吉林省地方計(jì)量技術(shù)規(guī)范受表面輪廓測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范2009-03-20發(fā)布2009-04-20實(shí)施本規(guī)范經(jīng)吉林省質(zhì)量監(jiān)督局于2009年3月20日批準(zhǔn)，并自2009年4月20日起施行。起草單位：中國第一汽車集團(tuán)公司檢測(cè)服務(wù)中心本規(guī)范主要起草人：于大葵(中國第一汽車集團(tuán)公司檢測(cè)服務(wù)中心)金振麟(中國第一汽車集團(tuán)公司檢測(cè)服務(wù)中心)趙金芝(中國第一汽車集團(tuán)公司檢測(cè)服務(wù)中心)參加起草人：尹景軍(中國第一汽車集團(tuán)公司檢測(cè)服務(wù)中心)田予鋼(中國第一汽車集團(tuán)公司檢測(cè)服務(wù)中心) 2引用文獻(xiàn) 3概述 4計(jì)量特性 5校準(zhǔn)條件 6校準(zhǔn)方法 7校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá) 8復(fù)校時(shí)間間隔 附錄A表面輪廓測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)證書內(nèi)頁格式 附錄B表面輪廓測(cè)量?jī)x綜合示值誤差測(cè)量結(jié)果的不確定度評(píng)定實(shí)例 1GB/T19600產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS)表面結(jié)構(gòu)輪廓法接觸(觸針)式儀器的校準(zhǔn)表面輪廓測(cè)量?jī)x主要用于測(cè)量外型結(jié)構(gòu)復(fù)雜、尺寸相對(duì)較小量表面輪廓的工件。觸針式表面輪廓測(cè)量?jī)x一般由傳感器、置、計(jì)算機(jī)、打印機(jī)等組成。其工作原理是，儀器的驅(qū)動(dòng)器帶動(dòng)傳滑行，傳感器通過觸針感受到被測(cè)表面的幾何形狀變化，并轉(zhuǎn)大和處理，再通過計(jì)算機(jī)系統(tǒng)計(jì)算和處理，根據(jù)用戶需4計(jì)量特性4.2驅(qū)動(dòng)箱導(dǎo)軌的直線度4.3輪廓坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)誤差4.4觸針垂直位移的示值誤差24.7角度的示值誤差4.8表面粗糙度的示值誤差5.1環(huán)境條件5.1.1校準(zhǔn)表面輪廓測(cè)量?jī)x的室內(nèi)溫度應(yīng)在(20±3)℃范圍內(nèi)，室溫變化不超過1℃/h。室內(nèi)濕度不超過75%RH。5.1.2被校儀器及校準(zhǔn)用測(cè)量設(shè)備在室內(nèi)平衡溫度的時(shí)間不少于2h。5.1.3校準(zhǔn)前，被校儀器連續(xù)通電預(yù)熱時(shí)間不少于30min。校準(zhǔn)項(xiàng)目及校準(zhǔn)用測(cè)量設(shè)備見表1。序號(hào)校準(zhǔn)項(xiàng)目工差投影儀2驅(qū)動(dòng)箱導(dǎo)軌的直線度平面平晶3一45二等6圓弧半徑的示值誤差7角度的示值誤差8多刻線樣板6校準(zhǔn)方法3用100倍以上的投影儀，對(duì)觸針針尖半徑及角度進(jìn)行測(cè)量。并檢查針尖是否有損將2級(jí)平晶放在工作臺(tái)上，觸針接觸在平晶表面上滑行，從輪廓曲線圖上確定驅(qū)動(dòng)將儀器自帶的標(biāo)準(zhǔn)球放在工作臺(tái)上，按照儀器使用說明書規(guī)定將3等量塊研合在2級(jí)平晶上。觸針先后與量塊表面和平晶表面接觸，讀取量塊和平晶之間的高度差。讀取的高度差與量塊標(biāo)稱值之間的差值即為誤差。此項(xiàng)校準(zhǔn)應(yīng)根據(jù)具體被校準(zhǔn)儀器垂直位移的測(cè)量范圍進(jìn)行。應(yīng)在全行程的15%、50%和85%三個(gè)位置位置進(jìn)行校準(zhǔn)。將光學(xué)刻度尺放置在工作臺(tái)上，調(diào)整刻度尺的方向與驅(qū)動(dòng)箱定。觸針在光學(xué)刻度尺表面滑行，測(cè)得輪廓曲線，評(píng)價(jià)出水平位移方向光學(xué)刻度尺的刻將直徑35mm的標(biāo)準(zhǔn)球置于工作臺(tái)上，觸針接觸在標(biāo)準(zhǔn)球表面上，利用可調(diào)工作臺(tái)使觸針通過標(biāo)準(zhǔn)球的最高點(diǎn)。用形狀測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量輪廓曲線后，評(píng)價(jià)得到圓弧半徑將標(biāo)準(zhǔn)角度塊置于工作臺(tái)上，調(diào)整角度塊的擺放方向與驅(qū)動(dòng)箱狀測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量輪廓曲線后，評(píng)價(jià)得到角度值。該值與標(biāo)準(zhǔn)角6.8表面粗糙度的示值誤差4帶有粗糙度測(cè)量功能的表面輪廓測(cè)量?jī)x，其表面粗糙度部分的校準(zhǔn)，依據(jù)5附錄AJJF(吉)25—20096附錄B表面輪廓測(cè)量?jī)x圓弧半徑的示值誤差測(cè)量結(jié)果的不確定度評(píng)定實(shí)例B.2數(shù)學(xué)模型1)測(cè)量重復(fù)性引起的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u?;2)標(biāo)準(zhǔn)鋼球誤差引起的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u2;B.3.1測(cè)量重復(fù)性引起的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u?的評(píng)定：(采用A類評(píng)定)差分別為：2.2;1.9;1.8;2.3;2.0;2.2;2.0;1.9;1.8;2.3(μm)。則△e=S?=0.2μm;S?=0.28μm;S?=0.24μmJJF(吉)25—20097所以u(píng)?=0.25μm標(biāo)準(zhǔn)球測(cè)試報(bào)告給出的擴(kuò)展不確定度U=0.5μm,包含因子k=2,則B.3.3被校準(zhǔn)儀器數(shù)字顯示的量化誤差引起的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u?的評(píng)定：