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艾邦智造1.艾邦智造,其中α相和β相是Si3N4最常見的形態(tài),均為六方結構,可在常壓下制備。研究者根據(jù)Si3N4的結構提出β-Si3N4的理論熱導率高達200~320W/m·K。SiNα-Si?N?β-Si?N?a-Si3N4是低溫穩(wěn)定相,β-Si3N4是高溫穩(wěn)定相。在氮化硅陶瓷的燒結過程中,α-Si3N4會發(fā)生晶粒的異常生長,相變形成長柱狀晶β-Si3N4,此結構對裂紋擴展起到橋連、分叉、偏轉作用,能提高材料的韌性,使得陶瓷的強度大大提高。所以,高的α相含量是得到高性能氮化硅陶瓷的重要保證。2.Si3N4具有高導熱、高強度、高韌性、低密度、自潤滑性、優(yōu)異的抗熱震性,是國內外公認兼具高導熱、高可靠性等綜合性能最好的陶瓷基板材料。Mpam33使用氮化硅陶瓷基板的設備還能進一步縮小體倍以上的熱導率;材料(如SiC)匹配,因而使其器件的可靠性更優(yōu)異。艾邦智造3.氮化硅基板的工藝流程艾邦智造號.艾邦陶瓷展號.艾邦陶瓷展4.氮化硅基板的覆銅工藝用活性金屬元素(Ti、Zr、Ta、Nb、V、Hf等)可以潤濕陶瓷表面的特性,將銅層通過活性金屬釬料釬焊在Si?N4陶瓷板焊材(焊片)AMB基板,目前主要分為放置銀銅鈦焊片和印刷銀銅鈦焊膏兩種。以印刷銀銅鈦焊膏為例,工藝流程如下圖所示:首先將Ag、Cu、Ti元素直接以粉末形式混合制成漿料,采用絲網印刷技術將Ag-Cu-Ti焊料印刷在氮化硅陶瓷基板上,再利用熱壓技術將銅箔層壓在焊料上,最后通過燒結、光刻、蝕刻及鍍Ni焊料層艾邦智造5.氮化硅基板的應用艾邦智造充電樁充電樁光伏工業(yè)應用風能電動汽車動力智能家電工業(yè)應用風能電動汽車動力智能家電圖源:中材高新6.氮化硅基板的市場規(guī)模根據(jù)ValuatesReports報告數(shù)據(jù),全球氮化硅陶瓷基板市場預計將從2023年的4800萬美元增長到2029年的3.693億Proterial(原日立金屬)、東芝、丸和等,全球前四大廠商占有率超過90%。日本是氮化硅陶瓷基板的最大生產國,份額國內主要氮化硅基板生產企業(yè)國內主要氮化硅基板生產企業(yè)新疆晶碩……河北高富、河北正雍寧夏(2)艾森達、寧夏北瓷烏魯木齊紅星電子、富樂華江西創(chuàng)科、中科上宇佛山華智……遼寧(2)??酥Z、伊菲科技智造智造★公眾要W香怏門口港天津碩科……中材高新氮化物陶瓷威海圓環(huán)、山東厚發(fā)海古德、國瓷金盛蘇州博勝、方達正塬江蘇貝色、蘇州晶耀金賽隆科技……正天新材、多面體海寧托博、寧波銀瓷超、凱樂瓷展福建臻璟新材料科技有限公司成立于2018年,位于福建安溪2025產業(yè)園,占地面積近100畝,首期建設研發(fā)樓、工業(yè)廠房約2萬多平方米,是一家全國領先的第三代半導體氮化物材料供應商及熱管理方案解決商。8*9m8*9m…0'想為5G通訊、光伏、電子電力、新能源汽車及航天航空等高端領域起到關鍵散熱作用。年產能為氮化鋁粉體200噸、氮化鋁&氮化硅陶瓷基板500萬片。艾邦智造艾邦智造中材高新氮化物陶瓷有限公司隸屬于中國建材集團,是一家國家級高新技術企業(yè),國家級“專精特新”小巨人企業(yè),省級瞪羚企業(yè),自1978年開始從事氮化硅陶瓷的研究,是國內較早的氮化硅材料研發(fā)單位之一,申請/授權專利78項,擁有包括粉體合成、材料制備以及精密加工的自主核心技術。開發(fā)的高導熱氮化硅陶瓷基板性能達到日本同類產品,采用特殊的配方和工藝,導熱系數(shù)>80W/(m·k),產品已通過國際頭部企業(yè)質量檢測,2023年建成年產70萬片中試線。官網:http://ww.sinomacer無錫海古德新技術有限公司無錫海古德新技術有限公司一%00000一一比熱(25℃)SpecifcHeat一Property一88899一36電學性能2無錫海古德新技術有限公司成立于2008年11月,是一家專注于功率半導體封裝基板和關鍵高性能氮化物精密陶瓷器件的高新技術企業(yè)。核心產品氮化鋁、氮化硅、陶瓷加熱盤等廣泛應用于功率模塊、射頻通訊、微波通訊、光通訊、汽車電封裝等諸多領域。2023年10月東臺海古德功率半導體(一期)項目竣工投產,海古德東臺項目建成后年產氮化鋁基板720萬片,氮化硅基板300萬片。公展公艾邦智造浙江正天新材料科技有限公司艾邦智造浙江正天新材料科技有限公司新材浙江正天新材料科技有限公司成立于2017年,主要業(yè)務是氮化鋁(AIN)、氮化硅(Si3N4)陶瓷基板及制品的研發(fā)、生產和銷售及行業(yè)服務。具體業(yè)務包括氮化鋁陶瓷、氮化鋁基板、氮化硅陶瓷、氮化硅基板及AIN陶瓷基片等,產品主要用于電機動力系統(tǒng)中電子元件上功率模塊內的覆銅陶瓷基板。正天新材擁有多條大型流延生產線,從流延、裁切、沖孔、靜壓、熱切至燒結成型擁有完整加工熱膨脹系數(shù)為2.7×10-6/℃,并具有優(yōu)異的機械強度、良好的化學穩(wěn)定性和抗熱沖擊性的大尺寸(138mm*190.5mm)、低翹曲度(≤200μm)的氮化硅陶瓷基板產品。i=10%LE:±0.04mm10%L:±0.0寧夏艾森達新材料科技有限公司寧夏艾森達新材料科技有限公司9威海圓環(huán)先進陶瓷股份有限公司威海圓環(huán)先進陶瓷股份有限公司創(chuàng)建于2015年,專業(yè)從事氮化硅陶瓷基復合材料的研發(fā),生產和銷售,主要產品有氮化硅陶瓷磨珠,氮化硅陶瓷基板,精磨氮化硅軸承球以及各種異形氮化硅陶瓷結構件等。威海圓環(huán)與國內著名科研院所聯(lián)合進行技術攻關和產學研合作研發(fā),納米粉體、亞微米粉體、陶瓷成型、冷等靜壓、熱壓燒結、精密陶瓷機械加工等工藝手段齊全,率先實現(xiàn)氮化硅磨珠、氮化硅陶瓷基板等前沿產品的2015年9月,威海圓環(huán)開啟高導熱氮化硅陶的高導熱氮化硅陶瓷基板已經達到量產的水強度600Mpa。目前年產值是50萬片,現(xiàn)有的產線能達100萬片。艾邦智造江蘇國瓷金盛陶瓷科技有限公司艾邦智造江蘇國瓷金盛陶瓷科技有限公司江蘇國瓷金盛陶瓷科技有限公司JiangsusinoceraJinshengcerami國瓷材料具備從陶瓷粉體、陶瓷基片到金屬化的縱向一體化優(yōu)勢,將圍繞氮化鋁、氮化硅、高純氧化鋁等核心材料打造綜合性的陶瓷基板產業(yè)平臺。通過自主研發(fā)攻克了高端氧化鋁粉體-基片、氮化鋁粉體-基片的核心技術并實現(xiàn)量產,氮化硅粉體和基片已實現(xiàn)中試量產。氮化鋁氮化硅金盛陶瓷創(chuàng)建于2003年10月,次年成功量產氮化硅陶瓷球,2017年成為國瓷材料(300285)全資子公司,目前主要產品有氮化硅、氧化鋯、碳化硅、氧化鋁、氮化鋁等高性能陶瓷及粉體。DPC基板艾邦智造河北高富氮化硅材料有限公司艾邦智造河北高富氮化硅材料有限公司COREFRA河北高富氮化硅材料有限公司是一家致力于生產高性能氮化硅產品的高新技術企業(yè),年產高純氮化硅600余噸,氮化硅10000噸。公司最早成立于2001年,經過了二十余年的發(fā)展,公司先后研發(fā)并量產了2001年氮化硅結合碳化硅板材、2003年普通氮化硅粉體、>80W/(mK),強度>700MPa。2009年陶瓷級氮化硅粉體、2012年光伏級氮>80W/(mK),強度>700MPa。東芝材料株式會社成立于2003年10月1日,主要產品有氮化硅裸板、氮化鋁裸板以及氮化硅AMC基板等。即4D即即公眾號·艾邦陶瓷展日本丸和公司MARUWA成立于1973年4月5日,MARUWA不僅致力于從材料開muMARUWA發(fā),板材成型到材料燒制的生產一體化,還可以結合層壓、薄膜、金屬化,同時燒制和電路設計等技術,針對顧客實際需求,提供定制產品。基于陶瓷材料技術所開發(fā)的氮化硅制品具有高強度,高韌性,高導熱率,根據(jù)這些特性,產品被廣泛用于要求擁有高信賴性材料的功率半導體基板領域。8W1113“的o0W模模電化株式會社創(chuàng)立于1915年5月1日,自創(chuàng)立以來的100多年里一直致力于提供獨有技術和產品。電化株式會社擁有氮化硅粉體、基板、金屬化基板的一體化生產。2011的氮化硅基板,2018年與三菱綜合材料合作開發(fā)陶瓷電路基板,2019年1月宣布在大牟田工廠投資40億元將氮化硅基板產能提升至2018年的約3倍,2022年10月宣布在大牟田工廠將氮化硅粉體產能提升約1.5倍。電化SNPLATE是以有氧化鋁的約4倍的導熱率,具有優(yōu)良機械特性的高韌性氮化硅(Si3N4)為主要成分的高導熱性、高韌性陶瓷基板,可用于產業(yè)機械用(工作機械、半導體制造裝置、風力發(fā)電、FA機器人等)、電氣化鐵道用功率3935電性O00O程Non-presure-sinteriO0◎0←Proterial(由日立金屬更名為Proterial)是一家在高性能材料領域擁有高競爭力核心技術的材料廠商,在產業(yè)基礎設施、汽車、電子設備相關的市場領域,廣泛開展業(yè)務。Proterial制造的氮化硅電路板,熱傳導和機械強度性能優(yōu)越,適用于IGBT、SiC等對可靠性要求較高的大功率半導體器件的絕緣電路板。還新開發(fā)了支持Proterial于2017年開發(fā)了氮化硅基板,并于2019年開始量產。2023年2月13日宣布在位于鳥取縣鳥取市的子公司內投資增加氮化硅基板的產量,產能將比2021年增加約一倍。項目Al項目Al203基板彎曲強度(Mpa)斷裂韌性(MPa·m1/2) 絕緣耐壓(kV/mm)≥181
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