CalibrationSpecificationforContact(Stylus)ElectricContourMeasuringInstrument2021-04-16發(fā) 2021-05-16實(shí)河北省市場(chǎng)監(jiān)督管理局JJF（冀）3012-JJF（冀）3012-JJF（冀）3012-JJF（冀）3012-JJF(冀)JJF(冀) CalibrationSpecificationforContact(StyluElectricContourMeasuringInstrument歸口單位：河北省市場(chǎng)監(jiān)督管理局起草單位：河北省計(jì)量監(jiān)督檢測(cè)研究院 董志佼（北京市計(jì)量檢測(cè)科學(xué)研究院卞偉（河北省計(jì)量監(jiān)督檢測(cè)研究院）黃晟（北京市計(jì)量檢測(cè)科學(xué)研究院）張博（北京市計(jì)量檢測(cè)科學(xué)研究院李青（天津市計(jì)量監(jiān)督檢測(cè)科學(xué)研究院JJF（冀）3021-JJF（冀）3021-JJF（冀）3012-JJF（冀）3012-引 范 引用文 術(shù)語和定 測(cè) 輪廓臺(tái)階高 輪廓臺(tái)階高度示值重復(fù) 概 計(jì)量特 靜態(tài)測(cè)量 輪廓水平分量（X軸）示值誤 輪廓垂直分量（Z軸）示值誤 輪廓臺(tái)階高度示值誤 輪廓臺(tái)階高度示值重復(fù) 校準(zhǔn)條 環(huán)境條 校準(zhǔn)用計(jì)量器 校準(zhǔn)方 靜態(tài)力測(cè) 輪廓水平分量（X軸）示值誤 輪廓垂直分量（Z軸）示值誤 輪廓臺(tái)階高度示值誤 輪廓臺(tái)階高度示值重復(fù) 校準(zhǔn)結(jié)果表 復(fù)校時(shí)間間 附錄A輪廓臺(tái)階高度測(cè)量結(jié)果不確定度評(píng)定示 附錄B校準(zhǔn)證書內(nèi) GB/T19600-2004《產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范（GPS）表面結(jié)構(gòu)輪廓法接觸（）GB/T6062-2009《產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）（觸針）式儀器的標(biāo)稱特性》和接觸（觸針）式儀器使用說明書，以及結(jié)合實(shí)際使用制定，并依據(jù)國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范JJF1071-2010JJF1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語及定JJF1059.1-2012《測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》編制。JJF（冀）3012-JJF（冀）3012-JJF（冀）3012-JJF（冀）3012-

GB/T3505-2009（GPSGB/T6062-2009產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）（觸針）式GB/T17163-2008GB/T19067.1-2003產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）1部分實(shí)物測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)GB/T19600-2004產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）（觸針）JB/T11271-2012接觸（觸針）測(cè)針輪廓臺(tái)階高度contoursteprepeatabilityofcontourstepheight輪廓儀一般由測(cè)針、傳感器、驅(qū)動(dòng)箱、計(jì)算機(jī)等組成，示意圖如圖1圖1輪廓水平分量（X軸）輪廓垂直分量（Z軸）實(shí)驗(yàn)室內(nèi)溫度應(yīng)在（20±3）℃65%1h1校準(zhǔn)用主要計(jì)輪廓水平分量（X軸激光干涉儀，MPE:（0.03μm+1.56L，L輪廓垂直分量（Z軸3等量塊，23等量塊，23等量塊，2輪廓水平分量（X軸）X軸測(cè)量范圍內(nèi)選取大致均勻分布值為輪廓水平分量（X軸）示值誤差。輪廓垂直分量（Z軸）5Z軸示值為零。抬起測(cè)針，按住平晶，輕Z軸示值，重值誤差。取各測(cè)量點(diǎn)示值誤差絕對(duì)值最大值為輪廓儀垂直分量（Z軸）示值誤差。1mm、3mm、5mm、10mm20mm5個(gè)測(cè)量點(diǎn)為例闡明測(cè)量方1mm、3mm5mm量塊按尺寸由小到大研合在平面平晶上，并使三塊量塊10mm20mm量塊形成的臺(tái)2所示。10mm45°± 21mm、3mm5mm10mm20mmB。1年。附錄10mm20mm量

?=????― ??1=????=1,??2=????= ??2(?)=??2???2(??)+??2???2(??

20mm4120mm10次，測(cè)量結(jié)果為：20.0037mm，20.0038mm,20.0045mm，20.0035mm,20.0029mm，20.0033mm,20.0040mm，20.0041mm,20.0044mm，20.0043mm3??(??i)=

=輪廓儀在量塊傾斜位置不同而造成測(cè)量結(jié)果不同引入的位置標(biāo)準(zhǔn)不確定度分u2(Li)A1表A145±15°范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量，所以在位置標(biāo)準(zhǔn)不確定度計(jì)算中舍去18.5°的20.0138mm和70.919.9953mm。則最大可能值為20.0034mm19.9960mm，則區(qū)間半寬為：??=1(20.0034-19.9960)mm= ??2(????)=

=綜合(1)、(2)0.2962+0.2962+

=LsP=0.99,k=2.63Ls=20mm時(shí)，3??2(????)=????(??-20)×

=0.2μm??3(????)=

=綜合(1)、(2)、(3)0.0452+0.3980.0452+0.3982+

=A233Li、Ls??2???2???2(??)+??2???2(