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文檔簡介

ICS

CCS

團體標準

T/CESAXXXX—202X

汽車用集成電路良率統(tǒng)計方法

Automotiveintegratedcircuits–Yieldstatisticalmethod

征求意見稿

在提交反饋意見時,請將您知道的相關專利連同支持性文件一并附上。

已授權的專利證明材料為專利證書復印件或扉頁,已公開但尚未授權的專利申請

證明材料為專利公開通知書復印件或扉頁,未公開的專利申請的證明材料為專利申請

號和申請日期。

202X-XX-XX發(fā)布202X-XX-XX實施

中國電子工業(yè)標準化技術協(xié)會發(fā)布

T/CESAXXXX—202X

汽車用集成電路良率統(tǒng)計方法

1范圍

本文件規(guī)定了汽車用集成電路的良率統(tǒng)計方法,包括統(tǒng)計良率限值和統(tǒng)計分類限值建立方法。

本文件適用于完成封裝或未封裝的汽車用集成電路,分立器件、光電器件和多芯片組件等汽車電子

元器件也可參照執(zhí)行。

注:如果測試結果屬于非正態(tài)分布,具體使用的方法可能與本指南中描述的不同,特別是在非正態(tài)分布的情況下。

汽車用集成電路供應商應證明這種派生的方法為好的統(tǒng)計方法。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中,注日期的引用文件,

僅該日期對應的版本適用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本

文件。

GB/T9178集成電路術語

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件。

3.1

統(tǒng)計良率限值statisticalyieldlimits/SYL

用來來識別顯示出晶片、晶圓批次或封裝批次測試出現(xiàn)的異常低的良率。低于統(tǒng)計量率限值應及時

提示并由專業(yè)人員分析。

3.2

統(tǒng)計分類限值statisticalbinlimits/SBL

用來來識別顯示出晶片、晶圓批次或封裝批次某段時間測試、某個測試項或某個測試工位出現(xiàn)的異

常高的失效比例。出現(xiàn)異常高的失效比例情況應及時提示并由專業(yè)人員分析。

4統(tǒng)計良率限值和統(tǒng)計分類限值建立方法

4.1基本晶片/晶圓批次/封裝批次良率限值的詳細說明

汽車用集成電路晶圓級和封裝級電參數(shù)測試,使用一定的管控手段,從而保證供貨滿足汽車用集成

電路質量和可靠性要求。供應商電參數(shù)測試統(tǒng)計數(shù)據(jù)反應,晶片和封裝批次顯示出這些異常特性往往質

量較差并可能導致系統(tǒng)的可靠性和質量問題。

對完成封裝或未封裝的汽車用集成電路進行電參數(shù)測試,收集至少6個批次的數(shù)據(jù),并根據(jù)供應商

和用戶/客戶之間確定的所有重要失效歸類(歸于不同失效分類的失效晶粒數(shù)量),對所有合格品的統(tǒng)計

分布特性(即每晶片上的好晶粒)和所有關鍵失效歸類的特性進行描述。如果良率和失效歸類屬于正態(tài)分

1

T/CESAXXXX—202X

布,確定平均值和標準差值,計算出每批器件測試通過比例和每個失效歸類的器件失效比例(此處的批

次可以是指晶片、晶圓批次、封裝批次)。

在量產(chǎn)的早期階段,當還無法提供來自6個批次的數(shù)據(jù)時,可以使用來自特性批的數(shù)據(jù)(特性批類似

于現(xiàn)有產(chǎn)品和設計仿真)來設定初始限值。當現(xiàn)有的量產(chǎn)數(shù)據(jù)可用時,初始限值應立即更新。審查和更

新應在當前量產(chǎn)的頭6個月用最近的量產(chǎn)數(shù)據(jù)定期進行。這個初始的更新操作應該基于產(chǎn)品量產(chǎn)提升率

的實際來定,例如每2個擴散批次后或每生產(chǎn)30天后進行。

最新數(shù)據(jù)應該包括上次更新后可用的數(shù)據(jù),或者至少是最近8批次的數(shù)據(jù),不能使用舊數(shù)據(jù)。在第

一個6個月的量產(chǎn)后,限值應至少每年更新兩次,或根據(jù)供應商和用戶/客戶之間的協(xié)議進行更新。該數(shù)

據(jù)決定了SYL和SBL(對于晶片、晶圓批次和封裝批次為基礎)如下:

統(tǒng)計良率下限1=平均值-3×標準差

統(tǒng)計分類上限1=平均值+3×標準差

統(tǒng)計良率下限2=平均值-4×標準差

統(tǒng)計分類上限2=平均值+4×標準差

如果每個晶片上好的晶?;蚴ЬЯw類/晶片測試結果的統(tǒng)計分布不符合正態(tài)分布,供應商應使

用替代方法。這可能包括通過數(shù)學處理來轉換數(shù)據(jù)以使其適用于正態(tài)分布或其他適用的分布(威布爾分

布,伽瑪分布,泊松分布等)并建立SYL/SBL范圍,以達到實現(xiàn)與正態(tài)分布3個標準差或4標準差相同的風

險概率。供應商可使用其他合適的方法,并準備為客戶提供該解決方法的做出說明。

任何低于SYL下或超過SBL上限的晶片或批次均應做標記后去工程評審。此外,低于SYL下或超過SBL

上限的批次要被單獨拿出。供應商應對被拿出的材料進行風險評估處理。應采取遏制措施以降低對用戶

/客戶的風險。低于最小良率限值或具有高可靠性風險的材料應報廢。對于大部分的測試結果偏移,供

應商應確定其根本原因、糾正措施和未來的預防措施。對于任何超出規(guī)定限值的,供應商和用戶/客戶

之間應簽署協(xié)議,將被給予聲明。

4.2記錄

供應商應保留所有晶片、晶圓批次和封裝批次低于SYL下或超過SBL上限數(shù)據(jù)的記錄。這些數(shù)據(jù)應包

括良率問題的根本原因和防止問題再次發(fā)生所采取的糾正措施。如客戶批準了問題批次的供貨,保留的

數(shù)據(jù)還應該包括在晶片、晶圓批次和封裝批次上執(zhí)行的任何特殊測試或篩選。供應商應具備用于記錄保

留這些結果政策。

5用戶告知

5.1用戶告知流程

在告知用戶/客戶之前,供應商應確定故障機制,并根據(jù)經(jīng)驗確定需要采取的糾正措施,以防止在

未來產(chǎn)品中再次出現(xiàn)這種情況。供應商還應就失效機制的嚴重程度及其對質量和可靠性的影響提出合理

預期的數(shù)據(jù)。在此數(shù)據(jù)中包含的是一個額外的測試和篩選計劃,它們可以為用戶/客戶提供一個合理性

說明,即客戶所接收的器件將至少性能正常。

5.2通過分銷渠道對用戶告知的流程

如果供應商無法知道具體的用戶/客戶,通過分銷渠道分銷的情況下,供應商必須保留已被供貨給

分銷商的低于SYL下限或超過SBL上限的貨物的處理記錄。任何用戶/客戶,通過分銷網(wǎng)絡購買,必須了

解從分銷渠道購買的器件可能不符合本標準,除非供應商和用戶/客戶之間已經(jīng)達成了協(xié)議。

2

中國電子工業(yè)標準化技術協(xié)會

團體標準《汽車用集成電路良率統(tǒng)計方法》(征求意見稿)

編制說明

一、工作簡況

1.任務來源

《汽車用集成電路良率統(tǒng)計方法》是中國電子工業(yè)標準化技術協(xié)會于2023

年7月10日發(fā)布的《關于公布2023年第六批團體標準制修訂項目的通知》(中電

標通〔2023〕020號)中下達的團體標準制修訂項目,項目編號CESA-2023-073。

標準由中國電子技術標準化研究院發(fā)起并主辦。

2.標準編制的主要成員單位

本文件的編制組由發(fā)起單位中國電子技術標準化研究院及主要參與起草單

位中國汽車工程研究院股份有限公司、北京智芯微電子科技有限公司、華為技術

有限公司等共同編制。

3.主要工作過程

2023年7月,電子標準院組織了半導體產(chǎn)業(yè)論壇暨汽車電子元器件標準工作

委員會第一次全體會議,高校、科研院所、協(xié)會、上下游企業(yè)代表積極參與,會

上介紹《汽車用集成電路良率統(tǒng)計方法》團體標準背景,征集參編單位。

2023年7月到10月期間,編制組對美國汽車電子委員會發(fā)布的

AEC_Q002_Rev_B進行了翻譯,同時對GJB548《微電子器件試驗方法和程序》中的

5002參數(shù)分布控制方法等標準做了深入研究。

2023年10月,電子標準院組織了汽車用集成電路標準研討會,智芯微電子、

華為、中國汽研等十余家公司參加了本次會議,針對標準內容進行了討論,以及

國內實際應用作了分析。

2024年3月,電子標準院組織了汽車電子元器件標準研討會,汽車電子元器

件產(chǎn)業(yè)鏈上下游企事業(yè)單位相關代表100余人參加,針對標準內容進行了詳細的

討論,會后編制組完善修改了標準草案,形成本征求意見稿。

二、標準編制原則和確定主要內容的論據(jù)及解決的主要問題

1.編制原則

中國電子工業(yè)標準化技術協(xié)會

本文件主要內容按照GB/T1.1—2020給出的規(guī)則起草。文件編制遵循“科

學性、實用性、統(tǒng)一性、規(guī)范性”的原則。按照中國電子工業(yè)標準化技術協(xié)會標

準制修訂工作程序的要求開展工作。

2.確定主要內容的依據(jù)

標準編制過程中參考的標準主要包括AEC_Q002_Rev_B標準,也參考了美軍

標、IEC等國際標準,還包括國內標準如GB和GJB標準。本標準規(guī)定了汽車用集成

電路的良率統(tǒng)計方法,監(jiān)測出異常批次,進一步進行分析甚至批次報廢,從而保

證滿足汽車用集成電路質量和可靠性要求。汽車用集成電路的良率統(tǒng)計方法能夠

有效反應晶片和封裝批次異常特性往往質量較差并可能導致系統(tǒng)的可靠性和質

量問題。

3.解決的主要問題

目前國內汽車用集成電路的良率統(tǒng)計還處于初步階段,國內目前還沒有公認

的參考標準,汽車行業(yè)普遍參考AEC_Q002_Rev_B標準。但由于標準內容不具備實

際可操作性,各方對標準的英文文本理解差異,導致實施困難。《汽車用集成電

路良率統(tǒng)計方法》標準的推出,與T/CESAXXXX—202X汽車用集成電路電參數(shù)

一致性評價方法結合使用,能有效解決以上問題,并能夠助力汽車芯片供應商提

升品控。

三、主要試驗[或驗證]情況分析

根據(jù)文件提供的方法,在量產(chǎn)的電參數(shù)測試環(huán)節(jié)中,已經(jīng)先后對斯凱瑞利、

杰發(fā)科技、杰開科技等的汽車用集成電路產(chǎn)品進行試驗,從結果看,根據(jù)標提供

的方法,企業(yè)反應具備實際可操作性,能夠進一步完善品控體系。

四、知識產(chǎn)權情況說明

本文件不涉及專利及知識產(chǎn)權問題。

五、產(chǎn)業(yè)化情況、推廣應用論證和預期達到的經(jīng)濟效果

汽車電子產(chǎn)業(yè)是汽車產(chǎn)業(yè)和電子信息產(chǎn)業(yè)深度融合的新興產(chǎn)業(yè),隨著汽車電

動化、智能化、網(wǎng)聯(lián)化的發(fā)展,汽車電子產(chǎn)品成本占整車比例快速上升,但目前

國產(chǎn)汽車用集成電路占比只有5%左右。該項標準的制定能夠統(tǒng)一汽車用集成電

路產(chǎn)品的質量保證和市場的規(guī)范,有助于提升國內汽車用集成電路質量,為汽

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