芯德科技人工智能先進(jìn)封測(cè)基地(一期)項(xiàng)目環(huán)評(píng)報(bào)告表_第1頁(yè)
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建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表項(xiàng)目名稱:芯德科技人工智能先進(jìn)封測(cè)基地(一期)項(xiàng)目建設(shè)單位(蓋章):江蘇芯德半導(dǎo)體科技股份有限公司編制日期:2025年9月 1 29 70 85 205 2101填)專項(xiàng)評(píng)價(jià)設(shè)置情排放廢氣含有毒有害污染物、氣且廠界外500米范圍內(nèi)有環(huán)本項(xiàng)目排放廢氣中含有氰化氫但周邊500米范圍新增工業(yè)廢水直排建設(shè)項(xiàng)目(槽罐車外送污水處理廠的除2況本項(xiàng)目硫酸存儲(chǔ)量為取水口下游500米范圍內(nèi)有重要水生生物的自然產(chǎn)卵場(chǎng)、索餌場(chǎng)、越冬場(chǎng)和洄游通道的新規(guī)劃情況規(guī)劃環(huán)境影響評(píng)價(jià)情況建設(shè)規(guī)劃(2021-2035)環(huán)境影響報(bào)告書的審查意見(jiàn)規(guī)劃及規(guī)劃環(huán)境影3響評(píng)價(jià)相符性分析完整集成電路產(chǎn)業(yè)鏈。計(jì)劃成為全國(guó)乃至全球具有重要影響力的集成電兩側(cè)的研發(fā)主軸;“三心”包括雙峰路-云杉路交叉口周邊的綜合工業(yè)社根據(jù)圖1-1可知,本項(xiàng)目所在區(qū)域符合浦4路以及新星大道下供水管接入規(guī)劃區(qū)。用水量:規(guī)劃區(qū)用水總量為6.90電子工業(yè)生產(chǎn)廢水外,其余生活污水及工業(yè)企業(yè)的生產(chǎn)廢水和生活污水5供熱管網(wǎng):根據(jù)主要熱用戶熱力負(fù)荷分布情況,合理布置供熱主干生活垃圾:規(guī)劃范圍內(nèi)的垃圾由垃圾收集站收集后經(jīng)垃圾轉(zhuǎn)運(yùn)站運(yùn)業(yè)廢水管網(wǎng)收集后,接管至南京浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠集中處),序號(hào)審查意見(jiàn)相符性分析相符性1深入踐行習(xí)近平生態(tài)文明思想,完整準(zhǔn)確全面貫徹新發(fā)展理念,堅(jiān)持綠色質(zhì)量改善為核心,做好與各級(jí)國(guó)土空間規(guī)劃和生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控體系的協(xié)業(yè)發(fā)展對(duì)生態(tài)環(huán)境保護(hù)、人居環(huán)境安本項(xiàng)目屬于集成電路本項(xiàng)目所在地用地性涉及占用生態(tài)空間管2嚴(yán)守環(huán)境質(zhì)量底線,實(shí)施污染物排放限值限量管理。根據(jù)國(guó)家和江蘇省關(guān)環(huán)境分區(qū)管控相關(guān)要求,落實(shí)污染物本項(xiàng)目落實(shí)污染物總6總量管控要求。完善主要污染物排放總量控制措施,實(shí)現(xiàn)主要污染物排放濃度和總量“雙管控”,為推進(jìn)區(qū)域環(huán)3化企業(yè)特征污染物排放控制、高效治理設(shè)施建設(shè)以及精細(xì)化管控要求。引應(yīng)達(dá)到同行業(yè)先進(jìn)水平。全面開(kāi)展清潔生產(chǎn)審核,推動(dòng)重點(diǎn)行業(yè)依法實(shí)施強(qiáng)制性審核,引導(dǎo)其他行業(yè)自覺(jué)自愿開(kāi)展審核。推進(jìn)開(kāi)發(fā)區(qū)綠色低碳轉(zhuǎn)型本項(xiàng)目廢氣經(jīng)過(guò)處理預(yù)處理達(dá)接管標(biāo)準(zhǔn)后生產(chǎn)達(dá)到國(guó)內(nèi)清潔生4完善環(huán)境基礎(chǔ)設(shè)施。加快實(shí)施開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠擴(kuò)建及提標(biāo)改造,推進(jìn)再生水利用設(shè)施、玉蓮河生態(tài)安全緩沖區(qū)和管網(wǎng)系統(tǒng)建設(shè),確保區(qū)內(nèi)生產(chǎn)廢水和生活污水分類收集處理。積極推進(jìn)區(qū)內(nèi)分布式能源站建設(shè),全面實(shí)施集中供熱。加強(qiáng)開(kāi)發(fā)區(qū)固體廢物本項(xiàng)目有機(jī)廢水、含銅廢水等生產(chǎn)廢水預(yù)處理后進(jìn)入廠區(qū)綜合廢水站處理后由生產(chǎn)廢水排口接管至浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠集中處理,公輔工程廢水和經(jīng)隔油池+生化池處理的生活污水混合后由生活污水排口接管至浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)污水處理廠集中處理;本項(xiàng)目產(chǎn)生的一般工業(yè)固廢收集后外售處置,危險(xiǎn)廢物收集后委托有資質(zhì)單位處5建立健全環(huán)境監(jiān)測(cè)監(jiān)控體系。開(kāi)展包底泥等環(huán)境要素的跟蹤監(jiān)測(cè)。嚴(yán)格落測(cè)站點(diǎn),同時(shí)根據(jù)實(shí)際情況在開(kāi)發(fā)區(qū)周邊河流布設(shè)水質(zhì)自動(dòng)監(jiān)測(cè)站點(diǎn)。指導(dǎo)區(qū)內(nèi)企業(yè)按照監(jiān)測(cè)規(guī)范,安裝在線監(jiān)測(cè)設(shè)備及自動(dòng)留樣、校準(zhǔn)等輔助設(shè)備,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)獲得主要污染物排放濃設(shè)備條件的企業(yè),應(yīng)指導(dǎo)企業(yè)做好委本項(xiàng)目擬在生產(chǎn)廢水接管口設(shè)置流量計(jì)、總鎳、總銀在線監(jiān)測(cè)儀;在廢氣排口設(shè)置嚴(yán)格按照監(jiān)測(cè)計(jì)劃開(kāi)展例行檢測(cè)。6健全開(kāi)發(fā)區(qū)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防控體系,建立環(huán)境應(yīng)急管理制度,提升環(huán)境應(yīng)急能力。完成開(kāi)發(fā)區(qū)三級(jí)環(huán)境防控體落實(shí)風(fēng)險(xiǎn)防范措施。制定環(huán)境應(yīng)急預(yù)本項(xiàng)目建成后根環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案?jìng)?隱患排查治理制度。配備充足的應(yīng)急裝備物資和應(yīng)急救援隊(duì)伍,定期開(kāi)展演練。做好污染防治過(guò)程中的安全防范,組織對(duì)開(kāi)發(fā)區(qū)建設(shè)的重點(diǎn)環(huán)保治理設(shè)施和項(xiàng)目開(kāi)展安全風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估和隱患排查治理,督促開(kāi)發(fā)區(qū)內(nèi)企業(yè)對(duì)污染防治設(shè)施開(kāi)展安全風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估和隱患的要求編制突發(fā)環(huán)境充足的應(yīng)急裝備物資區(qū)環(huán)境應(yīng)急預(yù)案相銜目本項(xiàng)目為集成電路的生產(chǎn)項(xiàng)本項(xiàng)目不涉及高VOCs含量目限制引入《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2019年能剝離電鍍工序的項(xiàng)目,需組織專家技術(shù)論鍍不可剝離論證專家評(píng)審本項(xiàng)目污染治理措施符合相橋雅居居民安置小區(qū)西北向與工業(yè)區(qū)相鄰區(qū)8控《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)管控水環(huán)境質(zhì)量總體處于良好水下水各監(jiān)測(cè)因子中除總大腸量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)管小于243.69t/a,氨氮小于29.6t/a,總磷小于浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)污水處理廠近期20%,遠(yuǎn)期控一風(fēng)險(xiǎn)源發(fā)生風(fēng)險(xiǎn)事故引起其他風(fēng)險(xiǎn)源爆發(fā)9本項(xiàng)目工業(yè)用地9.8公頃,滿規(guī)劃能源利用主要為電能和天然氣等清潔能其他符合性分析化合物集成電路生產(chǎn),和球柵陣列封裝或多種技術(shù)集成的先進(jìn)封裝與測(cè)試,集成電路裝備及關(guān)鍵零部件制造”成電路制造本項(xiàng)目不在該負(fù)面清單“河段利用與岸線開(kāi)發(fā)”“區(qū)域活動(dòng)”“產(chǎn)本項(xiàng)目不在該負(fù)面清單指導(dǎo)目錄(2024年單成電路制造調(diào)整限制、淘汰和禁止目錄》(蘇辦省自然資源廳關(guān)于南京市浦口區(qū)2023年度生態(tài)空間管控區(qū)域調(diào)整方案的--灣洲域(GB3095-2012)中二級(jí)標(biāo)準(zhǔn),區(qū)域?yàn)椴贿_(dá)標(biāo)區(qū)。南京環(huán)境工作為持續(xù)深入打好污染防治攻堅(jiān)戰(zhàn)。持續(xù)實(shí)施PM2.5和O3協(xié)同控制及多污染物協(xié)同減排,深入推進(jìn)VOCs全過(guò)程管控。通過(guò)采取上述措施,南京市環(huán)境空氣質(zhì)量狀況可以得到持續(xù)改善。級(jí)改造項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書》中“G1項(xiàng)目所在地”的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù),監(jiān)測(cè)時(shí)間全市水環(huán)境質(zhì)量總體處于良好水平,納入江蘇省“十四五”水環(huán)境考核目根據(jù)《市政府關(guān)于批轉(zhuǎn)市環(huán)保局〈南京市聲環(huán)境功能區(qū)劃分調(diào)整方的廢水處理站所在位置的地下水進(jìn)行了檢測(cè),檢測(cè)結(jié)果表明本項(xiàng)目污水處理站所在地各監(jiān)測(cè)因子中除總大腸菌群外其余均滿足《地下水質(zhì)量標(biāo)理站土壤中各類因子均能夠達(dá)到《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)管控標(biāo)準(zhǔn)》(試行GB36600-2018)第本次新建項(xiàng)目用水由市政給水統(tǒng)一供給。項(xiàng)目所在區(qū)域由浦口自來(lái)(1)執(zhí)行規(guī)劃和規(guī)劃環(huán)評(píng)及其審查意見(jiàn)相關(guān)要為產(chǎn)業(yè)主導(dǎo)方向,并培育新材料等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)年本)》《江蘇省工業(yè)和信息產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整淘汰目錄和能耗限額》中的限制類項(xiàng)目。污染治技術(shù)政策》《江蘇省重點(diǎn)行業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物污染確屬工藝需要、不能剝離電鍍工序的項(xiàng)目,需組突的項(xiàng)目;不符合《長(zhǎng)江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單指2022年版)〉江蘇省實(shí)施細(xì)則》《關(guān)于印發(fā)南京市建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境準(zhǔn)入暫行規(guī)定的通知》等要求的控施,持續(xù)減少主要污染物排放總量,確保區(qū)域環(huán)(5)嚴(yán)格“兩高”項(xiàng)目源頭管控,堅(jiān)決遏制“兩高”業(yè)-公共管網(wǎng)-區(qū)內(nèi)水體”水污染三級(jí)防控基礎(chǔ)設(shè)人群聚集的辦公樓、周邊村莊及河流,且應(yīng)在規(guī)劃區(qū)的下風(fēng)向布局,以減少對(duì)其項(xiàng)目的影響;區(qū)素監(jiān)控體系,完善并落實(shí)園區(qū)日常環(huán)境監(jiān)測(cè)與污條的集成電路制造建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件的條條根據(jù)分析,本項(xiàng)目符合生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控要求。本項(xiàng)目園區(qū)規(guī)劃及規(guī)劃環(huán)境影響評(píng)條本項(xiàng)目磨劃廢水回用于循環(huán)條鼓勵(lì)采用轉(zhuǎn)輪濃縮吸附燃燒裝置處理硅片有機(jī)涉重金屬焊接煙塵應(yīng)配置收集系統(tǒng)和凈化處理污染物排放應(yīng)符合《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》本項(xiàng)目含氰廢氣通過(guò)密閉負(fù)壓+集氣罩收集后經(jīng)“次氯酸鈉氧化吸收+堿液噴淋吸收”裝置處理,達(dá)標(biāo)后通過(guò)30m廢氣通過(guò)密閉負(fù)壓收集后經(jīng)高效過(guò)濾、沸石轉(zhuǎn)輪濃縮、酸性廢氣通過(guò)密閉負(fù)壓+集氣罩收集后經(jīng)“一級(jí)酸霧吸本項(xiàng)目有組織廢氣執(zhí)行《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》點(diǎn)濃度應(yīng)符合《大氣污染物條本項(xiàng)目實(shí)行雨污分流、用水系統(tǒng)。本項(xiàng)目有機(jī)廢水含銅廢水采用“化學(xué)沉淀+混調(diào)節(jié)+破絡(luò)+重捕+混凝沉造產(chǎn)生的含砷廢水采用過(guò)濾+化學(xué)沉淀法預(yù)處節(jié)+破絡(luò)+混凝+ACF+樹(shù)脂吸“UF+RO”分別經(jīng)過(guò)預(yù)處理后和清洗廢水混合進(jìn)入廠區(qū)綜合廢水處理站處理后接管至浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠集中處理。接管標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠接管標(biāo)準(zhǔn)和《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》條存應(yīng)符合《危險(xiǎn)廢物貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)》本項(xiàng)目危險(xiǎn)廢物委托有資質(zhì)的單位處置,危險(xiǎn)廢物貯存符合《危險(xiǎn)廢物貯存污染控條應(yīng)強(qiáng)化噪聲污染防治措施,進(jìn)一步降低噪聲影本項(xiàng)目?jī)?yōu)先選擇低噪聲設(shè)備聲等措施,廠界噪聲能夠滿足《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲條的突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)制定有效的風(fēng)險(xiǎn)防范和應(yīng)急氫等有毒有害氣體的泄漏影響范圍并提出環(huán)境本項(xiàng)目建成后應(yīng)根據(jù)《企業(yè)事業(yè)單位突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急的要求編制環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)應(yīng)急預(yù)案并配備充足的應(yīng)急裝備物資和應(yīng)急救援隊(duì)伍,與園區(qū)環(huán)境應(yīng)急預(yù)案相銜接。企業(yè)危廢暫存間等設(shè)置在遠(yuǎn)離辦人員和環(huán)境的影響。本項(xiàng)目條本項(xiàng)目已經(jīng)實(shí)行了分區(qū)防控措施,生產(chǎn)廠房、危廢暫存庫(kù)、污水收集管道和處理池等實(shí)行重點(diǎn)防滲。企業(yè)不屬本項(xiàng)目為新建項(xiàng)目,不涉及明確項(xiàng)目實(shí)施后的環(huán)境管理要求和環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)監(jiān)管單位,還應(yīng)依法依規(guī)制定周邊環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)在第四章節(jié)內(nèi)容中根據(jù)自行監(jiān)測(cè)技術(shù)指南和排污許可證申請(qǐng)與核發(fā)技術(shù)規(guī)范要求,制定廢水、廢氣污染物排放本項(xiàng)目要求企業(yè)按照相關(guān)法規(guī)政策建設(shè)污染防治措施并本評(píng)價(jià)按照?qǐng)?bào)告表編制技術(shù)指南和相關(guān)導(dǎo)則、政策要求1第十五條排放揮發(fā)性有機(jī)物的生產(chǎn)本項(xiàng)目產(chǎn)生的有機(jī)廢氣通經(jīng)營(yíng)者應(yīng)當(dāng)履行防治揮發(fā)性有機(jī)物過(guò)密閉負(fù)壓收集后經(jīng)高效濃度有機(jī)廢氣通過(guò)密閉負(fù)壓收集后經(jīng)二級(jí)活性炭裝2第二十一條產(chǎn)生揮發(fā)性有機(jī)物廢氣的生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)活動(dòng)應(yīng)當(dāng)在密閉空間或設(shè)備應(yīng)當(dāng)按照環(huán)境保護(hù)和安全生產(chǎn)有機(jī)物回收或者凈化設(shè)施;固體廢間進(jìn)行的生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)活動(dòng)應(yīng)當(dāng)采取有本項(xiàng)目有機(jī)廢氣產(chǎn)生環(huán)節(jié)效確保廢氣收集效率不低廢氣通過(guò)密閉負(fù)壓+集氣罩收集后經(jīng)二級(jí)活性炭吸附裝置處理,達(dá)標(biāo)后通過(guò)1省相關(guān)排放標(biāo)準(zhǔn)等標(biāo)準(zhǔn)中最嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)。并執(zhí)行廠區(qū)內(nèi)VOCs特別排放限準(zhǔn)》(DB32/T3747-標(biāo)準(zhǔn)》(DB32/4041-符合2),本次環(huán)評(píng)在批復(fù)前完成符合3由于晶圓對(duì)清洗工藝要求符料的,VOCs含量應(yīng)滿足國(guó)家及省洗劑基本以溶劑型為主,具有不可替代性。企業(yè)在生產(chǎn)過(guò)程采用先進(jìn)工藝和設(shè)備,實(shí)現(xiàn)設(shè)備、裝置、管線、采樣等密閉化,從源頭減少VOCs泄漏環(huán)節(jié),可減少物料損耗,認(rèn)真落實(shí)各項(xiàng)污染《清洗劑揮發(fā)性有機(jī)化合物空航天,核工業(yè)、軍工、半導(dǎo)體(含集成電路)制造用(含集成電路)制造,故本項(xiàng)目使用的有機(jī)清洗劑不執(zhí)合4逸散以及工藝過(guò)程等5類排放源的VOCs管控評(píng)價(jià),詳細(xì)描述采取的其可行性和可靠性,不得采用密閉收生產(chǎn)流程中涉及VOCs的生產(chǎn)環(huán)節(jié)和無(wú)組織排放位置,控制風(fēng)速應(yīng)不低于0.3米/秒。VOCs廢氣應(yīng)遵循“應(yīng)收盡收、分質(zhì)收集”原則,收集效率應(yīng)原則確實(shí)達(dá)不到的應(yīng)在環(huán)評(píng)文件中充分論符合5文件應(yīng)強(qiáng)化含VOCs廢氣的處理效果項(xiàng)目應(yīng)按照規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)適宜、合VOCs(以非甲烷總烴計(jì))初始排放速?gòu)U氣禁止采用單一的水或水溶液噴淋法等低效處理技術(shù)。環(huán)評(píng)文件中應(yīng)明確,VOCs治理設(shè)施不設(shè)置廢氣旁路,市生態(tài)環(huán)境局VOCs治理設(shè)施旁路清評(píng)文件應(yīng)明確要求制定吸附劑定期更后產(chǎn)生的危險(xiǎn)廢物,應(yīng)按要求密閉存),產(chǎn)、集中管理、集中治污。密閉負(fù)壓收集后經(jīng)高效過(guò)置處理,達(dá)標(biāo)后通過(guò)30m高處理,達(dá)標(biāo)后通過(guò)30m高排氣筒(FQ-2)排放,風(fēng)量密閉負(fù)壓+集氣罩收集后經(jīng)達(dá)標(biāo)后通過(guò)15m高排氣筒符合6符合7在項(xiàng)目建設(shè)過(guò)程中涉及使用涂料、油先使用符合國(guó)家、省和本市要求的低符合本項(xiàng)目生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的有機(jī)廢氣通過(guò)密閉負(fù)壓收集后經(jīng)高效過(guò)危廢庫(kù)產(chǎn)生的有機(jī)廢氣通過(guò)密閉負(fù)壓+集氣罩收集后經(jīng)二級(jí)活性炭吸附改、擴(kuò)建重點(diǎn)行業(yè)建設(shè)項(xiàng)目應(yīng)遵循重點(diǎn)重金屬污染物排放“減量替代”原位在提交環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件時(shí)應(yīng)明確重點(diǎn)重金屬污染物排放總量及來(lái)要對(duì)排污許可證進(jìn)行變更的,審批部門應(yīng)依法對(duì)排污許可證的相應(yīng)事項(xiàng)脂吸附”預(yù)處理后進(jìn)入廠區(qū)綜合廢水處理站處理達(dá)標(biāo)后接管至南京浦口劑揮發(fā)性有機(jī)化合物含量限值》(GB38508-2020)規(guī)定的水基、半水基清洗劑產(chǎn)品;符合《膠粘劑揮發(fā)性有機(jī)化合物限量》(GB33372-2020)相符性分析:由于晶圓對(duì)清洗工藝要求高,目前半導(dǎo)體行業(yè)清洗劑留的去膠液,異丙醇使用量為8.460t/a,平均每片/顆產(chǎn)品使用量約為量均較小,總體使用量較合理?!肚逑磩]發(fā)性有機(jī)化合物含量限值》(GB38508-2020)中明確:“本標(biāo)準(zhǔn)不適用于航常溫下不揮發(fā),不屬于揮發(fā)性成分,滿足《膠粘劑揮發(fā)性有機(jī)化合物限本項(xiàng)目生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的有機(jī)廢氣通過(guò)密閉負(fù)壓收集后經(jīng)高效過(guò)排放,符合《江蘇省揮發(fā)性有機(jī)物清潔原料替代工作方案》(蘇大氣辦1本項(xiàng)目含氟廢水經(jīng)化學(xué)沉淀預(yù)處理后接管至浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水2污水處理廠及重點(diǎn)涉氟企業(yè)雨水污水排放網(wǎng)。逐步實(shí)行氟化物排放濃度和總量“雙企業(yè)后續(xù)需按規(guī)范要求完善涉氟3查立改,氟化物系統(tǒng)治理工作取得明顯成本項(xiàng)目含氟廢水可達(dá)標(biāo)接管至浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)4生態(tài)環(huán)境等相關(guān)主管部門應(yīng)將氟化物削減勵(lì)氫氟酸清洗原料替代及含氟廢酸資源化利用等有利于氟化物削減和控制的工藝技不報(bào)告或者不如實(shí)報(bào)告清潔生產(chǎn)審核結(jié)果本項(xiàng)目使用氟化物原料量總體較小,主要來(lái)源為塔產(chǎn)生的含氟廢水等,已將氟化物相關(guān)內(nèi)容納入清潔生產(chǎn)審核體系中5完善基礎(chǔ)設(shè)施:涉氟企業(yè)應(yīng)做到“雨污建企業(yè)含氟廢水不得接入城鎮(zhèn)污水處理設(shè)本項(xiàng)目廠區(qū)內(nèi)已按照雨污分流建設(shè)排水管網(wǎng),含氟廢水與生活污水分類收集,含氟廢水接管至浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠,不進(jìn)入城鎮(zhèn)污加強(qiáng)RTO爐系統(tǒng)運(yùn)行管理,確保RTO爐系統(tǒng)運(yùn)行安全。二、自2022年理和生態(tài)環(huán)境部門要加強(qiáng)對(duì)相關(guān)企業(yè)RTO爐等環(huán)境治理設(shè)施開(kāi)展聯(lián)合執(zhí)序號(hào)1標(biāo)準(zhǔn)要求,且2各級(jí)環(huán)評(píng)審批部門在受理和審批建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)文件的項(xiàng)目類別3建設(shè)單位和環(huán)評(píng)技術(shù)單位在開(kāi)展涉新污染物重點(diǎn)行達(dá)標(biāo)要求。新建項(xiàng)目產(chǎn)生并排放已有排放標(biāo)準(zhǔn)新污染物重點(diǎn)行業(yè),重壬基苯基醚”境的相應(yīng)新污染物監(jiān)測(cè)納入環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)劃,做好跟蹤監(jiān)4重點(diǎn)行業(yè),無(wú)5理建設(shè)內(nèi)容),京市浦口生態(tài)環(huán)境局批復(fù)了《芯德科技高密度系統(tǒng)級(jí)封裝三期項(xiàng)目環(huán)境藝、16.2億顆WBQFN工藝、1.8億顆FCLGA工藝、3億顆WBLGA工(98000m2建設(shè)生產(chǎn)廠房及相關(guān)配套用房等受江蘇芯德半導(dǎo)體科技股份有限公司委托,江蘇遠(yuǎn)世景環(huán)??萍加校ńㄔO(shè)地點(diǎn):江蘇省南京市浦口區(qū)東至云實(shí)路,南至長(zhǎng)晶浦聯(lián)項(xiàng)目地房一/公輔工程廢水和經(jīng)隔油池+化糞池處理后的生量,本次使用70000m3/h密閉負(fù)壓收集后經(jīng)二級(jí)活性炭裝/通過(guò)內(nèi)部管道收集后經(jīng)設(shè)備自帶的等離子分解+水洗預(yù)處理后,經(jīng)“一級(jí)酸霧吸收塔”裝置處理,達(dá)標(biāo)/密閉負(fù)壓+集氣罩收集后經(jīng)“一級(jí)高排氣筒(FQ-3)排放,風(fēng)量/密閉負(fù)壓+集氣罩收集后經(jīng)“次氯酸鈉氧化吸收+堿液噴淋吸收”裝//氣密閉負(fù)壓+集氣罩收集后,經(jīng)二級(jí)///集氣罩收集后經(jīng)靜電油煙凈化裝//進(jìn)入廠區(qū)綜合廢水處理站中和處理后排入浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠。廢水站設(shè)計(jì)處理能力/采用“芬頓氧化+混凝沉淀”預(yù)處理后進(jìn)入廠區(qū)綜合廢水處理站處理后排入浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水/采用“化學(xué)沉淀+混凝沉淀”預(yù)處理后進(jìn)入廠區(qū)綜合廢水處理站處理后排入浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水//淀”預(yù)處理后進(jìn)入廠區(qū)綜合廢水處理站中和處理后排入浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)水采用“pH調(diào)節(jié)+破絡(luò)+混凝+ACF+廢水處理站中和處理后排入浦口/采用“堿性氯化法”預(yù)處理后進(jìn)入廠區(qū)綜合廢水處理站中和處理后排入浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠。預(yù)處理設(shè)施設(shè)計(jì)處理能力/采用“化學(xué)沉淀法”預(yù)處理后進(jìn)入廠區(qū)綜合廢水處理站中和處理后排入浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠。預(yù)處理設(shè)施設(shè)計(jì)處理能力/循環(huán)冷卻系統(tǒng)、廢氣噴淋塔補(bǔ)水入廠區(qū)綜合廢水處理站中和處理后排入浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水/采用隔油池+化糞池處理后排放,///物位于生產(chǎn)廠房一內(nèi)西/位于乙類庫(kù)內(nèi)的東北/建成后可滿足后續(xù)擴(kuò)建爐舍吋的晶圓片,可根據(jù)客戶的不同需求直接包裝成產(chǎn)品或者切割后進(jìn)行g(shù)片0電電域N萬(wàn)顆0A萬(wàn)0萬(wàn)0建設(shè)內(nèi)容線建設(shè)、電鍍流量和產(chǎn)品方案分別見(jiàn)表2-6、表2-7和表2-8。工藝銅鎳銅鎳金錫/um1銅硅1鎳硅1銅硅銀1錫銀硅3銅硅2鎳硅銀1錫銀硅1金硅顆1錫硅本項(xiàng)目單片晶圓為12吋,直徑300mm,單片晶圓面積為=150×150×單片晶圓電鍍面積=70686×10%=7068.6mm2=0.0071m2-6陽(yáng)極和銅電鍍液折合成銅輸入6.167t/a;銅濺射工序物料中銅靶材折合成電鍍銅工序的銅元素去向?yàn)檫M(jìn)入產(chǎn)品的晶圓鍍銅層的量0.375t/a、進(jìn)工序電鍍銅進(jìn)入產(chǎn)品進(jìn)入廢水水(廢水0.15+污進(jìn)入固廢銅濺射進(jìn)入產(chǎn)品進(jìn)入固廢材電鍍鎳工序的鎳元素去向?yàn)檫M(jìn)入產(chǎn)品的晶圓鍍鎳層的量0.034t/a、進(jìn)電鍍鎳層渣錫元素來(lái)源于電鍍錫銀工序物料中的錫銀電鍍液,折合成錫輸入電鍍錫銀工序的錫元素去向?yàn)檫M(jìn)入產(chǎn)品的晶圓鍍錫層的量0.042t/a、錫元素來(lái)源于電鍍錫工序物料中的甲基磺酸錫,折合成錫輸入錫元素去向?yàn)檫M(jìn)入產(chǎn)品的晶圓鍍錫層的量0.566t/a,進(jìn)入固廢的廢槽鍍錫銀94%,錫離酸錫、10%水W電鍍錫5%甲基磺液銀元素來(lái)源于電鍍錫銀工序物料中的錫銀電鍍液,折合成銀輸入電鍍銀工序的銀元素去向?yàn)檫M(jìn)入產(chǎn)品的晶圓鍍銀層的量0.060t/a、進(jìn)工序電鍍銀LF-94%,錫離酸銀、10%水水氰化物來(lái)源于電鍍金工序物料中的氰化金鉀,折合成氰化物輸入進(jìn)入污泥0.00152t/a)、進(jìn)入廢氣0工序電鍍金鉀處理液8膠1附/附刻N(yùn)F3C4F8公輔工程廢水和經(jīng)隔油池+化糞池處理后的生活污水混合由生活污水工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)本項(xiàng)目的Bumping分為Bumping工藝一和Bumping工藝二,屬于平行Bumping工藝一工藝流程圖如圖2-12所示。Bumping工藝二工藝流程圖如圖2-17所示。WBQFN工藝流程如圖2-20所示。WBBGA工藝流程如圖2-22所示。本項(xiàng)目其他廢水產(chǎn)生環(huán)節(jié)主要有噴淋塔產(chǎn)生的含氟廢水(W7-1)、本項(xiàng)目產(chǎn)污環(huán)節(jié)及污染因子匯總見(jiàn)表2-17、表2-18和表2-19。RTO裝置處理,達(dá)標(biāo)后通過(guò)30m高排氣筒/+水洗預(yù)處理后,經(jīng)“一放后經(jīng)“一級(jí)酸霧吸收塔”NOx/放/密閉腔體抽氣收集,經(jīng)/ /氣/放W2-20、W2-22、W2-25、W2-/pH調(diào)節(jié)+破pH調(diào)節(jié)+破UF+RO///水///油//洗//銅鎳/物物物/用銅銅區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀位數(shù)為162μg/m3,超標(biāo)0.01倍,同比下降4.7%,超標(biāo)天數(shù)38天,同比減少GB3095-點(diǎn)任務(wù),持續(xù)實(shí)施PM2.5和O3協(xié)同控制及多污染物協(xié)同減排,深入推進(jìn)求。項(xiàng)目所在地區(qū)域環(huán)境空氣中NOx濃度滿足《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》監(jiān)測(cè)點(diǎn)位坐標(biāo)/°評(píng)價(jià)標(biāo)mg/m3監(jiān)測(cè)結(jié)果濃度范圍mg/m3最大濃度超標(biāo)率%G1南京錦湖輪胎有31.995259NOx一次值0.026~0.0390達(dá)標(biāo)(劣Ⅴ類)斷面。全市主要集中式飲用水水源地水質(zhì)持續(xù)優(yōu)良,逐月水質(zhì)本項(xiàng)目所在地廠界外周邊50m范圍內(nèi)無(wú)聲環(huán)境敏)(站61pH值23456鐵ND7錳8銅9ND鈉汞ND2砷鎘NDND鉛ND鎳鉀/鈣/鎂/錫/銀NDND//m1pH值//是2砷3鎘4ND5銅6鉛7汞8鎳9銀ND//錫//ND//NDNDNDNDNDND9NDNDNDND苯ND4ND5NDND5NDNDNDNDNDNDNDNDNDNDND5NDNDNDNDND萘NDND?NDNDNDNDNDND準(zhǔn)境//污染物排放控制標(biāo)準(zhǔn)廢氣種類有組織廢氣//////NOx///NOx1),),基——大氣污染物基準(zhǔn)排放濃度,單位為mg/m3;實(shí)——實(shí)測(cè)大氣污染物排放濃度,單位為mg/m3?!跺仩t大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB32/4385-值二氧化硫、氟化物、NOx、錫及其化合物和非甲烷總烴廠區(qū)內(nèi)無(wú)組織排放執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》NOx氨NMHC64041-2021)中表2理,接管標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)執(zhí)行《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB32/374浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠一期二階段建設(shè)pH值6~96~96公輔工程廢水和經(jīng)隔油池+化糞池處理后的生活污水混合由生活污水排口接管至浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)污水處理廠集中處理,尾水經(jīng)高旺河排入長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn);總氮、總磷接管執(zhí)行《污水排入城鎮(zhèn)下水道水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》(GB行《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3838-2002)Ⅳ類標(biāo)準(zhǔn);總氮執(zhí)pH值6~96~918—m3/片1電導(dǎo)率(μs/cm)21廠界噪聲排放執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12348-2總量控制指標(biāo)顆粒物:0.1867t/a、二氧化硫:0氟化物:0.009t/a、氰化氫:0.007t/a、油煙:0/////////////SS:84.94t/a/4.40t/a、NH3-N:4.72t/a/0.66t/a、TP:0.78t/a/0.13t/a9.32t/a/4.40t/a、總銅:0.07t/a/0.07t/a、總鎳:0.0033t/a/0.0033t/a、總錫:4399900439990439990pH////NH3-N00pH////NH3-N施工期環(huán)境保護(hù)措施本項(xiàng)目施工期主要對(duì)建設(shè)生產(chǎn)廠房和配套的公輔設(shè)施用房等建設(shè)工本項(xiàng)目施工期的固體廢物主要為建筑垃圾及施工人員產(chǎn)生的生活垃運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施(5)含氰廢氣:來(lái)源于電鍍金工序,主要污染因子為氰化氫,廢氣通過(guò)密閉負(fù)壓+集氣罩收集后經(jīng)“次氯酸鈉氧化吸收+堿液噴淋吸收”裝置(6)煙塵廢氣:來(lái)源于打印工序,主要污染因子為顆粒物,廢氣通(7)危廢庫(kù)廢氣:來(lái)源于危廢庫(kù)儲(chǔ)存的危險(xiǎn)廢物揮發(fā)的有機(jī)廢氣,主要污染因子為非甲烷總烴,廢氣通過(guò)密閉負(fù)壓+集氣罩收集后經(jīng)二級(jí)活(9)鍋爐廢氣:來(lái)源于燃?xì)忮仩t燃燒過(guò)程,主要污染因子為二氧化氣理,達(dá)標(biāo)后通過(guò)30m高排氣筒(FQ-2)排放。解、水洗預(yù)處理后經(jīng)“一廢氣通過(guò)密閉負(fù)壓+集氣罩收集后經(jīng)“次氯酸鈉氧化吸收+堿液噴淋吸收”裝濾裝置處理,達(dá)標(biāo)后通過(guò)氣放氣目所需的物料,采用密閉儲(chǔ)罐或儲(chǔ)桶形式儲(chǔ)存,至生產(chǎn)線各個(gè)工序。集中供液間內(nèi)分酸性物料儲(chǔ)區(qū)域。酸性物料儲(chǔ)存區(qū)域主要貯存銅腐蝕液、鈦刻膠、負(fù)性光刻膠等有機(jī)物料。由于儲(chǔ)罐及儲(chǔ)桶態(tài),僅在打開(kāi)儲(chǔ)罐或儲(chǔ)桶進(jìn)料口進(jìn)行補(bǔ)充物料時(shí)散發(fā)出來(lái)。類比江蘇芯德半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)48萬(wàn)片大尺寸晶號(hào)該項(xiàng)目中集中供液情況與本項(xiàng)目一致,揮發(fā)量約為余量酸性廢氣/含量VOCs氣/本項(xiàng)目的有機(jī)廢氣主要產(chǎn)生于涂布/固化、曝光/顯影、去膠、臨時(shí)鍵有機(jī)溶劑在半導(dǎo)體制造中的揮發(fā)量通常占使用量的10%-30%。本評(píng)價(jià)按運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施中顆粒物產(chǎn)污系數(shù)為0.3638g/kg焊料。本項(xiàng)目錫膏和助焊劑總使用量為率可達(dá)到99%以上,因此本評(píng)價(jià)按99%核算。本項(xiàng)目的錫及其化合物排涂布/固化、曝光/顯影、封/烘烤、晶烤、注塑/固化、設(shè)備清烴醇1烴運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施鍍》(HJ984-2018)附錄B表B.1,室溫下含硫酸的溶液中鍍銅、鍍錫、另外,氨基磺酸和甲基磺酸均為難揮發(fā)性酸,沸點(diǎn)分別為209℃和Gs-單位鍍槽液面面積單位時(shí)間廢氣污染物產(chǎn)生量,g/A/m221銀11NOx本項(xiàng)目在各個(gè)電鍍槽體設(shè)置密閉負(fù)壓+集氣罩收集裝置,并將電鍍生法對(duì)酸性廢氣的去除效率的理論值為:硫酸霧罩收集+“一級(jí)酸霧吸收塔”裝置5//NOx運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施Gs-單位鍍槽液面面積單位時(shí)間廢氣污染物產(chǎn)生量,g/A/m21本項(xiàng)目在各個(gè)槽體設(shè)置密閉負(fù)壓+集氣罩收集裝置,并將電鍍生產(chǎn)線“次氯酸鈉氧化吸收+堿液噴淋吸收”裝置處理,達(dá)標(biāo)后經(jīng)30m高排氣筒采用噴淋塔吸收氧化法對(duì)氰化氫的去除效率為90%~96%,本項(xiàng)目去除效率按90%核算。含氰廢氣產(chǎn)排情況見(jiàn)表4-9。氫液噴淋置運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施4NF3+3SiO2→3SiF4+2N2O+4CxFy+yCH4+(4x+y)O2→4yHF+(4x系統(tǒng)進(jìn)行處理轉(zhuǎn)化為可被吸收的酸性氣體。根據(jù)建設(shè)單位提供的技術(shù)資副產(chǎn)物一并進(jìn)入設(shè)備自帶的“等離子分解+水洗”裝置預(yù)處理,經(jīng)一級(jí)酸霧1體23NF34C4F856NH3NF37N2OC4F8NH3N2O物一級(jí)酸塔霧5運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施調(diào)查產(chǎn)排污核算方法和系數(shù)手冊(cè)》中“機(jī)械行業(yè)系數(shù)手冊(cè)”—天然氣工業(yè)爐kg/m3kg/m3kg/m3注:S為收到基硫分,本項(xiàng)目采用商用天然氣,商用天然氣規(guī)范要求含硫率為/庫(kù)的揮發(fā)性有機(jī)物產(chǎn)生量為有機(jī)廢液產(chǎn)生量的1‰。廢氣的收集效率為密閉負(fù)壓+集氣罩收集后經(jīng)二級(jí)活性炭處理,達(dá)標(biāo)后通過(guò)15m高排氣筒和系數(shù)手冊(cè)》中“工業(yè)鍋爐(熱力生產(chǎn)和供應(yīng)行業(yè))系數(shù)手冊(cè)”—燃?xì)夤I(yè)mmh/物放速率沸石轉(zhuǎn)輪裝置故障烴醇障烴“一級(jí)酸霧霧霧霧NOx氫物霧氫烴);非甲烷總烴、異丙醇、錫及涂布/固化、曝/烘烤、晶粒粘貼/烘烤、注塑/固化、設(shè)備清洗、集中供液燒法、其他+RTO裝置石轉(zhuǎn)輪濃縮符合濃縮+燃?xì)夥羌淄榭偀N炭氣烴炭的廢氣,通過(guò)脫附風(fēng)機(jī)送入RTO??紤]廢氣濃度較低,轉(zhuǎn)輪濃縮比按照滿足相關(guān)排放要求??紤]到節(jié)省燃料消耗,RTO并使氣體得以凈化的設(shè)備。它把含塵量低的氣流凈化處理后送入后續(xù)工123456本系統(tǒng)為保障沸石轉(zhuǎn)輪的正常使用功能與設(shè)計(jì)壽命,采用G4/F7/F9/沸石濃縮轉(zhuǎn)輪是一個(gè)變溫吸附裝置,可連續(xù)去除低濃度廢氣里的吸附劑,再用熱風(fēng)將吸收的VOC進(jìn)行釋放過(guò)濾器可去除多余的灰塵與顆粒物。接著廢氣通過(guò)轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)的處理區(qū),VOCs在該處理區(qū)被吸收;凈化后的空氣進(jìn)廢氣里的一小部分提供給冷卻區(qū)。在冷卻區(qū),空123440~88mg/m356789體升溫而“蓄熱”,此“蓄熱”用于預(yù)熱后續(xù)進(jìn)入的有機(jī)廢氣。從而節(jié)省廢氣蓄熱室依次經(jīng)歷蓄熱-放熱-清掃等程序,周而復(fù)始,連續(xù)工作。是一種用123456789~48t法工業(yè)有機(jī)廢氣治理工程技術(shù)規(guī)范》(HJ2026-2013)中凈化效率不低于1234000*3000*20004000*2000*200045進(jìn)口溫度(℃)6789FQ-402轉(zhuǎn)輪濃縮,可去除收集的廢氣內(nèi)的顆粒物,防止堵塞沸石填料,有利于根據(jù)《江蘇富樂(lè)德半導(dǎo)體科技有限公司420萬(wàn)片/年半導(dǎo)體功率模塊),F(xiàn)Q-2排氣筒編號(hào)監(jiān)測(cè)時(shí)污染物名稱處理前處理后凈化效果%煙氣量(Nm3/h)平均濃度(mg/m3)平均速(kg/h)煙氣量(Nm3/h)平均濃度(mg/m3)平均速(kg/h)FQ-22019.6.15NMHC498612.110.060448400.005191.62019.6.16NMHC512317.470.089550030.005493.9驗(yàn)收檢測(cè)結(jié)果顯示,二級(jí)活性炭對(duì)非甲烷總烴去除效率可達(dá)90%以廢氣,PEVCD和硅蝕刻工序會(huì)產(chǎn)生含氟廢氣和硫酸霧。酸性廢氣和吸收+堿液噴淋吸收處理后排放。本項(xiàng)目采用的酸性廢氣、含氰廢氣和含廢供液間堿性處理系NO+強(qiáng)氧化劑→NO2NO+NO2+NaOH→2NaNO3+H2O本項(xiàng)目產(chǎn)生的含氰廢氣采用次氯酸鈉氧化吸收+堿液吸收法處理,使1塔(2)除霧層:φ50多面空心球*H600mm*1層):23pH在線控制儀,0-14儲(chǔ)藥桶:PE材質(zhì),1000L*2,配4567戶外防雨型烤漆鋼板制作:1400*701塔(2)除霧層:φ50多面空心球*H600mm*1層):23pH在線控制儀,0-144567戶外防雨型烤漆鋼板制作:1400*70根據(jù)《江蘇富樂(lè)德半導(dǎo)體科技有限公司420萬(wàn)片/年半導(dǎo)體功率模塊),污染源污染物治理措施排放方式氧化、前處理硫酸霧、HCl二級(jí)堿噴淋裝置處理FQ-1微蝕、后處理酸洗排氣筒編號(hào)監(jiān)測(cè)時(shí)污染物名稱處理前處理后凈化效果%煙氣量(Nm3/h)平均濃度(mg/m3)平均速(kg/h)煙氣量(Nm3/h)平均濃度(mg/m3)平均速(kg/h)FQ-12019.4.12硫酸霧HCl169233.270.055310900ND—96.1%2019.4.13硫酸霧HCl145933.720.054311933ND—95.6%驗(yàn)收檢測(cè)結(jié)果顯示,堿液噴淋塔對(duì)酸性的廢氣處理效率可達(dá)95%以本項(xiàng)目廢氣通過(guò)廢氣收集系統(tǒng),分質(zhì)送至各廢氣處理設(shè)施后達(dá)標(biāo)排mmh1口主要排口2般3口般排口4口般排口5口般排口6般排口7口般排口8口般排口9口般排口本項(xiàng)目根據(jù)廢氣處理裝置運(yùn)行情況和污染物性質(zhì),共設(shè)置8個(gè)排氣經(jīng)計(jì)算,本項(xiàng)目建成后全廠所有排氣筒煙氣排放速率為14.17~“排氣筒的出口直徑應(yīng)根據(jù)出口流速確定,流速宜取15m/s左右?!钡募夹g(shù)要求,因此是可行的。②倉(cāng)庫(kù)至車間的固體物料采用密封袋運(yùn)送,液體物料采用密封桶運(yùn)②倉(cāng)庫(kù)至車間的固體物料采用密封袋運(yùn)送,液體物料采用密封桶運(yùn)根據(jù)美國(guó)納德提出將臭氣感覺(jué)強(qiáng)度從“無(wú)氣味”到“臭氣強(qiáng)度極強(qiáng)01234100),1烴2烴2霧霧NOx345烴6///789個(gè)監(jiān)測(cè)點(diǎn),下點(diǎn)烴烴裝產(chǎn)品,均為先進(jìn)封裝產(chǎn)品,對(duì)照《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》),位產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量核算為0.2374m3/片,滿足DB32/3747-2影水銀磨析室-水/////路探針卡生產(chǎn)基地項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表(寧環(huán)(浦)),有機(jī)廢水主要污染物及產(chǎn)生濃度為pH(無(wú)量綱)—<6~9、COD—有機(jī)廢水經(jīng)芬頓氧化+混凝沉淀預(yù)處理后進(jìn)入廠區(qū)綜合廢水處理站,處理本項(xiàng)目酸堿廢水來(lái)源于蝕刻、化驗(yàn)工序以及廢氣堿噴淋塔排放的廢氣洗滌塔排水頻次為4次/月,單次排水量為5t,則該套裝置排水量為廢水經(jīng)化學(xué)沉淀+混凝沉淀預(yù)處理后進(jìn)入廠區(qū)綜合廢水處理站,處理達(dá)標(biāo)含鎳廢水來(lái)源于鍍鎳工序。根據(jù)表4-37可知,含鎳廢水排放量為為9331t/a,類比江蘇芯德科技先進(jìn)封測(cè)基地項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表(寧環(huán)破絡(luò)+混凝+ACF+樹(shù)脂吸附預(yù)處理后進(jìn)入廠區(qū)綜合廢水處理站,處理達(dá)標(biāo)?含氰廢水2L/m3,則噴淋塔循環(huán)量為10t/h,年工作時(shí)間8640h,則總循環(huán)水量為線建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表(寧環(huán)(浦)建〔202類比南京云極芯半導(dǎo)體科技有限公司集成電路探針卡生產(chǎn)基地項(xiàng)目),濃度為pH(無(wú)量綱)—<610、COD—350mg/L、SS—30),),過(guò)自動(dòng)排水損耗,循環(huán)冷卻系統(tǒng)補(bǔ)充水量約為378432t/a,其中磨劃廢水65%(30560t/a)回用于循環(huán)冷卻系統(tǒng),則循環(huán)冷卻系統(tǒng)新鮮水用量為),@無(wú)塵車間排水設(shè)備。補(bǔ)水裝置是由液位及電導(dǎo)控制,電導(dǎo)上限為150us/cm、下限為間補(bǔ)充水量為15550t/a(其中6306t/a為磨劃廢水回用水,新鮮用水為),中存在損耗,排污系數(shù)以0.8計(jì),純水系統(tǒng)沖洗廢水為20t/a。類比江蘇芯200mg/L、NH3-N—55mg/L、TP—10mg/L、TN—75mg/L、動(dòng)植物油—本項(xiàng)目廢水污染物源強(qiáng)核算見(jiàn)下表4-38、4-39和4-40。運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施水6//6~981總氮年排放量=(10×312485×5/12×10-6)+(5×312485×7/123pH調(diào)節(jié)+破絡(luò)+重捕+混凝沉淀4統(tǒng)pH調(diào)節(jié)+破絡(luò)+混凝+ACF+樹(shù)脂吸附567UF+RO8本項(xiàng)目廢水排放實(shí)行清污分流、雨污分流體制。各廢水處理措施符合污染防治可行技術(shù)指南和排污許可技術(shù)規(guī)范中可行技術(shù)是pH調(diào)節(jié)+破絡(luò)+破絡(luò)+重捕+混凝沉淀屬于HJ2198-2023中推薦的),水pH調(diào)節(jié)+破絡(luò)+破絡(luò)+混凝沉淀屬于HJ2198-2023中推薦的污染),堿性氯化處理技術(shù)、過(guò)氧化氫氧化處理技術(shù)、臭氧氧化是是/UF+ROUF+RO是兩種膜技術(shù)的結(jié)合,能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)污水中懸浮固體、膠體物質(zhì)、溶解有機(jī)物等的完全攔/是技術(shù)正是一種高級(jí)氧化技術(shù),其實(shí)質(zhì)是H2O2在Fe2+的催化作用下生成具有高反應(yīng)活性的羥基自由基(·OH),·OH可與大多數(shù)有NH3-N3處理效1234123412341234pH//498994NH3-N附,繼續(xù)去除水體中銅。反應(yīng)后的混合液進(jìn)入沉淀槽進(jìn)行固液分離,上清液流入后續(xù)處理工藝進(jìn)行處理,沉淀槽的污泥輸送至含NH3-N4648池自然沉降,澄清液由輸送泵排入疊片式過(guò)濾。序批次反應(yīng)槽的水力濾出水入中間槽暫存,含鎳廢水用泵輸入后深度砂炭過(guò)濾→重金屬樹(shù)脂吸附過(guò)濾,并在重金屬樹(shù)脂吸附過(guò)濾出水處安裝在線監(jiān)測(cè)儀,在線連續(xù)檢測(cè)鎳值,如果水質(zhì)檢測(cè)達(dá)到<0.5mg/L廢水排放標(biāo)準(zhǔn),排入綜合廢水處理站;如果水準(zhǔn),則關(guān)閉排水閥并打開(kāi)輸送泵,將不達(dá)標(biāo)廢水通過(guò)輸送泵排至應(yīng)急水池暫時(shí)貯存,然后再用輸送泵定期將該廢水打回含鎳廢水NH3-NpH調(diào)節(jié)+破絡(luò)+重捕+混凝5根據(jù)《南通通富微電有限公司新建扇出型(Fan-out)封裝生產(chǎn)線項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告表》,含鎳廢水預(yù)處理系統(tǒng)866876助疊片式過(guò)濾。序批次反應(yīng)槽的水力停留時(shí)間按總水量計(jì)算均為480水用泵輸入后再經(jīng)過(guò)ACF過(guò)濾(活性炭過(guò)濾器)+重金屬樹(shù)脂吸附過(guò)濾,并在含錫銀離子,如果水質(zhì)檢測(cè)達(dá)到<0.3mg/L廢水排放標(biāo)準(zhǔn),排入綜合廢水處理站;如果水質(zhì)檢測(cè)>0閥并打開(kāi)輸送泵將不達(dá)標(biāo)廢水通過(guò)輸送泵至應(yīng)急水池暫時(shí)貯存,然后再用輸送泵定期將該廢水打回含銀廢水處理系統(tǒng)再次進(jìn)行處pH調(diào)節(jié)+破絡(luò)+混凝+ACF+樹(shù)脂吸附/80%是可行的,具體檢測(cè)數(shù)據(jù)見(jiàn)表4-50。pH(無(wú)量綱)///////<8×10-5<8×10-56.1×10-4<8×10-5///pH(無(wú)量綱)//是是<8×10-5<8×10-5<8×10-5<8×10-5<8×10-5//pH(無(wú)量綱)///////<8×10-5<8×10-5<8×10-5<8×10-5<8×10-5///pH(無(wú)量綱)//是是<8×10-5<8×10-5<8×10-5<8×10-5<8×10-5///下,借助漂白粉的作用將廢水的氰化物轉(zhuǎn)變?yōu)槎趸己偷獨(dú)?。含氰廢水進(jìn)入調(diào)節(jié)池后通過(guò)泵輸送至破氰反應(yīng)槽,先加入NaOH根據(jù)《南通通富微電有限公司智能電源芯片封裝表面處理中心改擴(kuò)建項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告表》,含氰廢水預(yù)處理率分別取90%、60%、80%是可行的,67pH調(diào)節(jié)呈堿性,改變?cè)男再|(zhì),然后投加CaCl2藥劑,生成氟化鈣沉淀,NH3-N8666磨劃廢水經(jīng)疊片、管膜后進(jìn)入U(xiǎn)F過(guò)濾,UF膜為超濾級(jí)別,超濾膜分提純的分離技術(shù)。它利用具有選擇透過(guò)能力的薄膜做分離介質(zhì),膜壁密布微孔,原液在一定壓力下通過(guò)膜的一側(cè),溶劑及小分子溶質(zhì)透過(guò)膜壁為濾出液,而較大分子的溶質(zhì)被膜截留,從而達(dá)到物質(zhì)分離及濃縮的目的。膜分離過(guò)程為動(dòng)態(tài)過(guò)濾過(guò)程,大分子溶質(zhì)被膜壁阻隔,隨濃縮液流出膜組件,膜不易被堵塞,可連續(xù)長(zhǎng)期使用。過(guò)濾過(guò)程可在常溫、低壓下運(yùn)行,無(wú)相態(tài)變化,高效節(jié)根據(jù)《南通通富微電有限公司新建扇出型(Fan-out)封裝生產(chǎn)線項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告表》,磨劃廢水預(yù)處理系統(tǒng)45%是可行的,具體檢測(cè)數(shù)據(jù)見(jiàn)表4-56。66運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施知,有電鍍工序的電子工業(yè)排污單位,適用于本標(biāo)準(zhǔn)。對(duì)照《固定污染源排位名錄的屬于重點(diǎn)管理,江蘇芯德半導(dǎo)體科技股份有限公司屬于南京市環(huán)境WS01WS02口WS03WS04(DB32/3747-2020)本項(xiàng)目生產(chǎn)廢水由生產(chǎn)廢水排口接管至南京浦理廠集中處理,公輔工程廢水和生活污水由生活浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠位于浦口經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū),該污水處理廠一期已于2018年10月通過(guò)環(huán)保驗(yàn)收并正式投入運(yùn)行。浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)),根據(jù)《浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠一期二階段建設(shè)工程環(huán)境影響報(bào)告書》,一期二階段項(xiàng)目建設(shè)內(nèi)容包括現(xiàn)有項(xiàng)目(一期一階段)技術(shù)改造和處理規(guī)模為3×104立方米/天。二階段廢水處理采用“均質(zhì)調(diào)節(jié)+兩級(jí)高效澄清系統(tǒng)+強(qiáng)化水解酸化+兩級(jí)AO+MBR+臭氧接觸氧化+高效沉淀池+反硝化深床一期一階段技術(shù)改造內(nèi)容包括部分構(gòu)筑物改造、尾水提標(biāo)改造以及玉蓮河生態(tài)緩沖區(qū)改造。一階段吸附濾池出水接入二階段高效沉淀池,與二階段廢水一并深度處理,經(jīng)同一排口排放,排放標(biāo)準(zhǔn)提高至與二階段相同;經(jīng)排放口排至玉蓮河生態(tài)緩沖區(qū),經(jīng)石磧河最終匯入長(zhǎng)江;中水回用規(guī)模為南京浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠作為橋林新城區(qū)唯一的工業(yè)廢水處理廠,負(fù)責(zé)整個(gè)橋林新城沿山大道以南區(qū)域的工業(yè)廢水處理。一期二階段主要收集園區(qū)內(nèi)臺(tái)積電(南京)有限公司、華天科技(南京)有南京浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠目前運(yùn)行穩(wěn)定,污水經(jīng)過(guò)處理后,尾水能夠穩(wěn)定達(dá)標(biāo),排入玉蓮河,并最終通過(guò)石磧河排入長(zhǎng)江,對(duì)地表水環(huán)能力20000t/d,建成后全廠處理規(guī)模為30000t/d剩余處理量的8.7%。故從工業(yè)廢水接管量分析,本項(xiàng)目工業(yè)廢根據(jù)上文分析可知,項(xiàng)目接管水質(zhì)優(yōu)于浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠接管標(biāo)準(zhǔn),浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠目前進(jìn)水和出水水質(zhì)未出現(xiàn)超標(biāo)情況,因此本項(xiàng)目生產(chǎn)廢水能夠接入浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠,不會(huì)根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)踏勘,污水處理廠管網(wǎng)已經(jīng)鋪設(shè)至企業(yè)所在區(qū)域,并已實(shí)現(xiàn)污綜上,從接管水量、水質(zhì)、管網(wǎng)鋪設(shè)等角度分析,本項(xiàng)目生產(chǎn)廢水排入本項(xiàng)目循環(huán)冷卻廢水、無(wú)塵車間排水、純水制備濃水、純水系統(tǒng)清洗廢水和經(jīng)隔油池+化糞池處理后的生活污水混合經(jīng)生活污水排口接管至浦口經(jīng)本次新建項(xiàng)目中生活污水(含公輔工程廢水)接入南京浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)污水處理廠(即江蘇華水污水處理有限公司)集中處理。廢水接管標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行也應(yīng)符合浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)污水處理廠設(shè)計(jì)接管水質(zhì)要求;污水處理廠尾水排南京浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)污水處理廠位于南京市浦口區(qū)開(kāi)發(fā)區(qū)高旺河下游入):):等電子工業(yè)生產(chǎn)廢水外,其余生活污水及工業(yè)企業(yè)的水解酸化+AAO+MBBR工藝+反硝化濾池工藝+臭南京市生態(tài)環(huán)境局,寧環(huán)建〔2013〕140號(hào)浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)污水處理廠出水水質(zhì)執(zhí)行《地表水環(huán)疊螺+板框脫水與江蘇信寧新型材料有限公浦口開(kāi)發(fā)區(qū)污水處理廠進(jìn)廠污水經(jīng)粗格柵去除污水中較大的漂浮物后進(jìn)入進(jìn)水泵房,通過(guò)進(jìn)水泵提升后流入細(xì)格柵及曝氣沉砂池,以去除比較小的漂浮物、油類及砂粒。經(jīng)沉砂處理后污水進(jìn)入預(yù)處理酸化水解沉淀池,經(jīng)酸理系統(tǒng)處理。二沉池出水經(jīng)中間提升泵房提升后進(jìn)入高效沉淀池,在高效沉淀池內(nèi)混凝沉淀處理后至濾布濾池,經(jīng)過(guò)濾后出水進(jìn)入加氯接觸池,經(jīng)消毒浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)污水處理廠現(xiàn)狀尾水通過(guò)高旺河入長(zhǎng)江南京騷狗山~江浦與浦口交界(七里河口)段,遠(yuǎn)期再生水回用至開(kāi)發(fā)區(qū)百合湖作為生態(tài)補(bǔ)高旺河水質(zhì)執(zhí)行《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(G污水處理廠收水范圍為整個(gè)開(kāi)發(fā)區(qū)沿山大道以南區(qū)域的污水處理,服務(wù)水處理廠主要收集處理園區(qū)內(nèi)除電子工業(yè)企業(yè)外其他企業(yè)工業(yè)廢水和園區(qū)內(nèi)污水處理廠目前正常運(yùn)營(yíng),開(kāi)發(fā)區(qū)內(nèi)已開(kāi)發(fā)地塊管網(wǎng)已建設(shè)完善,主要沿浦烏公路、雙峰路、龍港路、豐子河路等敷設(shè),能保證區(qū)內(nèi)已建項(xiàng)目污水新星大道等敷設(shè)污水管網(wǎng),繼續(xù)完善區(qū)內(nèi)污水管網(wǎng),保證后續(xù)可入?yún)^(qū)項(xiàng)目污浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)污水處理廠一期工程污水處理采用水解酸化+A2/O工藝物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB18918-2002)一級(jí)A標(biāo)準(zhǔn),COD、氨氮、總設(shè)進(jìn)度與本項(xiàng)目的建設(shè)周期,待本項(xiàng)目投產(chǎn)運(yùn)營(yíng)時(shí),一期二階段工程已完成建設(shè),且本項(xiàng)目廢水接管水量868t/d,并非在運(yùn)營(yíng)初期即可立即達(dá)到。因此@水質(zhì)接管可行性分析南京浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)污水處理廠一期處理工藝為A2/O法+深度處理+MBBR工藝+反硝化濾池工藝+臭氧接觸池工藝,主要針對(duì)城市生活污水和生產(chǎn)廢水的處理。目前南京浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)污水處理廠處理系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定,從水質(zhì)上看,本項(xiàng)目廢水接管至南京浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)污水處理廠是可行的,處理工藝適用性等方面分析,本項(xiàng)目廢水排入南京浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)污水處理項(xiàng)目噪聲主要來(lái)自生產(chǎn)設(shè)備、空壓機(jī)、風(fēng)機(jī)等設(shè)備運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的機(jī)械噪XYZ1Q1=140000m3/h23時(shí)456789塔建筑物名稱/dBXYZ/dB1生產(chǎn)車間PolarisB630震234VF-57005VSP-88D-Neo16789UltraCpr335DGP8761-AU-901CYF-75SOSP/3目噪聲屬于室內(nèi)點(diǎn)聲源。室內(nèi)聲源采用等效室外聲源聲功率級(jí)法進(jìn)行計(jì)夜間晝間夜間晝間夜間晝間夜間晝間夜間晝間夜間//////達(dá)標(biāo)///////達(dá)標(biāo)///////達(dá)標(biāo)///////達(dá)標(biāo)/業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12348-2008)中的3類標(biāo)準(zhǔn):晝間料,產(chǎn)生量約為0.035t/a,屬于危險(xiǎn)廢物,收集后委托有資質(zhì)單位進(jìn)行處?含鎳污泥:本項(xiàng)目含鎳廢水進(jìn)入預(yù)處理設(shè)施,廢水處理量為?含錫銀污泥:本項(xiàng)目含錫銀廢水進(jìn)入預(yù)處理設(shè)施,廢水處理量為?有機(jī)廢水污泥:本項(xiàng)目有機(jī)廢水進(jìn)入預(yù)處理設(shè)施,廢水處理量為則有機(jī)廢水污泥產(chǎn)生量80t/a。屬于危險(xiǎn)廢物,收集后委托有資質(zhì)單位處?磨劃廢水污泥:本項(xiàng)目磨劃廢水進(jìn)入預(yù)處理設(shè)施,廢水處理量為則磨劃廢水污泥產(chǎn)生量26t/a。屬于危險(xiǎn)廢物,收集后委托有資質(zhì)單位處⑥酸堿污泥:本項(xiàng)目綜合廢水進(jìn)入預(yù)處理設(shè)施,廢水處理量為⑩含氰污泥:本項(xiàng)目含氰廢水進(jìn)入預(yù)處理設(shè)施,廢水處理量為⑦含氟污泥:本項(xiàng)目含氟廢水進(jìn)入預(yù)處理設(shè)施,廢水處理量為t—運(yùn)行時(shí)間,單位h/d充量為400kg,動(dòng)態(tài)吸附量取10%,本項(xiàng)目合計(jì)削減濃度0.88mg/m3,廢鎳陽(yáng)極產(chǎn)生量為0.2t/a。廢鎳陽(yáng)極屬于一般固體廢物,經(jīng)建設(shè)單位收集廢錫陽(yáng)極產(chǎn)生量為0.3t/a。廢錫陽(yáng)極屬于一般固體廢物,經(jīng)建設(shè)單位收集√√√銅√鎳√√√錫√汞√√√√√√等√√√√4√√4√√√√√√等1√銅3√2√√錫√√√√√√√√√/√運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施1置234銅收5鎳678錫9汞置42用1銅32錫運(yùn)1HW06廢有機(jī)溶劑與含有機(jī)溶劑收2HW06廢有機(jī)溶劑與含有機(jī)溶劑3HW06廢有機(jī)溶劑與含有機(jī)溶劑4渣HW17表面處理廢物(336-058-銅T5渣HW17表面處理廢物(336-055-鎳T6HW17表面處理廢物(336-063-T7渣HW17表面處理廢物(336-057-T8渣HW17表面處理廢物(336-063-錫T9HW29含汞廢物(900-023-2汞THW17表面處理廢物(336-058-THW17表面處理廢物(336-055-THW17表面處理廢物(336-058-理THW49其他廢物(772-006-4HW49其他廢物(772-006-4HW49其他廢物(772-006-4HW17表面處理廢物(336-057-HW49其他廢物(772-006-4HW13有機(jī)樹(shù)脂類廢物(900-THW49其他廢物(900-039-44THW49其他廢物(900-041-4HW49其他廢物(900-047-42HW08廢礦物油與含礦物油廢物HW49其他廢物(900-041-4本項(xiàng)目擬在乙類庫(kù)一層新建160m2的危廢暫存間,危廢暫存間根據(jù)建設(shè)單位承諾本項(xiàng)目產(chǎn)生的危險(xiǎn)廢物委托有危險(xiǎn)廢物運(yùn)輸資質(zhì)的單在確保提出措施落實(shí)完成的情況下危廢廠內(nèi)輸送不會(huì)對(duì)周邊環(huán)境造12346526271819551⑤警示標(biāo)識(shí):建設(shè)單位應(yīng)當(dāng)按照《環(huán)境保護(hù)圖形標(biāo)志-固體廢物貯存指定專人專職維護(hù)視頻監(jiān)控設(shè)施運(yùn)行,定期巡視并做好相應(yīng)的監(jiān)控運(yùn)行、施完好無(wú)損,確保視頻傳輸圖像清晰、監(jiān)控設(shè)備正常穩(wěn)定運(yùn)行。因維修、更換等原因?qū)е卤O(jiān)控設(shè)備不能正常運(yùn)行的,應(yīng)采取人工攝像等應(yīng)急措物出入庫(kù)交接記錄內(nèi)容應(yīng)按照《危險(xiǎn)廢物收集貯存運(yùn)輸技術(shù)規(guī)范》(3)制定嚴(yán)格的操作規(guī)程,操作人員進(jìn)行必要的安全培訓(xùn)后方可進(jìn)(4)建設(shè)單位為固體廢物污染防治的責(zé)任主體,企業(yè)應(yīng)建立風(fēng)險(xiǎn)管境風(fēng)險(xiǎn)潛勢(shì)為Ⅲ級(jí),地表水、地下水環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)潛勢(shì)均為Ⅱ級(jí)。按照《建設(shè)企業(yè)需建立各種有關(guān)消防與安全生產(chǎn)的規(guī)章制度,建立了崗位責(zé)任

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