2025年半導體刻蝕工藝服務合同協(xié)議本合同由以下雙方于2025年[具體日期]在[具體地點]簽訂：甲方（委托方）：法定全稱：[甲方公司全稱]注冊地址：[甲方公司注冊地址]聯(lián)系人：[甲方聯(lián)系人姓名]聯(lián)系方式：[甲方聯(lián)系人電話/郵箱]乙方（服務方）：法定全稱：[乙方公司全稱]注冊地址：[乙方公司注冊地址]聯(lián)系人：[乙方聯(lián)系人姓名]聯(lián)系方式：[乙方聯(lián)系人電話/郵箱]鑒于：甲方需要委托乙方提供半導體刻蝕工藝服務，以支持甲方在半導體器件制造或研發(fā)活動中的需求；乙方具備提供相關刻蝕工藝服務的能力和資質。根據(jù)《中華人民共和國民法典》及相關法律法規(guī)，雙方經(jīng)友好協(xié)商，達成如下協(xié)議，以資共同遵守。第一條服務定義與范圍1.1乙方同意根據(jù)甲方要求，使用位于[乙方設施地址或說明]的[刻蝕設備具體型號名稱，例如：ICP-RIE刻蝕機]為甲方提供半導體刻蝕工藝服務。1.2本次服務的刻蝕對象主要為[具體說明刻蝕材料，例如：硅(Si)襯底上的二氧化硅(SiO2)層]，用于制造[具體說明應用，例如：MEMS傳感器或其他半導體器件]。1.3刻蝕工藝類型為[具體說明工藝類型，例如：干法刻蝕]，采用[具體說明氣體配方，例如：SF6/Cl2混合氣體]進行等離子體刻蝕。1.4乙方應按照甲方提供的工藝需求文件（具體文件名稱可列明，如《刻蝕工藝規(guī)程V1.0》）設定的主要工藝參數(shù)（包括但不限于功率、氣壓、溫度、襯底偏壓等）進行操作，并根據(jù)實際情況與甲方協(xié)商進行參數(shù)優(yōu)化。1.5服務范圍包括刻蝕設備的操作、工藝執(zhí)行、結果初步檢測以及必要的工藝維護。不包括刻蝕前道的光刻準備工作以及刻蝕后道的清洗、検測等工序。1.6乙方應保證在服務期內，刻蝕服務的可交付能力滿足甲方[具體說明，例如：每月XX片晶圓的需求或每周XX次工藝運行的需求]。第二條雙方權利與義務2.1甲方的權利與義務：(1)有權要求乙方按照合同約定及工藝規(guī)程提供合格、穩(wěn)定的刻蝕服務。(2)有權對乙方提供的刻蝕結果進行檢驗，并根據(jù)本合同第五條約定的標準進行驗收。(3)應向乙方提供清晰、完整的工藝需求文件、設計圖紙、相關材料信息及必要的工程背景，并保證信息的準確性。(4)應按照合同約定及時向乙方支付服務費用。(5)應遵守乙方的廠區(qū)安全管理規(guī)定，指派專人配合乙方進行工藝相關工作。(6)對乙方在服務過程中知悉的甲方商業(yè)秘密和技術信息承擔保密義務。2.2乙方的權利與義務：(1)有權按照合同約定收取服務費用。(2)應確保提供的刻蝕設備處于良好運行狀態(tài)，并具備進行約定服務的資質和能力。(3)應嚴格按照甲方確認的工藝規(guī)程或雙方協(xié)商一致的工藝參數(shù)進行刻蝕操作，并對工藝結果負責。(4)應持續(xù)監(jiān)控刻蝕工藝穩(wěn)定性，定期向甲方報告工藝運行狀態(tài)和關鍵參數(shù)。(5)應對甲方提供的樣品或信息承擔保密義務，未經(jīng)甲方書面同意，不得泄露給任何第三方。(6)應配合甲方進行必要的工藝問題分析和解決，提供必要的技術支持。(7)應確保其操作人員和設備符合相關的安全生產和環(huán)境保護法律法規(guī)要求。第三條技術合作與知識產權3.1雙方同意就本次刻蝕工藝服務相關的工藝優(yōu)化進行合作。具體合作方式為：甲方提供需求輸入和驗證樣品，乙方負責工藝開發(fā)和實施，雙方共同評估結果。3.2雙方同意，在本合同履行過程中，雙方共同完成的技術開發(fā)成果，其知識產權歸屬雙方另行協(xié)商確定，或按事先約定的比例共同擁有。未經(jīng)對方同意，任何一方不得單獨將包含共有知識產權的技術成果申請專利或進行商業(yè)化應用。3.3乙方在提供服務過程中產生的標準操作規(guī)程、維護記錄等技術文檔，其知識產權歸乙方所有，但甲方有權在服務范圍內使用。第四條費用與結算4.1本合同項下的服務費用采用[選擇一種計費方式，例如：按晶圓片數(shù)計費]方式。費用標準為人民幣[具體金額]元/每片[具體說明晶圓規(guī)格，例如：200mm晶圓]。4.2服務費用按[具體頻率，例如：月度]結算。乙方應在每個結算周期結束后[具體天數(shù)，例如：10]個工作日內，向甲方提供詳細的服務量清單及費用賬單。甲方應在收到賬單后[具體天數(shù)，例如：15]個工作日內進行核對，并支付相應費用。4.3甲方應將服務費用支付至乙方指定的以下銀行賬戶：開戶行：[乙方開戶行名稱]賬戶名稱：[乙方賬戶全稱]賬號：[乙方銀行賬號]4.4所有費用均以人民幣結算，乙方不再收取其他任何性質的費用。第五條驗收與質量保證5.1乙方提供的刻蝕結果應達到甲方在《刻蝕工藝規(guī)程V1.0》中明確的質量標準，包括但不限于：刻蝕深度偏差不超過±[具體百分比或微米數(shù)]，線寬對準偏差不超過[具體微米數(shù)]，側壁粗糙度在[具體范圍]內，且無影響器件性能的關鍵缺陷。5.2驗收程序如下：乙方完成每次刻蝕服務后，應將結果樣品及檢測報告提交給甲方。甲方應在收到樣品后[具體天數(shù)，例如：5]個工作日內，按照約定標準進行抽樣檢測和評估。若檢測結果符合約定標準，甲方簽署驗收確認單；若不符合，甲方應書面通知乙方不合格項及具體原因，乙方應在[具體天數(shù)，例如：7]個工作日內對不合格樣品進行免費返工或重做，直至符合標準為止。若乙方連續(xù)[具體次數(shù)，例如：三次]無法使刻蝕結果達到約定標準，甲方有權解除合同。5.3乙方承諾其提供的刻蝕服務符合業(yè)界普遍接受的質量水平，并針對本次合作工藝進行專門的質量保證。第六條保密條款6.1甲乙雙方應對在履行本合同過程中獲悉的對方的任何商業(yè)秘密、技術信息、經(jīng)營數(shù)據(jù)、客戶信息等（以下簡稱“保密信息”）承擔保密義務。保密信息包括但不限于：工藝參數(shù)、設備配置、財務數(shù)據(jù)、未公開的測試結果、甲方提供的樣品及設計文件等。6.2未經(jīng)對方書面同意，任何一方不得向任何第三方泄露、披露或使用對方的保密信息，但法律法規(guī)另有規(guī)定或監(jiān)管機構要求的除外。雙方僅可將保密信息用于履行本合同之目的。6.3本保密義務不因本合同的終止而失效，持續(xù)有效期限為本合同終止后[具體年限，例如：五]年。6.4任何一方違反本保密義務，應賠償因此給對方造成的一切直接和間接損失。第七條違約責任7.1若甲方未按時支付服務費用，每逾期一日，應按逾期支付金額的[具體百分比，例如：萬分之五]向乙方支付違約金。逾期超過[具體天數(shù)，例如：30]日，乙方有權暫停服務或解除合同，并要求甲方支付全部應付費用及違約金。7.2若乙方提供的刻蝕服務持續(xù)不符合合同約定的質量標準，經(jīng)甲方書面通知后仍無法在合理期限內糾正，甲方有權拒付相應部分的費用，或直接從應付費用中扣除相應金額，或解除合同，并要求乙方賠償由此造成的損失。7.3若任何一方違反本合同項下的保密義務，應向對方支付違約金人民幣[具體金額]元，并賠償因此給對方造成的全部損失（包括但不限于直接損失、間接損失、調查費、律師費等）。7.4因不可抗力（如戰(zhàn)爭、自然災害、政府行為等）導致本合同無法履行或延遲履行，遭遇不可抗力一方應立即通知對方，并在合理期限內提供證明。根據(jù)不可抗力的影響，部分或全部免除責任，或允許延期履行。第八條法律適用與爭議解決8.1本合同的訂立、效力、解釋、履行及爭議解決均適用中華人民共和國法律。8.2因本合同引起的或與本合同有關的任何爭議，雙方應首先通過友好協(xié)商解決。協(xié)商不成的，任何一方均有權將爭議提交至[選擇一種方式：A.甲方所在地有管轄權的人民法院訴訟解決；B.乙方所在地有管轄權的人民法院訴訟解決；C.[具體仲裁委員會名稱]按照其屆時有效的仲裁規(guī)則進行仲裁，仲裁地點在[具體城市]，仲裁語言為中文]。第九條合同期限與終止9.1本合同自雙方授權代表簽字并加蓋公司公章（或合同專用章）之日起生效，有效期為[具體年限，例如：壹]年，自[起始年]年[起始月]月[起始日]日起至[終止年]年[終止月]月[終止日]日止。9.2合同期滿前[具體月數(shù)，例如：三個月]，如雙方均未提出書面異議，本合同自動續(xù)展[具體年限，例如：壹]年。任何一方欲終止續(xù)展，應在期滿前[具體月數(shù)，例如：三個月]書面通知對方。9.3除本合同另有約定外，發(fā)生下列情況之一時，守約方有權書面通知違約方解除本合同：(1)一方嚴重違反本合同約定，經(jīng)守約方書面催告后[具體天數(shù)，例如：30]日內仍未糾正的。(2)一方進入破產、清算程序的。(3)不可抗力導致合同目的無法實現(xiàn)的。9.4合同終止或解除后，雙方應在[具體天數(shù)，例如：15]個工作日內結清所有費用。乙方應將甲方提供的樣品、資料等歸還甲方，并繼續(xù)履行保密義務。第十條其他條款10.1本合同構成雙方就本合同標的達成的完整協(xié)議，取代雙方此前就該事項進行的所有口頭或書面溝通、協(xié)議。10.2對本合同的任何修改或補充，均需以書面形式進行，并經(jīng)雙方授權代表簽字蓋章后生效。10.3若本合同任何條款被認定為無效或不可執(zhí)行，不影響其他條款的效力。10.4本合同未盡事宜，由