ICS23.160

CCSJ78

TGVS

團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)

T/GVSXXX—2024

連續(xù)式光學(xué)磁控濺射鍍膜設(shè)備

Continuousopticalmagnetronsputteringcoatingequipment

2024-XX-XX發(fā)布2024-XX-XX實(shí)施

廣東省真空學(xué)會(huì)發(fā)布

T/GVSXXX—2024

連續(xù)式光學(xué)磁控濺射鍍膜設(shè)備

1范圍

本文件規(guī)定了連續(xù)式光學(xué)磁控濺射鍍膜設(shè)備的術(shù)語和定義、組成、正常工作條件、技術(shù)要求、試驗(yàn)

方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。

本文件適用于連續(xù)式光學(xué)磁控濺射鍍膜設(shè)備（以下簡稱“設(shè)備”）的研發(fā)、生產(chǎn)、檢驗(yàn)和銷售。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB/T191包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志

GB/T2680建筑玻璃可見光透射比、太陽光直接透射比、太陽能總透射比、紫外線透射比及有

關(guān)窗玻璃參數(shù)的測定

GB/T3797—2016電氣控制設(shè)備

GB/T5226.1機(jī)械電氣安全機(jī)械電氣設(shè)備第1部分：通用技術(shù)條件

GB/T11164—2011真空鍍膜設(shè)備通用技術(shù)條件

GB/T11186.1漆膜顏色的測量方法第1部分：原理

GB/T13306標(biāo)牌

GB/T13384機(jī)電產(chǎn)品包裝通用技術(shù)條件

GB15760金屬切削機(jī)床安全防護(hù)通用技術(shù)條件

GB/T18209.1機(jī)械電氣安全指示、標(biāo)志和操作第1部分：關(guān)于視覺、聽覺和觸覺信號(hào)的要求

GB/T33051光學(xué)功能薄膜表面硬化薄膜硬化層厚度測定方法

GB/T38518柔性薄膜基體上涂層厚度的測量方法

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件。

連續(xù)式光學(xué)磁控濺射鍍膜設(shè)備continuousopticalmagnetronsputteringcoatingequipment

將材料濺射到工件表面進(jìn)而沉積形成具有一定光學(xué)性能薄膜的連續(xù)生產(chǎn)設(shè)備，常見有采用立式鍍

膜腔體的連續(xù)線設(shè)備。

極限真空ultimatevacuum

空載的真空腔室在未通入工藝氣體時(shí)，逐漸接近、達(dá)到并維持穩(wěn)定的最低壓力。極限真空的單位為

帕（Pa）。

生產(chǎn)節(jié)拍productiontakt

設(shè)備正常工作時(shí)，在設(shè)備進(jìn)口或出口觀察，兩批玻璃組架進(jìn)入或出來的最大間隔時(shí)間。該時(shí)間段內(nèi)

包括了輸送輥道動(dòng)作、進(jìn)出口腔室充放氣和翻板閥動(dòng)作過程。生產(chǎn)節(jié)拍的單位為秒（s）。

腔室泄漏率chamberleakagerate

單個(gè)腔室在進(jìn)出口密閉狀態(tài)下，達(dá)到一定真空度時(shí)，由于漏氣滲入到腔室內(nèi)并影響腔室內(nèi)壓力的氣

體的流量。腔室泄漏率單位為Pa?m3/s。

4組成

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真空室

包括真空艙體、艙門、倉內(nèi)擋板等。

抽氣系統(tǒng)

包括各級(jí)真空泵、冷肼、水汽捕集系統(tǒng)、管道、閥門系統(tǒng)等。

真空測量系統(tǒng)

包括安裝在艙體、管道或其它位置的各種用于真空測量的壓力計(jì)量儀。

鍍膜系統(tǒng)

包括但不限于安裝在設(shè)備內(nèi)的各種用于沉積膜層的源，例如旋轉(zhuǎn)陰極端頭、磁棒、電源、平面陰極、

電子槍蒸發(fā)源、電阻蒸發(fā)源、中頻感應(yīng)蒸發(fā)源、化學(xué)氣相沉積離子源、熱源、電極等。

傳動(dòng)系統(tǒng)

包括設(shè)備各部分傳動(dòng)機(jī)構(gòu)所需的伺服電機(jī)、減速器、傳動(dòng)帶、傳動(dòng)輪、傳動(dòng)輥、動(dòng)密封元件（磁流

體、磁力耦合器、機(jī)械密封）、電機(jī)固定座、傳動(dòng)帶張緊機(jī)構(gòu)等。

控制系統(tǒng)

包括電控柜、PLC、工控機(jī)、控制軟件等。

5正常工作條件

冷卻水

對(duì)冷卻水要求如下：

a)進(jìn)水溫度：（20～25）℃；

b)回水溫度：小于30℃；

c)水壓力：不低于0.4MPa；

d)水質(zhì)：城市自來水或質(zhì)量相當(dāng)?shù)乃?/p>

e)電阻：≥3MΩ。

壓縮空氣

對(duì)壓縮空氣要求如下：

a)氣體為潔凈干燥空氣；

b)空氣壓力：（0.4±0.1）MPa。

溫濕度

對(duì)溫濕度環(huán)境要求如下：

a)主機(jī)房的相對(duì)濕度保持在30%～65%；

b)真空室外壁不結(jié)露；

c)主機(jī)房溫度應(yīng)保持不高于35℃，或隔離電氣機(jī)箱保持溫度不高于35℃；

d)無腐蝕性氣體。

工作氣體

對(duì)工作氣體要求如下：

a)設(shè)備所需要用到的工作氣體如氬氣、氮?dú)?、氧氣、乙炔、甲烷等，其純度要求、減壓閥壓力參

數(shù)等均應(yīng)按設(shè)備使用說明書規(guī)范執(zhí)行；

b)氣體純度一般要求99.999%以上；

c)氣體壓力為（0.2±0.05）MPa；

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d)定期檢查氣瓶，并安裝氣體保護(hù)柜固定存放。

供電電源

電源電壓AC380V（±5%），采用三相五線制。

6技術(shù)要求

制造質(zhì)量

設(shè)備應(yīng)按規(guī)定圖紙及技術(shù)文件制造，應(yīng)符合GB/T11164—2011中4.4要求。配套的外協(xié)件、外購件、

電器元件應(yīng)經(jīng)檢驗(yàn)合格，方可安裝使用。

技術(shù)參數(shù)

設(shè)備的主要技術(shù)參數(shù)應(yīng)符合表1規(guī)定。

表1光學(xué)性能指標(biāo)

指標(biāo)要求

序號(hào)項(xiàng)目

A檔B檔

1極限真空壓力，Pa≤6.0×10-4≤2.0×10-3

2真空指標(biāo)抽氣速率（大氣到5.0×10-3Pa），min≤45≤120

3漏率（He），Pa·m3/s≤5.0×10-10≤1.0×10-8

4最大機(jī)械傳動(dòng)速度，m/min≥5≥3

5光學(xué)性能按產(chǎn)品設(shè)計(jì)要求

6膜層厚度均勻性（各方向），%≤±1.5≤±3

7色差值（△E）≤1.5≤2

8傳動(dòng)速度穩(wěn)定性，%≤1≤5

9最小工藝節(jié)拍，s≤90≤240

安全防護(hù)

6.3.1關(guān)鍵部件的水冷系統(tǒng)中應(yīng)有斷水或水壓不足的報(bào)警裝置，并與電源、真空系統(tǒng)、傳動(dòng)系統(tǒng)相關(guān)

聯(lián)部分有連鎖保護(hù)機(jī)構(gòu)，保護(hù)機(jī)構(gòu)的動(dòng)作應(yīng)靈敏可靠。

6.3.2對(duì)裝設(shè)有電磁或氣動(dòng)閥門的設(shè)備，鍍膜室充氣閥與高真空閥及高真空閥與預(yù)抽閥均應(yīng)保持互鎖，

應(yīng)能根據(jù)設(shè)計(jì)需求自動(dòng)關(guān)閉或自動(dòng)打開。遇突然停電時(shí)，閥門應(yīng)能自動(dòng)關(guān)閉。

6.3.3控制系統(tǒng)應(yīng)裝配有急停開關(guān)，一旦有重大異常情況時(shí)，可通過觸動(dòng)開關(guān)停下設(shè)備；開關(guān)應(yīng)加裝

有保護(hù)罩，以避免誤操作。

6.3.4控制柜應(yīng)加裝有報(bào)警燈，可實(shí)時(shí)反映設(shè)備狀態(tài)。

6.3.5設(shè)備及其附屬的電氣裝置均應(yīng)裝設(shè)接地裝置，接地要求應(yīng)符合GB/T3797—2016中6.9規(guī)定。

6.3.6設(shè)備應(yīng)有防止觸電的保護(hù)措施，其設(shè)施應(yīng)符合GB/T3797—2016中6.5.1規(guī)定。

6.3.7操作中突然斷電后，再恢復(fù)供電時(shí)應(yīng)能防止電器自行接通。

6.3.8設(shè)備的高壓危險(xiǎn)部分、高溫部分、各種電極引線部分、機(jī)械傳動(dòng)部位應(yīng)有明顯的警示標(biāo)識(shí)。其

應(yīng)符合GB/T18209.1要求。

6.3.9電氣系統(tǒng)的安全應(yīng)符合GB/T5226.1規(guī)定。

7試驗(yàn)方法

制造質(zhì)量

通過查驗(yàn)質(zhì)量合格證和感官檢查。

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技術(shù)參數(shù)

7.2.1真空指標(biāo)

7.2.1.1極限真空壓力

按GB/T11164—2011中5.1規(guī)定進(jìn)行。

7.2.1.2抽氣速率

試驗(yàn)條件按GB/T11164—2011中5.2規(guī)定。設(shè)備在連續(xù)抽氣條件下，在鍍膜室內(nèi)達(dá)到極限壓力之后，

打開鍍膜室15min，再關(guān)閉鍍膜室，對(duì)其再度抽氣至5.0×10-3Pa壓力值所需的時(shí)間，記錄為該設(shè)備的抽

氣速率。

7.2.1.3漏率

7.2.1.3.1試驗(yàn)條件

試驗(yàn)條件如下：

a)腔體及蓋板內(nèi)部的焊接工作及清潔工作已全部完成；

b)蓋板密封件安裝就位并按工作狀態(tài)與腔體配置到位；

c)腔室端法蘭及各進(jìn)出口密封圈安裝就位并用專用密封板密封。

7.2.1.3.2測試方法

將被測試腔室按所在功能區(qū)極限壓力要求進(jìn)行抽真空，然后對(duì)腔室各焊縫及密封處噴吹氦氣（He），

噴吹的順序?yàn)橛缮现料?，由近至遠(yuǎn)；然后采用接入真空系統(tǒng)的氦質(zhì)譜儀進(jìn)行泄露率測試。

7.2.2最大機(jī)械傳動(dòng)速度

將設(shè)備機(jī)臺(tái)整體充入空氣，艙體各檢修門保持打開狀態(tài)，各艙體之間隔離閥打開，此時(shí)送入產(chǎn)品掛

具，在操作系統(tǒng)內(nèi)操作掛具傳送機(jī)構(gòu)，使其運(yùn)行，待掛具完全處于艙體內(nèi)時(shí)，逐步在操作系統(tǒng)內(nèi)提升傳

送機(jī)構(gòu)運(yùn)行速度，直至運(yùn)行速度達(dá)到系統(tǒng)設(shè)定上限或掛具在運(yùn)行中出現(xiàn)卡滯、脫軌等狀況。若未達(dá)到系

統(tǒng)設(shè)定的上限速度，且掛具未出現(xiàn)異?，F(xiàn)象，則最大機(jī)械傳動(dòng)速度為系統(tǒng)設(shè)定上限速度。若掛具在達(dá)到

系統(tǒng)可設(shè)定的最大速度前出現(xiàn)故障，則最大機(jī)械傳動(dòng)速度為掛具未出現(xiàn)異常的最大可設(shè)定速度。

7.2.3光學(xué)性能

按GB/T2680規(guī)定進(jìn)行。

7.2.4膜層厚度均勻性

按GB/T33051、GB/T38518規(guī)定的方法測定薄膜厚度，在基材高度方向（縱向）按整個(gè)高度等距取

點(diǎn)，平移運(yùn)動(dòng)方向（橫向）不小于100mm長度上至少測試5個(gè)點(diǎn)，求出平均厚度d，在所有測試點(diǎn)位所測

范圍內(nèi)最大膜層厚度d1和最小膜層厚度d2，鍍膜厚度均勻性由式（1）或（2）給出：

?=|???1|/?········································································(1)

式中：

A——膜層厚度均勻性；

d——平均厚度，單位為nm；

d1——所有測試點(diǎn)位所測范圍內(nèi)最大膜層厚度，單位為nm。

?=|???2|/?········································································(2)

式中：

A——膜層厚度均勻性；

d——平均厚度，單位為nm；

d2——所有測試點(diǎn)位所測范圍內(nèi)最小膜層厚度，單位為nm。

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7.2.5色差值

按GB/T11186.1規(guī)定進(jìn)行。

7.2.6傳動(dòng)速度穩(wěn)定性

使用高精度計(jì)米線速度計(jì)測量傳動(dòng)輪速度，與系統(tǒng)內(nèi)設(shè)定值比較。傳動(dòng)速度穩(wěn)定性由下式計(jì)算得出。

?=|???1|/?········································································(3)

式中：

A——傳動(dòng)速度穩(wěn)定性；

d——系統(tǒng)內(nèi)設(shè)定值，單位為m/s；

?1——線速度計(jì)測量值，單位為m/s。

7.2.7最小工藝節(jié)拍

7.2.7.1試驗(yàn)條件

試驗(yàn)條件如下：

a）大氣狀態(tài)下的輸送輥道及門閥的機(jī)械節(jié)拍已經(jīng)調(diào)試到最短時(shí)間；

b）進(jìn)出口腔室從大氣至規(guī)定真空度的時(shí)間已經(jīng)過測試，并穩(wěn)定在一個(gè)數(shù)值；

c）設(shè)備的機(jī)械壓力和工作壓力符合設(shè)計(jì)要求。

7.2.7.2測試方法

將符合設(shè)計(jì)要求的若干組玻璃架放置在過渡輥道上，最前一組玻璃架前沿位于門閥前的指定位置；

從入口閥板開啟開始計(jì)時(shí)，至該閥板再次打開到位為止；連續(xù)測10組數(shù)據(jù)，取最大值。

安全防護(hù)

按GB15760規(guī)定進(jìn)行，電氣安全按GB/T5226.1規(guī)定執(zhí)行。

8檢驗(yàn)規(guī)則

設(shè)備的檢驗(yàn)分為出廠檢驗(yàn)和型式檢驗(yàn)。

出廠檢驗(yàn)：每臺(tái)設(shè)備應(yīng)經(jīng)制造廠檢驗(yàn)部門檢驗(yàn)合格后方能出廠，并附有產(chǎn)品質(zhì)量合格證。出廠檢

驗(yàn)項(xiàng)目由供需雙方協(xié)商確定。

型式檢驗(yàn)項(xiàng)目為第6章規(guī)定的所有項(xiàng)目。

在下列情況下應(yīng)進(jìn)行型式檢驗(yàn)：

——新產(chǎn)品試制；

——產(chǎn)品在設(shè)計(jì)、工藝或所用材料有重大變更，可能影響產(chǎn)品性能時(shí)；

——同類產(chǎn)品的評(píng)比定級(jí)時(shí)；

——產(chǎn)品批量生產(chǎn)時(shí)。

9標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存

標(biāo)志

9.1.1每臺(tái)設(shè)備及其附屬裝置應(yīng)在明顯位置裝上產(chǎn)品標(biāo)牌，標(biāo)牌應(yīng)符合GB/T13306的規(guī)定，產(chǎn)品標(biāo)牌

上應(yīng)注明：

a)制造廠名稱；

b)設(shè)備型號(hào)及名稱；

c)設(shè)備主要技術(shù)指標(biāo)；

d)制造日期及出廠編號(hào)。

9.1.