ICS13.060.25

CCSP41

DB11

北京市地方標(biāo)準(zhǔn)

DB11/T1764.8—2021

用水定額第8部分：集成電路

Normofwaterintake—Part8:Integratedcircuit

2021-12-28發(fā)布2022-04-01實(shí)施

北京市市場(chǎng)監(jiān)督管理局發(fā)布

DB11/T1764.8—2021

目次

前言.................................................................................II

1范圍.................................................................................1

2規(guī)范性引用文件.......................................................................1

3術(shù)語(yǔ)和定義...........................................................................1

4計(jì)算方法.............................................................................1

5用水定額.............................................................................2

6管理要求.............................................................................2

附錄A（資料性）北京市集成電路制造企業(yè)年度用水信息表.................................4

I

DB11/T1764.8—2021

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起

草。

本文件是DB11/T1764《用水定額》的第8部分。DB11/T1764已經(jīng)發(fā)布了以下部分：

——第2部分：蔬菜和中藥材；

——第13部分：白酒和啤酒；

——第15部分：整車(chē)制造；

——第16部分：中成藥；

——第18部分：水泥；

——第19部分：乳制品；

——第20部分：調(diào)味品與發(fā)酵制品；

——第22部分：焙烤食品；

——第28部分：機(jī)關(guān)；

——第30部分：洗車(chē)；

——第32部分：餐飲；

——第35部分：高爾夫球場(chǎng)；

——第39部分：地鐵站；

——第40部分：客運(yùn)站；

——第42部分：居民生活。

本文件由北京市經(jīng)濟(jì)和信息化局和北京市水務(wù)局提出并歸口。

本文件由北京市經(jīng)濟(jì)和信息化局和北京市水務(wù)局組織實(shí)施。

本文件起草單位：中國(guó)航空綜合技術(shù)研究所、中芯北方集成電路制造（北京）有限公司、北京燕東

微電子有限公司、賽萊克斯微系統(tǒng)科技（北京）有限公司、瑞薩半導(dǎo)體(北京)有限公司、威訊聯(lián)合半導(dǎo)

體(北京)有限公司、中芯國(guó)際集成電路制造(天津)有限公司、北京市通州區(qū)水資源與節(jié)約用水事務(wù)中心、

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化研究院。

本文件主要起草人：賈愛(ài)娟、李鶴、李亞健、馬傳輝、馮鐵成、崔妍、藺增金、葛明、趙延明、徐

伯珺、魏會(huì)敏、齊紅、王雨欣、王雪琪、翟光耀、王晶、白雪、白巖、胡夢(mèng)婷。

II

DB11/T1764.8—2021

用水定額第8部分：集成電路

1范圍

本文件規(guī)定了集成電路用水定額的計(jì)算方法、用水定額和管理要求。

本文件適用于集成電路制造企業(yè)的用水管理。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB/T12452企業(yè)水平衡測(cè)試通則

DB11/T343節(jié)水器具應(yīng)用技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)

DB11/T1769用水單位水計(jì)量與統(tǒng)計(jì)管理規(guī)范

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。

芯片制造chipmanufacturing

將硅片制成集成電路芯片成品的過(guò)程。

注：芯片制造工藝過(guò)程主要包括硅片研磨、清洗、薄膜電極、均膠、光刻、顯影、刻蝕（包括干法刻蝕和濕法刻蝕）、

擴(kuò)散/離子注入、氣相沉積（包括物理氣相沉積（PVD）和化學(xué)氣相沉積（CVD））、金屬化、化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)

等，經(jīng)過(guò)多次類(lèi)似的工藝加工過(guò)程，形成晶體管等元器件圖形結(jié)構(gòu)，并通過(guò)金屬化連接以構(gòu)成某種預(yù)期的功能，

通過(guò)測(cè)試最終成為集成電路芯片成品。

封裝package

將集成電路芯片封裝成集成電路成品的過(guò)程。

注：封裝工藝過(guò)程主要包括對(duì)晶圓成品進(jìn)行來(lái)料檢查、貼膜、磨片、貼片、劃片成為單芯片，并對(duì)單芯片進(jìn)行裝片、

鍵合、塑封/固化、打印/切筋、切割、引線(xiàn)電鍍，通過(guò)測(cè)試檢驗(yàn)最終成為集成電路成品。

4計(jì)算方法

取水水源

1

DB11/T1764.8—2021

取水水源包括自來(lái)水、自備井水、市政再生水，以及從市場(chǎng)購(gòu)得的其他水或水的產(chǎn)品（如蒸汽、熱

水、地?zé)崴龋?/p>

取水量供給范圍

4.2.1集成電路取水量包括芯片制造取水量和封裝取水量。

4.2.2芯片制造取水量的供給范圍包括主要生產(chǎn)用水（包括工藝設(shè)備用水、工藝?yán)鋮s用水等）、輔助

生產(chǎn)用水（包括廢氣洗滌塔用水、POU凈化循環(huán)系統(tǒng)用水、冷卻塔補(bǔ)水用水、空調(diào)系統(tǒng)用水等）和附屬

生產(chǎn)用水（包括辦公生活用水、食堂用水、綠化用水等），不包括外供水、基建用水、消防用水和生活

區(qū)用水。

4.2.3封裝取水量的供給范圍包括主要生產(chǎn)用水（包括工藝設(shè)備用水、工藝?yán)鋮s用水等）、輔助生產(chǎn)

用水（包括冷卻塔補(bǔ)水用水、空調(diào)系統(tǒng)用水等）和附屬生產(chǎn)用水（包括辦公生活用水、食堂用水、綠化

用水等），不包括外供水、基建用水、消防用水和生活區(qū)用水。

單位產(chǎn)品取水量

單位產(chǎn)品取水量按式（1）計(jì)算：

V

V=i·········································································（1）

uiQ

式中：

3

Vui——單位產(chǎn)品取水量，芯片制造產(chǎn)品單位為立方米每片（m/片），封裝產(chǎn)品單位為立方米每萬(wàn)

塊（m3/萬(wàn)塊）；

3

Vi——在一定計(jì)量時(shí)間內(nèi)的取水量，單位為立方米（m）；

Q——在同一計(jì)量時(shí)間內(nèi)的合格產(chǎn)品產(chǎn)量，芯片制造產(chǎn)品單位為片，封裝產(chǎn)品單位為萬(wàn)塊。

5用水定額

表1規(guī)定了集成電路用水定額。

表1集成電路用水定額

單位產(chǎn)品取水量

產(chǎn)品類(lèi)別產(chǎn)品規(guī)格單位

先進(jìn)值a通用值b

65nm及以上線(xiàn)寬m3/片7.28.6

芯片制造產(chǎn)品c

60nm～20nm線(xiàn)寬m3/片8.111.5

封裝產(chǎn)品-m3/萬(wàn)塊4.66.4

a先進(jìn)值用于新建（改建、擴(kuò)建）企業(yè)的水資源論證、取水許可審批和節(jié)水評(píng)價(jià)。

b通用值用于現(xiàn)有企業(yè)的日常用水管理和節(jié)水考核。

c芯片制造產(chǎn)品是指300mm（12英寸）芯片制造產(chǎn)品。

6管理要求

2

DB11/T1764.8—2021

再生水輸配水管線(xiàn)覆蓋地區(qū)內(nèi)，滿(mǎn)足使用要求的，應(yīng)使用再生水。

用水計(jì)量器具的配備和管理應(yīng)符合DB11/T1769的要求。

企業(yè)水平衡測(cè)試應(yīng)符合GB/T12452的要求。

節(jié)水型生活用水器具應(yīng)符合DB11/T343的要求，安裝率應(yīng)達(dá)到100%。

集成電路制造企業(yè)應(yīng)每年統(tǒng)計(jì)用水信息，年度用水信息統(tǒng)計(jì)參見(jiàn)附錄A。

3

DB11/T1764.8—2021

A

A

附錄A

（資料性）

北京市集成電路制造企業(yè)年度用水信息表

北京市集成電路制造企業(yè)年度用水信息表見(jiàn)表A.1。

表A.1北京市集成電路制造企業(yè)年度用水信息表

填表日期：年月日

單位名稱(chēng)

填表部門(mén)水量計(jì)算起止時(shí)間

聯(lián)系人聯(lián)系電話(huà)

一、基本信息

產(chǎn)品名稱(chēng)產(chǎn)品規(guī)格

投產(chǎn)時(shí)間占地面積m2

職工人數(shù)人建筑面積m2

產(chǎn)線(xiàn)數(shù)條綠化面積m2

年產(chǎn)能片（萬(wàn)塊）宿舍面積m2

本年度年產(chǎn)量片（萬(wàn)塊）下一年計(jì)劃產(chǎn)量片（萬(wàn)塊）

二、設(shè)施情況

循環(huán)冷卻水設(shè)備￡有￡無(wú)循環(huán)利用率%

廢水處理設(shè)施￡有￡無(wú)設(shè)計(jì)處理量m3/d

實(shí)際年廢水總量m3廢水處理回用率%

雨水收集利用設(shè)施￡有￡無(wú)