半導(dǎo)體廠房工程監(jiān)理協(xié)議甲方（建設(shè)單位）：名稱：_________地址：_________法定代表人：_________聯(lián)系方式：_________統(tǒng)一社會信用代碼：_________乙方（監(jiān)理單位）：名稱：_________地址：_________法定代表人：_________聯(lián)系方式：_________統(tǒng)一社會信用代碼：_________資質(zhì)等級：電子工程監(jiān)理甲級（或半導(dǎo)體潔凈廠房專項監(jiān)理資質(zhì)）資質(zhì)證書編號：_________鑒于條款1.甲方系[項目全稱，如：XX半導(dǎo)體12英寸晶圓制造廠房一期工程]（以下簡稱“本工程”）的建設(shè)單位，已取得本工程立項批準文件（文號：_________）；2.乙方具備承接本工程監(jiān)理服務(wù)的合法資質(zhì)及半導(dǎo)體潔凈廠房、工藝設(shè)備安裝監(jiān)理的專業(yè)經(jīng)驗；3.雙方遵循平等、自愿、公平及誠實信用原則，就本工程監(jiān)理服務(wù)達成如下協(xié)議。第一條工程概況1.1工程地點：_________1.2工程規(guī)模：總建筑面積_________㎡，其中潔凈室面積_________㎡（含Class10/100/1000/10000潔凈等級區(qū)域）；包含光刻、刻蝕、沉積、離子注入等工藝設(shè)備安裝調(diào)試，以及高純氣體、超純水、廢水/廢氣處理、電力自控等配套系統(tǒng)；1.3資金來源：_________（自籌/銀行貸款/政府補貼等）；1.4計劃工期：總工期_________日歷天，關(guān)鍵節(jié)點：潔凈室裝修完成_________年____月____日、工藝設(shè)備安裝完成_________年____月____日、竣工驗收合格_________年____月____日。第二條監(jiān)理范圍本工程監(jiān)理范圍覆蓋全生命周期，具體包括：2.1前期準備階段：施工圖（含潔凈室、工藝系統(tǒng)、設(shè)備安裝圖）審查、施工組織設(shè)計/專項方案（潔凈室密封、高純管道安裝、ESD防護等）審批、施工單位資質(zhì)復(fù)核；2.2施工階段：-土建結(jié)構(gòu)（廠房主體、設(shè)備基礎(chǔ)）；-潔凈室工程（彩鋼板裝修、防靜電地面/墻面、吊頂密封、回風(fēng)/排風(fēng)系統(tǒng)）；-工藝配套系統(tǒng)（高純氣體管道、超純水系統(tǒng)、廢水/廢氣處理、電力配電/自控系統(tǒng)）；-工藝設(shè)備安裝調(diào)試（光刻機、刻蝕機、沉積設(shè)備等關(guān)鍵設(shè)備的定位、精度校準、聯(lián)動測試）；-輔助設(shè)施（空調(diào)凈化、消防、安防、物流傳遞系統(tǒng)）；2.3竣工驗收階段：分項/分部/單位工程驗收、竣工資料審核、竣工驗收組織及資料歸檔；2.4缺陷責(zé)任期：自竣工驗收合格之日起12個月（關(guān)鍵工藝設(shè)備缺陷責(zé)任期延長至24個月），含質(zhì)量缺陷排查、整改監(jiān)督。第三條監(jiān)理服務(wù)內(nèi)容3.1質(zhì)量控制：-原材料/構(gòu)配件檢驗（潔凈彩鋼板、防靜電材料、高純管道/管件等需100%抽樣檢測）；-工序驗收（潔凈室地面自流平平整度、彩鋼板密封完整性、高純管道焊接質(zhì)量、設(shè)備安裝水平度/垂直度）；-專項檢測（潔凈度（塵埃粒子數(shù)、微生物）、ESD接地電阻、高純氣體純度、設(shè)備聯(lián)動精度）；-質(zhì)量事故處理（事故調(diào)查、原因分析、整改方案審核）；3.2進度控制：-施工進度計劃審核（含關(guān)鍵節(jié)點分解）；-進度偏差預(yù)警（偏差超過計劃5%時24小時內(nèi)提交調(diào)整建議）；-工期延誤責(zé)任認定（區(qū)分甲方、施工單位、不可抗力原因）；3.3投資控制：-工程量計量審核（每月25日前完成當月工程量確認）；-工程變更價款審核（變更金額超過____萬元需甲方書面確認）；-索賠/反索賠審核（協(xié)助甲方核算索賠金額及合理性）；3.4安全文明施工監(jiān)理：-安全方案審批（含化學(xué)品儲存/使用防護、潔凈室防火、特種設(shè)備（起重機）檢測）；-現(xiàn)場安全巡查（每日不少于1次，重點檢查潔凈室污染防控、高空作業(yè)防護）；-安全事故報告（發(fā)生一般及以上事故1小時內(nèi)書面報甲方及主管部門）；3.5合同管理：-協(xié)助甲方審核施工、設(shè)備采購合同（重點關(guān)注工藝要求、驗收標準、違約責(zé)任）；-跟蹤合同履行（設(shè)備到貨時間、施工節(jié)點履約情況）；3.6信息管理：-每日監(jiān)理日志、每周監(jiān)理周報（含進度、質(zhì)量、安全情況）、每月監(jiān)理月報；-工程資料歸檔（協(xié)助甲方整理竣工資料，符合檔案管理要求）；3.7協(xié)調(diào)管理：-協(xié)調(diào)施工單位、設(shè)計單位、設(shè)備供應(yīng)商的銜接（如工藝與土建接口、設(shè)備安裝與系統(tǒng)聯(lián)動）；-組織專題會議（解決重大技術(shù)/進度問題，形成會議紀要）。第四條甲方權(quán)責(zé)4.1提供資料：本協(xié)議生效后7日內(nèi)，向乙方提供項目批文、全套施工圖、地質(zhì)勘察報告、設(shè)備技術(shù)規(guī)范、潔凈室標準要求等；4.2支付監(jiān)理費：按本協(xié)議第七條約定按時足額支付；4.3協(xié)調(diào)決策：協(xié)調(diào)設(shè)計單位交底、設(shè)備供應(yīng)商到場時間，對乙方提交的審批事項（如工程變更、進度款支付）在5個工作日內(nèi)書面答復(fù)；4.4工作條件：提供現(xiàn)場辦公場所（含水電）、必要的檢測設(shè)備借用（如甲方自有塵埃粒子計數(shù)器）；4.5不得干涉：不得要求乙方違反國家規(guī)范/行業(yè)標準履職，但有權(quán)對監(jiān)理工作提出異議并要求復(fù)核。第五條乙方權(quán)責(zé)5.1人員配備：-總監(jiān)理工程師：具備電子工程監(jiān)理注冊證書及5年以上半導(dǎo)體潔凈廠房監(jiān)理經(jīng)驗，不得更換（確需更換需提前15日書面報甲方同意，且新總監(jiān)理工程師資質(zhì)不低于原人員）；-專業(yè)監(jiān)理工程師：潔凈室、工藝系統(tǒng)、設(shè)備安裝各不少于1名，具備相應(yīng)專業(yè)注冊證書及3年以上相關(guān)經(jīng)驗；-監(jiān)理人員到崗率：施工階段每日到崗率不低于80%，關(guān)鍵節(jié)點（如設(shè)備安裝）100%到崗；5.2履職要求：嚴格執(zhí)行國家規(guī)范（GB50471-2008、GB50073-2013等）、行業(yè)標準（SEMI半導(dǎo)體設(shè)備安裝規(guī)范）及本協(xié)議約定，不得失職、瀆職；5.3獨立監(jiān)理：客觀公正開展監(jiān)理工作，不受甲方或施工單位影響；5.4報告制度：重大問題（質(zhì)量事故、安全事故、工期延誤超過10%）24小時內(nèi)書面報甲方；5.5質(zhì)量責(zé)任：對監(jiān)理范圍內(nèi)的工程質(zhì)量承擔(dān)監(jiān)理責(zé)任，若因監(jiān)理失職導(dǎo)致質(zhì)量缺陷（如潔凈度不達標、設(shè)備安裝精度不合格），需承擔(dān)相應(yīng)返工費用及損失（賠償限額不超過監(jiān)理費總額的2倍）；5.6保密義務(wù)：不得泄露甲方商業(yè)秘密（工藝參數(shù)、設(shè)備型號、產(chǎn)能規(guī)劃等）、工程進度及未公開信息，保密期限自本協(xié)議終止后5年；5.7檢測設(shè)備：配備經(jīng)校準的檢測工具（塵埃粒子計數(shù)器、水平儀、接地電阻測試儀等），定期送檢并提供校準報告。第六條監(jiān)理服務(wù)期限6.1服務(wù)期：自本協(xié)議生效之日起，至缺陷責(zé)任期結(jié)束之日止；6.2順延情形：因甲方原因（如設(shè)計變更、付款延誤）導(dǎo)致工程延期，服務(wù)期相應(yīng)順延，甲方無需額外支付費用；因乙方原因?qū)е卵悠?，服?wù)期不順延且乙方承擔(dān)違約責(zé)任；6.3節(jié)點要求：關(guān)鍵節(jié)點監(jiān)理需提前3日到場，確保節(jié)點驗收合格。第七條監(jiān)理費用及支付7.1監(jiān)理費總額：_________元（大寫：_________），包含常規(guī)檢測費、人員薪酬、辦公費用，不含第三方專項檢測費（如潔凈度第三方檢測、設(shè)備性能第三方測試）；7.2計算依據(jù)：按工程概算投資額的____%計算（或固定總價）；7.3支付方式：-預(yù)付款：協(xié)議生效后7日內(nèi)，支付總額的20%（_________元）；-進度款：施工階段每月25日，支付當月完成工程量對應(yīng)監(jiān)理費的80%（需乙方提交進度報告及發(fā)票）；-竣工款：竣工驗收合格后15日內(nèi)，支付至總額的95%（_________元）；-缺陷責(zé)任期款：缺陷責(zé)任期結(jié)束后15日內(nèi)，支付剩余5%（_________元）；7.4發(fā)票要求：乙方需提供合法有效的增值稅專用發(fā)票（稅率按國家規(guī)定），否則甲方有權(quán)順延付款；7.5額外費用：甲方要求增加監(jiān)理范圍（如新增廠房擴建），雙方另行簽訂補充協(xié)議，按新增投資額的____%支付額外監(jiān)理費。第八條質(zhì)量標準8.1執(zhí)行國家及行業(yè)現(xiàn)行有效標準：-《半導(dǎo)體潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》（GB50471-2008）；-《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》（GB50073-2013）；-《工業(yè)金屬管道工程施工規(guī)范》（GB50235-2010）；-《電氣裝置安裝工程施工及驗收規(guī)范》（GB50168-2006）；-設(shè)備制造商提供的技術(shù)規(guī)范；8.2甲方特殊要求：_________（如某區(qū)域潔凈度Class10、高純氣體純度99.9999%）。第九條風(fēng)險責(zé)任9.1甲方風(fēng)險：因甲方提供資料錯誤、決策延誤導(dǎo)致的工程返工、工期延誤，由甲方承擔(dān)；9.2乙方風(fēng)險：因乙方監(jiān)理失職導(dǎo)致的質(zhì)量缺陷、安全事故，由乙方承擔(dān)相應(yīng)賠償責(zé)任；9.3不可抗力：雙方按《民法典》規(guī)定分擔(dān)損失，服務(wù)期順延，費用互不承擔(dān)（不可抗力指地震、臺風(fēng)等不能預(yù)見、不能避免的客觀情況）。第十條違約責(zé)任10.1甲方違約：-未按時支付監(jiān)理費：每逾期1日，按應(yīng)付未付金額的萬分之五支付違約金；逾期超過30日，乙方有權(quán)暫停監(jiān)理服務(wù)；-未提供工作條件導(dǎo)致監(jiān)理無法履職：工期順延，甲方承擔(dān)乙方窩工損失（按____元/人/日計算）；10.2乙方違約：-人員配備不足：每缺1人/日，支付違約金____元；總監(jiān)理工程師更換未經(jīng)甲方同意，支付違約金____元；-監(jiān)理失職導(dǎo)致質(zhì)量事故：一般事故支付總額的5%，重大事故支付20%，并承擔(dān)返工費用；-泄露商業(yè)秘密：支付違約金____元，并賠償甲方全部損失；-未按時提交報告：每逾期1日，支付違約金____元；10.3維權(quán)費用：違約方承擔(dān)守約方因維權(quán)產(chǎn)生的律師費、訴訟費、保全費等。第十一條爭議解決因本協(xié)議產(chǎn)生的爭議，雙方協(xié)商解決；協(xié)商不成，提交本工程所在地有管轄權(quán)的人民法院訴訟解決（或提交_________仲裁委員會仲裁）。第十二條其他條款12.1補充協(xié)議：本協(xié)議未盡事宜，雙方簽訂書面補充協(xié)議，補充協(xié)議與本協(xié)議具有同等法律效力；12.2生效條件：本協(xié)議自雙方簽字蓋章之日起生效；12.3終止條件：監(jiān)理服務(wù)期結(jié)束、雙方協(xié)商一致終止、一方嚴重違約導(dǎo)致另一方解除協(xié)議；1