中國電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)協(xié)會(huì)

團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)《磁光克爾顯微鏡》（征求意見稿）編制說明

一、工作簡況

1、項(xiàng)目背景

當(dāng)今高度智能化社會(huì)中，以磁性隨機(jī)存儲(chǔ)器（MRAM）、巨磁阻傳感器（GMR

Sensor）等為代表的新型電子自旋器件，將在大數(shù)據(jù)信息存儲(chǔ)、硬盤信息讀取、

定位及導(dǎo)航、汽車自動(dòng)駕駛等領(lǐng)域扮演重要角色。磁性薄膜是制造MRAM芯片、GMR

傳感器芯片的基礎(chǔ)。磁光克爾成像技術(shù)是精確、直觀、快速檢測(cè)磁性薄膜性質(zhì)和

質(zhì)量，檢測(cè)自旋電子器件作用過程的重要手段。磁光克爾顯微鏡是此領(lǐng)域研究的

重要工具。

磁光克爾顯微鏡設(shè)備可應(yīng)用于高等院校、科研院所的科學(xué)研究，用于探測(cè)材

料和自旋電子芯片的性能，包括磁性動(dòng)力學(xué)研究、磁性材料性質(zhì)測(cè)試，自旋電子

芯片測(cè)試等；可用于產(chǎn)業(yè)界的磁性材料研發(fā)和自旋電子芯片研發(fā)制造等。

磁光克爾顯微鏡是磁性芯片等領(lǐng)域的重要研發(fā)工具，當(dāng)前商用的磁光克爾顯

微鏡市場(chǎng)幾乎被德國的Evico公司和英國的DurhamMagnetoOpticsLtd公司占

領(lǐng)。國內(nèi)磁光克爾顯微鏡設(shè)備打破了這種壟斷局面，但是目前尚未有高性能磁光

克爾顯微鏡實(shí)現(xiàn)商業(yè)化量產(chǎn)。當(dāng)前我國針對(duì)磁光克爾顯微鏡的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處于空白

狀態(tài)，這使得磁光克爾顯微鏡設(shè)備的研發(fā)應(yīng)用受到限制。該標(biāo)準(zhǔn)的制定有利于規(guī)

范磁光克爾顯微鏡的設(shè)計(jì)、制造流程以及產(chǎn)品質(zhì)量，為磁光克爾顯微鏡的產(chǎn)品驗(yàn)

收提供技術(shù)依據(jù)，有效促進(jìn)磁光克爾顯微鏡的推廣應(yīng)用，有利于推動(dòng)國內(nèi)基于磁

性薄膜的相關(guān)芯片和傳感器的研發(fā)，助力國家科學(xué)和信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

2、任務(wù)來源

本文件的編制任務(wù)來源于中國電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)協(xié)會(huì)（以下簡稱“中電標(biāo)

協(xié)”）2023年11月27日發(fā)布的《關(guān)于公布2023年第十批團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)制修訂項(xiàng)目的通

知》（中電標(biāo)通[2023]030號(hào)），項(xiàng)目號(hào)為CESA-2023-096，項(xiàng)目標(biāo)準(zhǔn)名稱為：磁

光克爾顯微鏡。本文件為新制定標(biāo)準(zhǔn)，項(xiàng)目周期為12個(gè)月。技術(shù)歸口單位是中國

電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)協(xié)會(huì)，項(xiàng)目牽頭單位為致真精密儀器有限公司。

3、標(biāo)準(zhǔn)起草單位

中國電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)協(xié)會(huì)

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：致真精密儀器有限公司、北京航空航天大學(xué)、中國電子技

術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、中國電子科技集團(tuán)公司第九研究所、中國計(jì)量大學(xué)、中國科學(xué)

院物理研究所、致真存儲(chǔ)（北京）科技有限公司、中國計(jì)量科學(xué)研究院……

4、主要工作過程

1）標(biāo)準(zhǔn)預(yù)研

2023年3月-2023年7月，針對(duì)磁光克爾顯微鏡設(shè)備，致真精密儀器有限公司

進(jìn)行了廣泛的前期研究，并查閱了大量的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范，并與標(biāo)準(zhǔn)起草單位進(jìn)

行討論，初步確認(rèn)了該標(biāo)準(zhǔn)草案的框架和主要內(nèi)容，開始撰寫標(biāo)準(zhǔn)草案。

2023年9月，致真精密儀器有限公司完成了標(biāo)準(zhǔn)草案的初步撰寫。

2023年9月28日，各標(biāo)準(zhǔn)起草單位對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)行了討論，旨在進(jìn)一步修訂

標(biāo)準(zhǔn)的內(nèi)容。修改完善后形成齊套立項(xiàng)材料申報(bào)立項(xiàng)。

2)標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)

2023年10月13日，由中國電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)協(xié)會(huì)組織團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)論證

會(huì)，對(duì)《磁光克爾顯微鏡》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目建議進(jìn)行了論證，并同意立項(xiàng)。

3）標(biāo)準(zhǔn)編制

2023年11月27日，根據(jù)中電標(biāo)協(xié)發(fā)布的《關(guān)于公布2023年第十批團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)制

修訂項(xiàng)目的通知》（中電標(biāo)通[2023]030號(hào)）要求，致真精密儀器有限公司聯(lián)合

中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院等單位成立標(biāo)準(zhǔn)起草組，開展標(biāo)準(zhǔn)編制工作。

2023年12月4日，標(biāo)準(zhǔn)起草組主要負(fù)責(zé)人召開會(huì)議，對(duì)后續(xù)標(biāo)準(zhǔn)制定工作進(jìn)

行規(guī)劃安排，推進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)草案編寫進(jìn)度。會(huì)議中對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)行了研討，初步形成

了《磁光克爾顯微鏡》（草案）。

2024年12月5日-2024年6月10日，標(biāo)準(zhǔn)起草組對(duì)草案進(jìn)行研討和完善。

2024年6月11日，標(biāo)準(zhǔn)起草組成員召開研討會(huì)，會(huì)議集中對(duì)草案的內(nèi)容再次

進(jìn)行了詳細(xì)討論。最終，會(huì)后形成該標(biāo)準(zhǔn)的《磁光克爾顯微鏡》（征求意見稿），

提交中電標(biāo)協(xié)公開征求意見。

二、標(biāo)準(zhǔn)編制原則和確定主要內(nèi)容的論據(jù)及解決的主要問題

1、標(biāo)準(zhǔn)編制原則

在標(biāo)準(zhǔn)編制過程中，遵循了以下原則：

中國電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)協(xié)會(huì)

a)科學(xué)性。本標(biāo)準(zhǔn)依托現(xiàn)有產(chǎn)業(yè)應(yīng)用要點(diǎn)，充分結(jié)合生產(chǎn)企業(yè)以及用戶企

業(yè)產(chǎn)學(xué)研用的優(yōu)勢(shì)，充分利用科研成果、產(chǎn)業(yè)需求調(diào)研結(jié)果，保障標(biāo)準(zhǔn)指標(biāo)的科

學(xué)合理。

b)先進(jìn)性。本標(biāo)準(zhǔn)制定過程中充分考慮了磁光克爾顯微鏡最新的技術(shù)趨勢(shì)

和發(fā)展方向，具有前瞻性。

c)全面性。本標(biāo)準(zhǔn)在編制過程中充分考慮到標(biāo)準(zhǔn)的全面性，保證能夠覆蓋

到磁光克爾顯微鏡設(shè)備中的各項(xiàng)指標(biāo)，確保標(biāo)準(zhǔn)的完備性。

d)中立性。在本標(biāo)準(zhǔn)制定過程中，編制工作組對(duì)標(biāo)準(zhǔn)文本進(jìn)行了充分討論，

確保了中立性和客觀性。

e)規(guī)范性。本標(biāo)準(zhǔn)的編寫遵守國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作指導(dǎo)

第一部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》。

2、標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容

本文件規(guī)定了磁光克爾顯微鏡設(shè)備的術(shù)語和定義、結(jié)構(gòu)、分類、基本參數(shù)、

工作條件、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存。其中基本參

數(shù)主要包括成像視野、磁成像分辨率、磁成像靈敏度、磁場(chǎng)強(qiáng)度范圍以及磁場(chǎng)監(jiān)

測(cè)精度等。

本文件適用于磁光克爾顯微鏡設(shè)備的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)及測(cè)試。產(chǎn)品可以用于觀察

磁性材料表面以及磁性薄膜材料的磁化狀態(tài)并成像。

3、主要解決的問題

目前國內(nèi)沒有與磁光克爾顯微鏡設(shè)備相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)，本標(biāo)準(zhǔn)主要解決市場(chǎng)中不

同生產(chǎn)廠商所生產(chǎn)設(shè)備的差異化問題。本標(biāo)準(zhǔn)的制定有助于集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的建

設(shè)，有效避免定制化產(chǎn)品導(dǎo)致的市場(chǎng)壟斷局面。

三、主要試驗(yàn)[或驗(yàn)證]情況分析

在本文件編制過程中，多家行業(yè)內(nèi)生產(chǎn)單位以及用戶企業(yè)、科研院校積極參

與到編制工作當(dāng)中，充分考慮當(dāng)下科技發(fā)展現(xiàn)狀及應(yīng)用需求。從市場(chǎng)符合性角度

分析，標(biāo)準(zhǔn)中所涉及設(shè)備已經(jīng)投入到實(shí)際生產(chǎn)與科研工作當(dāng)中，所涉及的技術(shù)指

標(biāo)均已經(jīng)通過測(cè)試驗(yàn)證，所涉及的技術(shù)內(nèi)容符合我國產(chǎn)業(yè)需求。

四、知識(shí)產(chǎn)權(quán)情況說明

無。

中國電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)協(xié)會(huì)

五、產(chǎn)業(yè)化情況、推廣應(yīng)用論證和預(yù)期達(dá)到的經(jīng)濟(jì)效果

本文件規(guī)定了磁光克爾顯微鏡設(shè)備的構(gòu)成及技術(shù)指標(biāo)，指導(dǎo)磁光克爾顯微鏡

設(shè)備的設(shè)計(jì)、制造、采購和評(píng)價(jià)活動(dòng)，解決由于標(biāo)準(zhǔn)不統(tǒng)一所導(dǎo)致的同類產(chǎn)品之

間的差異，解決集成電路生態(tài)鏈不完整等問題。本標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)布有助于打破磁光克

爾顯微鏡市場(chǎng)的國際壟斷局面，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的國產(chǎn)化進(jìn)程。

本文件的發(fā)布有助于磁光克爾顯微鏡設(shè)備的推廣應(yīng)用，推動(dòng)磁光克爾顯微鏡

設(shè)備市場(chǎng)發(fā)展，進(jìn)一步推動(dòng)磁性芯片和集成電路制造領(lǐng)域的發(fā)展。

六、轉(zhuǎn)化國際標(biāo)準(zhǔn)和國外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)情況

該項(xiàng)目不涉及國際標(biāo)準(zhǔn)或者國外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)的轉(zhuǎn)化問題。

七、與現(xiàn)行相關(guān)法律、法規(guī)、規(guī)章及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的協(xié)調(diào)性

該項(xiàng)目符合我國有關(guān)的現(xiàn)行法律、法規(guī)。

八、重大分歧意見的處理經(jīng)過和依據(jù)

無重大分歧意見。

九、貫徹標(biāo)準(zhǔn)的要求和措施建議

通過文件的實(shí)施實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)內(nèi)的共識(shí)性規(guī)范，推動(dòng)磁光克爾顯微鏡設(shè)備在磁性

芯片研發(fā)領(lǐng)域和集成電路制造領(lǐng)域的應(yīng)用。

待文件正式發(fā)布后，可以通過各級(jí)組織和科研單位進(jìn)一步貫徹和實(shí)施，推動(dòng)

各級(jí)各類高校、科研機(jī)構(gòu)、