍歷邊緣信息增強(qiáng)后的晶圓圖像中的各點(diǎn)，當(dāng)值超過(guò)圖像遍歷結(jié)束后，在累加器矩陣中遍歷超過(guò)長(zhǎng)度閾值最小值的點(diǎn)，作為候選直線，然后計(jì)算出候選直線的兩個(gè)端點(diǎn)；獲得候選直線的端點(diǎn)后，計(jì)算該候選直線的角度和長(zhǎng)度；將角度和長(zhǎng)度均在閾值范圍內(nèi)的候選直線作為有效直線。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取方法，其特征在若有效直線的數(shù)量大于或等于4,則從任意端點(diǎn)出發(fā)，基于深度優(yōu)先原則進(jìn)行直線的遍歷；在遍歷時(shí)若兩個(gè)直線的端點(diǎn)之間的距離小于閾值，則認(rèn)為是同一端點(diǎn)；若遍歷的路徑能夠回到起始端點(diǎn)，則將該路徑所組成的閉合環(huán)作為閉合多邊形；若有效直線的數(shù)量大于或等于4,但是無(wú)法組合成閉合多邊形，則統(tǒng)計(jì)所有有效直線的端點(diǎn)所能組成的閉合多邊形，然后將面積最大的閉合多邊形作為晶粒的初始輪廓；若有效直線的數(shù)量小于4,首先對(duì)于邊緣信息增強(qiáng)后的圖像進(jìn)行二值化濾波，大于等于3閾值的像素為邊緣像素，小于閾值的像素為非邊緣像素，得到二值化邊緣圖；然后設(shè)定滑動(dòng)窗口，并統(tǒng)計(jì)各滑動(dòng)窗口的邊緣像素密度，將邊緣像素密度大于等于閾值的窗口合并；再利用圓形核交替執(zhí)行形態(tài)學(xué)膨脹和腐蝕運(yùn)算，反復(fù)多次以填補(bǔ)空洞和去除毛刺，再將邊緣像素的骨架作為有效直線，計(jì)算閉合多邊形，并將面積最大的閉合多邊形作為晶粒的初始輪廓。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取方法，其特征在所述利用主動(dòng)輪廓模型進(jìn)行圖像分割，迭代更新晶粒的精細(xì)輪廓，包括：首先設(shè)定輪廓的權(quán)重參數(shù)，然后對(duì)于輪廓上每個(gè)點(diǎn)，更新輪廓點(diǎn)的位置，如果兩次更新7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取方法，其特征在所述對(duì)步驟S6得到的多個(gè)結(jié)果進(jìn)行平滑，將結(jié)果作為晶粒模板并輸出，包括：對(duì)于檢測(cè)到的多個(gè)晶粒輪廓，首先計(jì)算所述多個(gè)晶粒輪廓的寬度均值和高度均值；并將所述寬度均值和高度均值作為晶粒輪廓模板的寬度和高度，然后將所述多個(gè)晶粒輪廓的左上角對(duì)齊，再對(duì)相同位置上的每個(gè)點(diǎn)進(jìn)行中值濾波，將中值濾波后的結(jié)果作為晶粒輪廓模板當(dāng)前位置的值。8.一種基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取系統(tǒng)，其特征在于，包括：估算周期模塊，用于估算晶粒的周期性，根據(jù)水平和豎直方向的周期性確定晶粒的初始寬度和高度；邊緣增強(qiáng)模塊，用于增強(qiáng)晶圓圖像中的邊緣信息；直線提取模塊，用于提取晶圓圖像中的四個(gè)方向的直線，所述四個(gè)方向包括垂直、水初始輪廓模塊，用于設(shè)置晶粒的初始輪廓；精細(xì)輪廓模塊，用于利用主動(dòng)輪廓模型進(jìn)行圖像分割，迭代更新晶粒的精細(xì)輪廓；重復(fù)提取模塊，用于在晶圓圖像上的多個(gè)區(qū)域重復(fù)提取輪廓，得到多個(gè)晶圓圖像的分割結(jié)果；平滑輸出模塊，用于對(duì)得到的多個(gè)結(jié)果進(jìn)行平滑，將結(jié)果作為晶粒模板并輸出。9.一種電子設(shè)備，包括存儲(chǔ)器、處理器及存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)器上并可在所述處理器上運(yùn)行的計(jì)算機(jī)程序，其特征在于，所述處理器運(yùn)行所述計(jì)算機(jī)程序以實(shí)現(xiàn)如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的方法。10.一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序，其特征在于，所述程序被處理器執(zhí)行實(shí)現(xiàn)如權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的方法。4一種基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取方法和系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域[0001]本發(fā)明涉及晶圓缺陷檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取方法和系統(tǒng)。背景技術(shù)[0002]高精度的晶粒模板是實(shí)時(shí)晶圓缺陷檢測(cè)的基礎(chǔ)。通過(guò)模板匹配算法可以檢測(cè)出晶圓圖像上的晶粒是否符合預(yù)期，任何與晶粒模板不符的地方都可能表明存在缺陷。晶粒模板的生成是制定晶圓配方(Recipe)的重要環(huán)節(jié)。[0003]現(xiàn)有晶圓配方制定方法都需要設(shè)備停止正常生產(chǎn)工作，然后由操作人員手動(dòng)配置。這樣不僅降低了工作效率，而且當(dāng)操作人員缺乏經(jīng)驗(yàn)時(shí)容易出錯(cuò)，導(dǎo)致較嚴(yán)重的后果。[0004]已有技術(shù)設(shè)計(jì)了基于形狀的模板匹配方法來(lái)分割圖像上的重復(fù)結(jié)構(gòu)，缺點(diǎn)是容易缺少晶粒分割帶，可能導(dǎo)致晶圓圖像不完整。還有的技術(shù)只有周期性和交叉路口的提取，晶粒輪廓的精確性較差，不適合進(jìn)行基于模板的晶圓缺陷檢測(cè)。[0005]而目前業(yè)內(nèi)所述半導(dǎo)體設(shè)備都尚無(wú)在晶圓圖像上自動(dòng)生高精度成晶粒模板的方發(fā)明內(nèi)容[0006]本發(fā)明的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的。[0007]因此針對(duì)上述問(wèn)題，本發(fā)明設(shè)計(jì)了一種晶粒模板自動(dòng)提取方法，先提取圖像上直線，將符合要求的連通直線區(qū)域作為初始輪廓，再通過(guò)迭代優(yōu)化輪廓，最后提取出高精度的[0008]具體的，根據(jù)本發(fā)明的第一個(gè)方面，提供了一種基于二步輪廓分割的晶粒模板自S1、估算晶粒的周期性，根據(jù)水平和豎直方向的周期性確定晶粒的初始寬度和高S3、提取所述晶圓圖像中的四個(gè)方向的直線，所述四個(gè)方向包括垂直、水平、45度和135度方向；S5、利用主動(dòng)輪廓模型進(jìn)行圖像分割，迭代更新晶粒的精細(xì)輪廓；S6、在晶圓圖像上的多個(gè)區(qū)域重復(fù)步驟S4-S5,得到多個(gè)晶圓圖像的分割結(jié)果；S7、對(duì)步驟S6得到的多個(gè)結(jié)果進(jìn)行平滑，將結(jié)果作為晶粒模板并輸出。[0009]根據(jù)本發(fā)明的第二個(gè)方面，還提供了一種基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取估算周期模塊，用于估算晶粒的周期性，根據(jù)水平和豎直方向的周期性確定晶粒的初始寬度和高度；5邊緣增強(qiáng)模塊，用于增強(qiáng)晶圓圖像中的邊緣信息；直線提取模塊，用于提取晶圓圖像中的四個(gè)方向的直線，所述四個(gè)方向包括垂直、初始輪廓模塊，用于設(shè)置晶粒的初始輪廓；精細(xì)輪廓模塊，用于利用主動(dòng)輪廓模型進(jìn)行圖像分割，迭代更新晶粒的精細(xì)輪廓；重復(fù)提取模塊，用于在晶圓圖像上的多個(gè)區(qū)域重復(fù)提取輪廓，得到多個(gè)晶圓圖像的分割結(jié)果；平滑輸出模塊，用于對(duì)得到的多個(gè)結(jié)果進(jìn)行平滑，將結(jié)果作為晶粒模板并輸出。[0010]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：本發(fā)明能夠自動(dòng)提取出晶粒的高精度模板，以便于進(jìn)行實(shí)時(shí)晶圓缺陷檢測(cè)。本發(fā)明設(shè)計(jì)了二次輪廓提取的方法，在獲得晶粒圖案的周期性后，利用基于直線提取的方法獲得晶粒的初始輪廓，再利用基于主動(dòng)輪廓模型的圖像分割算法提取出晶粒的精細(xì)輪廓。這樣既解決了基于直線提取的晶粒輪廓精確度低，又解決了主動(dòng)輪廓模型需要手動(dòng)設(shè)立初始值的缺點(diǎn)。附圖說(shuō)明[0011]通過(guò)閱讀下文優(yōu)選實(shí)施方式的詳細(xì)描述，各種其他的優(yōu)點(diǎn)和益處對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將變得清楚明了。附圖僅用于示出優(yōu)選實(shí)施方式的目的，而并不認(rèn)為是對(duì)本發(fā)明圖1示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取方法流[0012]圖2示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的選擇初始輪廓的流程圖。[0013]圖3示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取系統(tǒng)構(gòu)成[0014]圖4示出了本發(fā)明一實(shí)施例所提供的一種電子設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。[0015]圖5示出了本發(fā)明一實(shí)施例所提供的一種存儲(chǔ)介質(zhì)的示意圖。具體實(shí)施方式[0016]下面將參照附圖更詳細(xì)地描述本公開(kāi)的示例性實(shí)施方式。雖然附圖中顯示了本公開(kāi)的示例性實(shí)施方式，然而應(yīng)當(dāng)理解，可以以各種形式實(shí)現(xiàn)本公開(kāi)而不應(yīng)被這里闡述的實(shí)施方式所限制。相反，提供這些實(shí)施方式是為了能夠更透徹地理解本公開(kāi)，并且能夠?qū)⒈竟_(kāi)的范圍完整的傳達(dá)給本領(lǐng)域的技術(shù)人員。[0017]由于晶圓模板的精度要求非常高(誤差小于1個(gè)像素),且存在大量的周期性圖案，現(xiàn)有的自動(dòng)圖像分割方法難以滿足要求。半自動(dòng)分割算法例如主動(dòng)輪廓模型方法需要手動(dòng)設(shè)定合適的初始值才能得到合適的結(jié)果。但是由于在工業(yè)生產(chǎn)中需要停機(jī)操作，實(shí)用性不[0018]本發(fā)明高精度晶粒輪廓自動(dòng)提取方法，先估算周期性，再提取直線，選擇有效直線生成初始輪廓，利用主動(dòng)輪廓算法迭代更新輪廓以得到精細(xì)輪廓，最后中值濾波得到模板。S1、估算晶粒的周期性，根據(jù)水平和豎直方向的周期性確定晶粒的初始寬度和高6實(shí)施例[0024]最后將水平方向和豎直方向上周期性能量最大處的坐標(biāo)作為晶粒初始寬度和高度W?和h?。[0025]在增強(qiáng)圖像的邊緣信息時(shí)，首先分別利用兩個(gè)算子和公式4得到邊緣信息增強(qiáng)后的圖像Iedge。7為128)時(shí)，根據(jù)其坐標(biāo)(x,y),對(duì)于每個(gè)角度0≤θ<180,根據(jù)公式5計(jì)算距離P。[0029]在累加器矩陣上的P,θx?,y1),q2坐標(biāo)為(x?,y?)。l為累加器矩陣的寬的一半。[0034]將角度和長(zhǎng)度均在閾值范圍內(nèi)的直線(當(dāng)89≤φ≤90°或者0°≤φ≤1°時(shí)0.8≤h?/d≤1.2,或者44°≤φ≤46°,或者134°≤φ≤136°)作為有效直線。[0035]設(shè)置晶粒初始輪廓的方法如圖2所示。若有效直線的數(shù)量大于等于4(晶粒邊框的化邊緣圖Ibinary。然后設(shè)定滑動(dòng)窗口(本發(fā)明中滑動(dòng)窗口的寬高為晶粒初始寬高的1/20,等于閾值(經(jīng)驗(yàn)參數(shù)，本發(fā)明中為0.3)窗口合并。再利用5×5的圓形核交替執(zhí)行形態(tài)學(xué)膨CN120198455A說(shuō)明書(shū)5/8頁(yè)8[0038]在計(jì)算閉合多邊形時(shí)，若得到了多個(gè)閉合多邊形，則將面積最大的閉合多邊形作為晶粒的初始輪廓。[0039]在利用主動(dòng)輪廓算法優(yōu)化晶粒的輪廓時(shí)，首先設(shè)定輪廓C的權(quán)重參數(shù)α、β和然后對(duì)于輪廓C上第i個(gè)點(diǎn)(X;,y;),利用公式9-17更新輪廓點(diǎn)的位置。其中分別表示輪廓的內(nèi)部能量和外部能量，這兩個(gè)符號(hào)用于表達(dá)中間變量，即在水平方向和豎直方向上能量的偏導(dǎo)數(shù)，表示輪廓在水平和方向上的改變情況。如果兩次更新之間的差小于閾值(如1個(gè)像素，則停止更新)。[0049]對(duì)于檢測(cè)到的I個(gè)晶粒輪廓，設(shè)第i個(gè)輪廓C;的寬度和高度分別為Wi和首先利用公式18和公式19計(jì)算這些晶粒輪廓的寬度Wmean和高度的均值hmean。9對(duì)相同位置上的每個(gè)點(diǎn)進(jìn)行中值濾波，將中值濾波后的結(jié)果作為晶粒輪廓模板當(dāng)前位置的精細(xì)輪廓模塊305,用于利用主動(dòng)輪廓模型進(jìn)行圖像分割平滑輸出模塊307,用于對(duì)得到的多個(gè)結(jié)果進(jìn)行平滑，將結(jié)果作為晶粒模板并輸[0054]本發(fā)明的上述實(shí)施例提供的基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取系統(tǒng)與本發(fā)[0055]本發(fā)明實(shí)施方式還提供一種與前述實(shí)施方式所提供的基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取方法對(duì)應(yīng)的電子設(shè)備，以執(zhí)行上基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取方少一個(gè)通信接口203(可以是有線或者無(wú)線)實(shí)現(xiàn)該系統(tǒng)網(wǎng)元與至少一個(gè)其他網(wǎng)元之間的通自動(dòng)提取方法可以應(yīng)用于處理器200中，或者由處理器200實(shí)現(xiàn)。[0059]處理器200可能是一種集成電路芯片，具有信號(hào)的處理能力。在實(shí)現(xiàn)過(guò)程中，上述方法的各步驟可以通過(guò)處理器200中的硬件的集成邏輯電路或者軟件形式的指令完成。上述的處理器200可以是通用處理器，包括中央處理器(CentralProcessingUnit,簡(jiǎn)稱CPU)、網(wǎng)絡(luò)處理器(NetworkProces集成電路(ASIC)、現(xiàn)成可編程門陣列(FPGA)或者其他可編程邏輯器件、分立門或者晶體管邏輯器件、分立硬件組件。可以實(shí)現(xiàn)或者執(zhí)行本發(fā)明實(shí)施例中的公開(kāi)的各方法、步驟及邏輯框圖。通用處理器可以是微處理器或者該處理器也可以是任何常規(guī)的處理器等。結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例所公開(kāi)的方法的步驟可以直接體現(xiàn)為硬件譯碼處理器執(zhí)行完成，或者用譯碼處理器中的硬件及軟件模塊組合執(zhí)行完成。軟件模塊可以位于隨機(jī)存儲(chǔ)器，閃存、只讀存儲(chǔ)器，可編程只讀存儲(chǔ)器或者電可擦寫可編程存儲(chǔ)器、寄存器等本領(lǐng)域成熟的存儲(chǔ)介質(zhì)中。該存儲(chǔ)介質(zhì)位于存儲(chǔ)器201,處理器200讀取存儲(chǔ)器201中的信息，結(jié)合其硬件完成上述方法的步[0060]本發(fā)明實(shí)施例提供的電子設(shè)備與本發(fā)明實(shí)施例提供的基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取方法出于相同的發(fā)明構(gòu)思，具有與其采用、運(yùn)行或?qū)崿F(xiàn)的方法相同的有益效[0061]本發(fā)明實(shí)施方式還提供一種與前述實(shí)施方式所提供的基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取方法對(duì)應(yīng)的計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，請(qǐng)參考圖5,其示出的計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)為光盤30,其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序(即程序產(chǎn)品),所述計(jì)算機(jī)程序在被處理器運(yùn)行時(shí)，會(huì)執(zhí)行前述任意實(shí)施方式所提供的基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取方法。[0062]需要說(shuō)明的是，所述計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)的例子還可以包括，但不限于相變內(nèi)存[0063]本發(fā)明的上述實(shí)施例提供的計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)與本發(fā)明實(shí)施例提供的基于二步輪廓分割的晶粒模板自動(dòng)提取方法出于相同的發(fā)明構(gòu)思，具有與其存儲(chǔ)的應(yīng)用程序所采用、運(yùn)行或?qū)崿F(xiàn)的方法相同的有益效果。在此提供的算法和顯示不與任何特定計(jì)算機(jī)、虛擬系統(tǒng)或者其它設(shè)備有固有相關(guān)。各種通用系統(tǒng)也可以與基于在此的示教一起使用。根據(jù)上面的描述，構(gòu)造這類系統(tǒng)所要求的結(jié)構(gòu)是顯而易見(jiàn)的。此外，本發(fā)明也不針對(duì)任何特定編程語(yǔ)言。應(yīng)當(dāng)明白，可以利用各種編程語(yǔ)言實(shí)現(xiàn)在此描述的本發(fā)明的內(nèi)容，并且上面對(duì)特定語(yǔ)言所做的描述是為了披露本發(fā)明的最佳實(shí)施方式。[0065]在此處所提供的說(shuō)明書(shū)中，說(shuō)明了大量具體細(xì)節(jié)。然而，能夠理解，本發(fā)明的實(shí)施例可以在沒(méi)有這些具體細(xì)節(jié)的情況下實(shí)踐。在一些實(shí)例中，并未詳細(xì)示出公知的方法、結(jié)構(gòu)和技術(shù)，以便不模糊對(duì)本說(shuō)明書(shū)的理解。[0066]類似地，應(yīng)當(dāng)理解，為了精簡(jiǎn)本發(fā)明并幫助理解各個(gè)發(fā)明方面中的一個(gè)或多個(gè)，在上面對(duì)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的描述中，本發(fā)明的各個(gè)特征有時(shí)被一起分組到單個(gè)實(shí)施11護(hù)的本發(fā)明要求比在每個(gè)權(quán)利要求中所明確記載的特征更多的特征。更確切地說(shuō)，如下面的權(quán)利要求書(shū)所反映的那樣，發(fā)明方面在于少于前面公開(kāi)的單個(gè)實(shí)施例的所有特征。因此，遵循具體實(shí)施方式的權(quán)利要求書(shū)由此明確地并入該具體實(shí)施方式，其中每個(gè)權(quán)利要求本身都作為本發(fā)明的單獨(dú)實(shí)施例。[0067]本領(lǐng)域那些技術(shù)人員可以理解，可以對(duì)實(shí)施例中的設(shè)備中的模塊進(jìn)行自適應(yīng)性地改變并且把它們?cè)O(shè)置在與該實(shí)施例不同的一個(gè)或多個(gè)設(shè)備中?？梢园褜?shí)施例中的模塊或單元或組件組合成一個(gè)模塊或單元或組件，以及此外可以把它們分成多個(gè)子模塊或子單元或子組件。除了這樣的特征和/或過(guò)程或者單元中的至少一些是相互排斥之外，可以采用任何組合對(duì)本說(shuō)明書(shū)(包括伴隨的權(quán)利要求、摘要和附圖)中公開(kāi)的所有特征以及如此公開(kāi)的任何方法或者設(shè)備的所有過(guò)程或單元進(jìn)行組合。除非另外明確陳述，本說(shuō)明書(shū)(包括伴隨的權(quán)利要求、摘要和附圖)中公開(kāi)的每個(gè)特征可以由提供相同、等同或相似目的的替代特征來(lái)代[0068]此外，本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠理解，盡管在此所述的一些實(shí)施例包括其它實(shí)施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同實(shí)施例的特征的組合意味著處于本發(fā)明的范圍之內(nèi)并且形成不同的實(shí)施例。例如，在下面的權(quán)利要求書(shū)中，所要求保護(hù)的實(shí)施例的任意之一都可以以任意的組合方式來(lái)使用。[0069