遼寧省地方計量技術(shù)規(guī)CalibrationSpecificationforHallEffectThickness CalibrationCalibrationSpecificationforHallEffectThickness歸口單位：遼寧省市場監(jiān)督管理局 范 引用文 術(shù) 概 計量特 示值誤 示值重復(fù) 漂 標(biāo)定用厚度 靶球直徑變動 校準(zhǔn)條 環(huán)境條 測量標(biāo)準(zhǔn) 校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方 示值誤 示值重復(fù) 漂 標(biāo)定用厚度 靶球直徑變動 校準(zhǔn)結(jié)果表 復(fù)校時間間 附錄A標(biāo)準(zhǔn)厚度片的技術(shù)要求和校準(zhǔn)方 附錄B校準(zhǔn)證書內(nèi)容及內(nèi)頁格 附錄C霍爾效應(yīng)測厚儀示值誤差測量結(jié)果的不確定度評定（示例 量術(shù)語及定義》、JJF1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》和JJFJJG818—2018JJF1126—2004霍爾效應(yīng)測厚儀halleffectthickness靶球target標(biāo)定用厚度片thicknesscalibration1。111AB2。25μm33測長儀（MPE：1μm5×10-測長儀（MPE：1μm5×10-度片無明顯傾斜。每點測量三次，取三次讀數(shù)的平均值作為該點的示值Δi=H- H7.11h，51N53mm4

2B附錄A.1表A.1厚度尺寸推薦 A.2.2校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)設(shè)備A.37.4附錄B.1（推薦性 ℃相對濕度：附錄C.1.120.0℃，相對濕度：50%；C.1.2C.1.3H與厚度片實際值H之差即為示值誤差H。本文以測厚儀的

H=H- HH

)

u2(H

iu2u2()c2u2(H)c2u2(H

1 2

H

則 u2u2(H)u2(H標(biāo)準(zhǔn)厚度片引入的不確定度分量依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)厚度片的溯源證書計算標(biāo)準(zhǔn)厚度片引入的不確定度分量u1k=2，根據(jù)uU0.2mm

0.00311.51mm2mm5mm10mm15mm

0.00311.50.014170.0431220.0931470.14317225mm

0.2431122測量力及其變動性引入的不確定度分量測量力及其變動性不超過0.5N測厚儀分辨力引入的不確定度分量由測厚儀分辨力引入的不確定度分量u3uxd1

0.01mm分辨力時，u310.010.33μm0.001mm分辨力時，u320.0010.30.3μm測厚儀測量重復(fù)性引入的不確定度分量校準(zhǔn)點

1.374

0.794校準(zhǔn)點校準(zhǔn)點

1.0180.923校準(zhǔn)點校準(zhǔn)點

2.027

1.139C.1分量uiu(xiu11u12u13u14u15u16u17u31u32合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度u2 1.52校準(zhǔn)點0.2mm：

1.697校準(zhǔn)點1mm：校準(zhǔn)點2mm：校準(zhǔn)點5mm：

u2u2 u2 72u2u2

1.8131.521.52222222校準(zhǔn)點10mm：校準(zhǔn)點15mm：校準(zhǔn)點25mm：

u2u2 472u2 u2u2

47.01572272212221222擴展不確定度校準(zhǔn)點0.2mm，取k

校準(zhǔn)點1mm，取k=2：U=k×uc2校準(zhǔn)點2mm，取k=2：U=k