ViPSte小/深圳市微浦技術(shù)有限企業(yè)

工作指導(dǎo)

文獻(xiàn)名稱：ESD管理規(guī)范及測(cè)量原則部H：工程部

文獻(xiàn)編號(hào)：VP-QA-004版本：A/0

編寫(xiě)：譚桂審核：

批準(zhǔn)：生效日期：

修訂日期修訂內(nèi)容修訂者原版本

□工程部__________□PMC_____________□倉(cāng)管部___________

會(huì)簽部門(mén)口生產(chǎn)部__________口產(chǎn)品部___________□采購(gòu)部__________

□品質(zhì)部__________□銷(xiāo)售部___________□行政部___________

分發(fā)份數(shù)共_____份

1.0目的

我司規(guī)定了產(chǎn)品和電子組件在制造過(guò)程中日勺靜電防護(hù)，防止因靜電的力學(xué)和放電效應(yīng)而產(chǎn)生或也許產(chǎn)生日勺

危害，或?qū)⑦@些危害限制在最小程度。以保證產(chǎn)品歐J設(shè)計(jì)性能及使用性能不致因靜電作用受到損害，保證產(chǎn)品

質(zhì)量、提高產(chǎn)品壽命。

2.0合用范圍

合用于我司所有產(chǎn)品物料的采購(gòu)、驗(yàn)收、儲(chǔ)存、搬運(yùn)、加工、包裝及生產(chǎn)裝配、產(chǎn)品測(cè)試等全過(guò)程。

3.0定義

3.1ESD(Electro-Staticdischarge)：重要是指兩個(gè)帶有不一樣靜電電位之物體，當(dāng)它們靠近并可以發(fā)生

電荷傳送，由于電荷的傳送產(chǎn)生了電流，使器件損壞或?qū)е聣勖系膫Γ话惴Q為靜電泄放或簡(jiǎn)稱

ESDo

3.2SSD(StaticSensitiveDevice):凡對(duì)靜電敏感的電子元器件一般稱為靜電敏感元器件或簡(jiǎn)稱SSI)。

4.0職責(zé)

4.1工程部根據(jù)本程序規(guī)定實(shí)行靜電用品日勺進(jìn)料檢測(cè)和電線、接地線、靜電墊等防靜電設(shè)施測(cè)試和記錄以

及平常維護(hù)。

4.2品質(zhì)部負(fù)責(zé)制定防靜電措施規(guī)定和原則及監(jiān)督執(zhí)行狀態(tài)c

4.3各部門(mén)經(jīng)理負(fù)責(zé)本部門(mén)工作區(qū)域、生產(chǎn)制造過(guò)程中的靜電防護(hù)措施的執(zhí)行。

5.0工作程序

本文重要從靜電控制的J五個(gè)方面（即人員、設(shè)備、物料、措施和環(huán)境）來(lái)論述ESD規(guī)范，貫穿了企業(yè)產(chǎn)

品設(shè)計(jì)、制造、貯存、包裝等各個(gè)環(huán)節(jié)防靜電控制。

5.1靜電敏感區(qū)域的）界定：

5.1.1ESD敏感器件的生產(chǎn)區(qū)域-----生產(chǎn)線等。

5.1.2ESD敏感器件的前加工區(qū)域一一前加工房。

5.1.3ESI）敏感器件H勺貯存區(qū)域-----倉(cāng)庫(kù)

5.1.4ESD敏感器件的返修區(qū)域-----返修區(qū)及返修工位。

5.1.5ESD敏感器件日勺老化區(qū)域-----老化房。

5.2靜電敏感區(qū)域日勺標(biāo)識(shí)：

5.2.1靜電敏感區(qū)的區(qū)域界線應(yīng)當(dāng)用黃黑相間的斜條紋來(lái)標(biāo)識(shí)，線條寬度為5~10CM這兩種斜條紋是

專門(mén)用來(lái)標(biāo)識(shí)靜電敏感區(qū)日勺區(qū)域界線B勺，不可作為其他標(biāo)識(shí)用。

5.2.2從靜電敏感區(qū)域的入口處開(kāi)始，在明顯處還應(yīng)貼上靜電敏感區(qū)的警示標(biāo)志。如圖A:

5.2.3防靜電容器（防靜電周轉(zhuǎn)箱，防靜電元件盒等），元件架和運(yùn)送車(chē)等器材上應(yīng)有防靜電標(biāo)志，標(biāo)

志應(yīng)置于明顯且不易受到磨損的地方。如圖B：

5.2.4通過(guò)防靜電液處理II勺物品和場(chǎng)所也應(yīng)有防靜電標(biāo)志。如圖C:

溫度應(yīng)在15℃至30℃之間，濕度應(yīng)在45%至75%之間，環(huán)境內(nèi)應(yīng)配置溫度計(jì)和濕度計(jì)，并按規(guī)定

做好點(diǎn)檢記錄。假如環(huán)境內(nèi)的空氣過(guò)于干燥，應(yīng)使用加濕器或其他措施來(lái)滿足濕度規(guī)定，但應(yīng)以

不對(duì)產(chǎn)品導(dǎo)致有害影響為前提。假如濕度高了應(yīng)當(dāng)升空調(diào)或抽濕機(jī)來(lái)使其滿足規(guī)定。

5.3.3溫度計(jì)和濕度計(jì)使用規(guī)定：

1）對(duì)溫度、濕度做監(jiān)測(cè)的溫濕度儀，必須放置在水平穩(wěn)定的平面上。

2）有溫濕度測(cè)量?jī)x的場(chǎng)所應(yīng)由專人定期檢查溫濕度自動(dòng)儀測(cè)試狀況,并記錄該時(shí)間段的最高

和最低值。

3）遇有休息、節(jié)假日等特殊狀況，在上班后的第一時(shí)間內(nèi)要檢查溫濕度自動(dòng)記錄儀的記錄狀

況。

4）發(fā)現(xiàn)溫度濕度有超標(biāo)應(yīng)立即采用有效措施予以改善,并確認(rèn)超標(biāo)狀況與否有對(duì)產(chǎn)品或材料

導(dǎo)致?lián)p壞,采用的改善措施應(yīng)予以記錄。

5）每月的溫濕度儀記錄的測(cè)試成果由負(fù)責(zé)記錄的部門(mén)歸類保留。

5.4靜電敏感區(qū)域的人員防靜電規(guī)范：

5.4.1各類人員的防靜電知識(shí)培訓(xùn)規(guī)定及職責(zé)：

有也許進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的人員或有也許接觸靜電敏感器件日勺人員都應(yīng)接受防靜電知識(shí)

培訓(xùn)，這既是對(duì)每位員工的基本規(guī)定，也是減少靜電危害的主線措施和途徑之一。

5.4.1.1所有新員工（職工）在接受入廠培訓(xùn)時(shí)，必須接受ESD知識(shí)的培訓(xùn)I。

5.4.1.2在靜電敏感區(qū)域內(nèi)工作日勺生產(chǎn)人員及與靜電敏感器件有直接或間接接觸（包括靜電

感應(yīng)）口勺作業(yè)人員，必須接受ESD知識(shí)的培訓(xùn)，作為上為考核的必考內(nèi)容之一。

5.4,1.3工藝人員必須接受并通過(guò)ESD較為專業(yè)知識(shí)培訓(xùn)，掌握電子工業(yè)產(chǎn)品的J防靜電工藝

技術(shù)，在生產(chǎn)過(guò)程中指導(dǎo)生產(chǎn)作業(yè)人員貫徹防靜電措施，并對(duì)他們進(jìn)行靜電防護(hù)平

常教育。

5.4.1.4品質(zhì)控制管理人員必須接受并通過(guò)ESD較為專業(yè)知識(shí)培訓(xùn)，熟悉各類SSD的靜電敏

感性能及其防護(hù)知識(shí),監(jiān)督防靜電工藝規(guī)程日勺貫徹執(zhí)行，評(píng)估防靜電工程實(shí)行效果。

5.4.1.5檢杳和試驗(yàn)人員（包括外購(gòu)件入廠檢查試驗(yàn)和產(chǎn)品檢查人員）必須接受較為ESD專業(yè)

知識(shí)培訓(xùn)，純熟掌握ESSDH勺檢測(cè)知識(shí)和防靜電器件的J檢測(cè)措施,嚴(yán)格按設(shè)計(jì)技術(shù)文獻(xiàn)

規(guī)定和工藝規(guī)程進(jìn)行檢查和試驗(yàn)。

5.4.1.6設(shè)備部負(fù)貨防靜電接地和布生產(chǎn)線H勺人員，應(yīng)接受較為專業(yè)的ESD知識(shí)培訓(xùn)I,熟悉防

靜電接地系統(tǒng)規(guī)定，掌握地樁、地線、及其他防靜電設(shè)施的敷設(shè)或安裝。

5.4.1.7生產(chǎn)管理人員應(yīng)理解ESD基本知識(shí),嚴(yán)珞按靜電敏感器件的設(shè)計(jì)文獻(xiàn)規(guī)定和工藝規(guī)程

組織生產(chǎn),并開(kāi)展對(duì)生產(chǎn)員工口勺靜電防護(hù)平常教育。

5.4.1.8計(jì)量部門(mén)也應(yīng)理解ESD基本知識(shí)，尤其是有關(guān)防靜電儀器的校驗(yàn)知識(shí),要定期調(diào)校防

靜電檢測(cè)器材，保證其安全、有效。

5.4.2采購(gòu)ESD控制:

采購(gòu)部人員必須接受ESD基本知識(shí)培訓(xùn)I,熟悉ESSD的品種、型號(hào)、標(biāo)志措施和靜電防護(hù)常

識(shí)，嚴(yán)格遵守物料或產(chǎn)品在采購(gòu)和運(yùn)送過(guò)程中靜電防護(hù)的規(guī)范。

5.4,2.1根據(jù)ME之規(guī)定，物料采購(gòu)按零件承認(rèn)書(shū)對(duì)SSD組件采購(gòu)時(shí)，須在采購(gòu)單注明ESD防

護(hù)規(guī)定；其他ESD防護(hù)器材采購(gòu)時(shí)，須按ME測(cè)試工程師制定R勺原則進(jìn)行采購(gòu)。

5.4.2.2須向經(jīng)承認(rèn)的IESD產(chǎn)品供貨商采購(gòu)，并保持最新的ESD承認(rèn)供應(yīng)商清單。

5.4.2.3規(guī)定供貨商提供合乎規(guī)格之包裝、標(biāo)示及對(duì)的的發(fā)票。

5.4.3倉(cāng)庫(kù)防ESD控制：

倉(cāng)儲(chǔ),轉(zhuǎn)運(yùn)人員必須接受ESD基本知識(shí)培訓(xùn)I,懂得在儲(chǔ)存和轉(zhuǎn)運(yùn)過(guò)程中防護(hù)ESS1）靜電器件

及有關(guān)的寄存操作規(guī)定。

5.4.3.1對(duì)ESD零件進(jìn)行清點(diǎn)驗(yàn)收時(shí)，檢查與否有外包裝或（及）發(fā)票確認(rèn)為ESI）組件。ESI）組

件與非SSD應(yīng)分區(qū)寄存（ESI）寄存架要有接地處理），并做明顯標(biāo)示。

5.4.3.2啟動(dòng)ESD組件包裝口勺區(qū)域應(yīng)配置合適的ESI）防護(hù)設(shè)備，如防靜電桌墊，ESD手環(huán)等。

直接接觸組件須在有良好的靜電防護(hù)下方可接觸組件。

5.4.3.3在寄存區(qū)搬運(yùn)SSD須使用專用工具（防靜電車(chē)），并使包裝完整。

5.4.3.4物料周轉(zhuǎn)區(qū)須嚴(yán)格按材料寄存區(qū)ESD控制規(guī)范進(jìn)行作業(yè)。

5.4.4進(jìn)料檢查（IQC）打勺ESD控制：

5.4.4.1檢查時(shí)確認(rèn)靜電防護(hù)及標(biāo)示與否對(duì)的，規(guī)定在靜電防護(hù)良好的區(qū)域（工作場(chǎng)所）進(jìn)行,

須有ESD手環(huán)，ESD工作衣、手套、防靜電桌墊，工作桌須接靜電地。

5.4.4.2檢查員需對(duì)不妥標(biāo)示或不妥包裝的組件，依不合格品處理程序執(zhí)行。

5.4.4.3檢查員對(duì)防靜電氣泡袋、靜電桌面、靜電手套、周轉(zhuǎn)車(chē)、料箱、料盒等防靜電材料

需按規(guī)定對(duì)其進(jìn)行靜電檢測(cè)。

5.4.5制造過(guò)程中的ESC控制：

5.4.5.1SSD加工區(qū)域，作業(yè)員須穿好防靜電衣、防靜電鞋，戴好靜電帽，戴好防靜電手環(huán)，

并保證防靜電手環(huán)可靠接地，需走動(dòng)的工位作業(yè)員須戴好防靜電腳環(huán)；未做好靜電

防護(hù)者不能接觸SSD；工作臺(tái)鋪防靜電桌墊，靜電接地良好，作業(yè)中對(duì)"勺使用防靜電

多種工具。（如ESD電烙鐵，靜電排除裝置等）。

5.4.5.2對(duì)SSD加工中若須離開(kāi)原包裝，操作人員須做靜電防護(hù)，戴好接地良好靜電手環(huán)并

于加工后放回原包裝或其他防靜電容器內(nèi)。

5.4.5.3SSD在組裝中，根據(jù)ME工藝工程師作業(yè)指導(dǎo)書(shū)進(jìn)行特殊防護(hù)及使用其規(guī)定工具，并

定期點(diǎn)檢其有效性。

5.4.5.4制程工作人員所使用的靜電環(huán)和防靜電鞋均需每天二次用“人體靜電綜合測(cè)試儀”

加以測(cè)試，確認(rèn)功能正常，并作好記錄。

5.4.5.5定期對(duì)操作員工進(jìn)行使用ESD工具、設(shè)施及取用SSD程序H勺完整訓(xùn)練，并作記錄。

5.4.5.6每個(gè)工作臺(tái)須有ESD防護(hù)料件（如袋、乳棉海綿、箱等）.

5.4.5.7所有進(jìn)入車(chē)間人員，必須通過(guò)ESD靜電鞋測(cè)試儀測(cè)試人體綜合阻值，通過(guò)方可進(jìn)入,

否則一律不準(zhǔn)進(jìn)入車(chē)間，生產(chǎn)作業(yè)人員每天上班測(cè)一次防靜電鞋，以確定防靜電鞋

口勺有效性，并做好記錄。

5.4.5.8做好每日日勺平常點(diǎn)檢工作，并將點(diǎn)檢狀況記錄在《靜電插座/卡扣線及靜電線末端點(diǎn)

檢表》中。

5.4.6IPQC稽核：

5.4.6.1IPQC須協(xié)助生產(chǎn)單位檢查作業(yè)員靜電防護(hù)措施與否對(duì)時(shí)及抽測(cè)各防靜電設(shè)施與否正

常；

5.4.6.2IPQC每日上班前監(jiān)督員工進(jìn)行靜電鞋和靜電手腕帶的測(cè)試。

5.4.6.3生產(chǎn)測(cè)試及測(cè)試工程須使用ESD工作臺(tái)。

5.4.6.4清除測(cè)試區(qū)內(nèi)靜電源。

5.4.6.5定期檢有ESD設(shè)施，保證有效性。

5.4.6.6SSD組件傳送至下一種工作區(qū)時(shí)，設(shè)有防護(hù)袋裝。

5.4.6.7當(dāng)施加工作電壓時(shí)，設(shè)備接地應(yīng)良好。

5.4.7品管部ESD控制：

5.4.7.i定期審核各部門(mén)與否根據(jù)ESD控制程序進(jìn)行作業(yè)，定期進(jìn)行ESD點(diǎn)檢并做好記錄。

5.4.7.2定期審核供貨商與否符合ESD規(guī)定。

5.4.7.3ESD工作須經(jīng)QA檢查確認(rèn)。

5.4.7.4定期審核ESD訓(xùn)練計(jì)劃，工程圖與否有對(duì)內(nèi)的ESD警告條文或警告。

5.4.8MEESD控制:

5.4.8.1定期檢查及測(cè)試ESD設(shè)備設(shè)施與否完好、性能及可靠性。

5.4.8.2對(duì)ESD設(shè)備檢杳測(cè)試、定期測(cè)試、校正并作好記錄ESD故障有關(guān)的資料須常常維護(hù),

問(wèn)題范圍與故障趨勢(shì)所需調(diào)查校正措施須向有關(guān)主管匯報(bào)。

5.4.8.3ME須測(cè)試SSD組件,以對(duì)它們H勺ESD敏感度進(jìn)行分類。

5.4.8.4ME負(fù)責(zé)所有ESD測(cè)試項(xiàng)目之SOP及有關(guān)登記表單日勺編寫(xiě)。

5.4.9ESD點(diǎn)檢

5.4.9.1點(diǎn)檢條件：所有點(diǎn)檢均在生產(chǎn)場(chǎng)地內(nèi)在行，環(huán)境溫度20-25℃,相對(duì)濕度40260與。

5.4.9.2點(diǎn)檢儀器：非接觸式和接觸式靜電電壓表、接地電阻測(cè)量?jī)x、兆歐表及原則電極、靜

電電量表、腕帶測(cè)試儀、人體綜合電阻測(cè)試儀、離子平衡分析儀、摩擦起電機(jī)、法

拉第筒、靜電屏蔽測(cè)試儀、直流電壓（表），直流電壓源。

注：所使用的儀器精度不低于5%,均應(yīng)驗(yàn)定、計(jì)量合格和在有效期內(nèi)，量程不小于實(shí)際測(cè)試

范圍20機(jī)容許使用符合測(cè)試規(guī)定的同類儀表。

5.4.9.3測(cè)試技術(shù)指標(biāo)：見(jiàn)附錄A.

5.4.9.4點(diǎn)檢項(xiàng)目&周期:

5.4.9.4.1防靜鞋與人體綜合阻值（2次/天）

5.4.9.4.2防靜電手環(huán)連接電阻（2次/天）

5.4.9.4.3ESD工作臺(tái)（臺(tái)墊）靜電電阻（1次/月）

5.4.9.4.4防靜電母線接地電阻（1次/周）

5.4.9.4.5貨架靜電電阻（1次/月）

5.4.9.4.6料車(chē)臺(tái)面對(duì)車(chē)輪電阻（1次/月）

5.4.9.4.7周轉(zhuǎn)箱，零件料盒表面電阻（1次/月）

5.4.9.4.8工作服（工作帽，手套）表面電阻（1次/月,抽查）

5.4.9.4.9流水線傳送帶表面電阻（1次/月）

5.4.9.4.10防靜電地板表面電阻（1次/I年）

注：抽查項(xiàng)目抽查成果高于30與不合格，繼續(xù)抽查10個(gè)點(diǎn)，不合格率高于0席提出不良改善方

案，且抽查成果高于30與不合格，繼續(xù)抽查20個(gè)點(diǎn)，不合格率高于0%提出不良改善方案,

抽查成果須做好記錄，填寫(xiě)對(duì)應(yīng)表單。

5.4.9.5點(diǎn)檢措5

1）表面電阻測(cè)試時(shí)，對(duì)每車(chē)間靜電地板不得少于五點(diǎn)，接地電阻、傳送帶不得少于

三點(diǎn)，周轉(zhuǎn)箱不少于三只，靜電鞋不少于三雙，靜電衣不少于10件，工作臺(tái)不

少于三張。

2）點(diǎn)檢周期：見(jiàn)5.4.9.4。

3）該點(diǎn)檢措施根據(jù)中華人民共和國(guó)電子行業(yè)原則（SJ/T10694-2023）《電子產(chǎn)品制造

與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電檢測(cè)通用規(guī)范》所制定。

5.5摩擦起電電壓測(cè)試：

5.5.1使用摩擦起電機(jī)摩擦起電，并運(yùn)用非接觸式靜電電壓表測(cè)試摩擦起電電壓。摩擦起電機(jī)的摩擦

起電極呈圓柱狀，直徑50mm?60mm,重量1kg,體積電阻不小于1X1013Q,并用高絕緣尼龍

布（表面電阻不低于1X1013。）包裹以增長(zhǎng)摩擦（見(jiàn)圖1）o測(cè)試時(shí)，開(kāi)動(dòng)摩擦起電機(jī)使摩

擦起電極與被測(cè)試物體摩擦，單向摩擦20次（時(shí)間20s）停止，10s內(nèi)用非接觸式靜電電壓表

測(cè)試摩擦軌跡起電電壓。

提.——仍彳=

面板------------口-------顯4、富

充電收入箱口一--OC3-----------啟動(dòng)開(kāi)關(guān)

電乘開(kāi)關(guān)一*:日一—

機(jī)箱11*--------W

二——主傳動(dòng)培

-----------------------AF悟

￡W------匕

-摩演.旎

圖1摩擦起電機(jī)

5.5.2測(cè)試工作臺(tái)面、地面、工作椅面、運(yùn)轉(zhuǎn)車(chē)表面摩擦電壓時(shí)，應(yīng)將被測(cè)物接地后運(yùn)用摩擦起電機(jī)

直接測(cè)試。對(duì)于板、片材（包括薄膜），應(yīng)在底面放置一塊邊長(zhǎng)不不不小于270mm、厚度不不

不小于0.5mm的正方形不繡鋼電極板并良好接觸，將極板接地后測(cè)試。

5.5.3對(duì)于產(chǎn)品（材料），以每個(gè)樣品不一樣點(diǎn)測(cè)試3次的平均值為成果。

5.6電阻測(cè)試：點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試

5.6.1所用電極構(gòu)造尺寸：柱電極直徑63nlm±3mni；電極材料為不銹鋼或銅；電極接觸端材料導(dǎo)電橡

膠，硬度60±10（邵氏A級(jí)），厚度6mm±1mm,其體積電阻不不小于500Q；電極單垂2.25kg?

2.5kgo

5.6.2測(cè)試電壓規(guī)定見(jiàn)表1.

5.6.3測(cè)試點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻時(shí)，應(yīng)將產(chǎn)品（材料）放置在絕緣臺(tái)面上或以實(shí)際使用狀態(tài)放置。臺(tái)面表面電

阻、體積電阻分別不小于1X1013Q,其幾何周?chē)叽缇恍∮诒粶y(cè)材料10CM電極之間距離

300mmo地面測(cè)試時(shí)，電極之間距離900mm?1000mm。

5.6.4測(cè)試系統(tǒng)電阻時(shí)，將被檢樣品（地面）按實(shí)際使用狀態(tài)測(cè)試。工程測(cè)試時(shí)，電極拒被測(cè)材料邊

緣不小于10cm。

不同阻值范圉的測(cè)試電壓

Rja測(cè)試電壓V

凡《IxIO510

100

5.6.5由于測(cè)出H勺電阻取決于施加H勺電壓，且電阻為未知數(shù)，因此應(yīng)當(dāng)執(zhí)行如下程序:

5.6.6初始施加日勺測(cè)試電壓為10V：

-----假如RX〈1X105Q,則測(cè)量值為成果：

-----假如RX>1X105。，則把電壓改為100V（見(jiàn)注l）o

5.6.7施加電壓為100V:

-假如（IXIOKRxWIXIO。Q,則測(cè)量值為成果;

——假如RxWlX105。，則測(cè)量值可看作為成果。

5.6.8為保證測(cè)試的精確性，應(yīng)采用極性電極測(cè)試。對(duì)某些材料來(lái)說(shuō)，薄絕緣層的電介質(zhì)有也許被擊

穿。在這種狀況下不能采用這種測(cè)量措施，測(cè)試匯報(bào)中應(yīng)予以闡明。當(dāng)有安全性規(guī)定時(shí)，電阻

測(cè)試電壓應(yīng)為50CV。對(duì)產(chǎn)品（材料）檢測(cè)，以每個(gè)樣品不一樣點(diǎn)測(cè)試3次的平均值為成果。

注1：上述狀況表達(dá)電阻取決于施加的電壓。假如電阻不不小于1X101。，應(yīng)考慮電極自身電阻對(duì)測(cè)試成果的

影響。

注2：地板和工作表面的電阻超過(guò)本規(guī)范的范圍時(shí)，有必要采用較高的電壓來(lái)測(cè)量電阻，點(diǎn)不合用于EPA的測(cè)量。

后動(dòng)地板工程檢測(cè)指標(biāo)中的系統(tǒng)電阻為5X104Q?1X1010Q。

5.7防靜電接地電阻

5.7.1使用接地電阻測(cè)試儀測(cè)試防靜電接地電阻。

5.7.2測(cè)試環(huán)節(jié):

a）將被測(cè)地極用導(dǎo)線與儀器端子E連接;

b）在相似直線方向20m、40nl潮濕土地處，分別插入電位探測(cè)針及電流探測(cè)針，個(gè)接于儀器端

子P、C;

c）設(shè)置“倍率盤(pán)”倍數(shù)；

d）自緩至塊搖動(dòng)儀器手柄，到達(dá)約120r/min,調(diào)整“測(cè)量標(biāo)度盤(pán)”，指針指于零位時(shí)，讀數(shù)

乘以倍率標(biāo)度，即為接地電阻；

e）按測(cè)試環(huán)節(jié)c）、d）反復(fù)測(cè)試3?5次，取平均值：

f）若有其他合用儀涉，可按對(duì)應(yīng)儀器所規(guī)定口勺措施進(jìn)行測(cè)試。

5.8表面電阻（率）和體積電阻（率）的I測(cè)量

5.8.1測(cè)試時(shí)，需將產(chǎn)品（材料）放在絕緣臺(tái)面或測(cè)試架上，絕緣臺(tái)面或測(cè)試架上，絕緣臺(tái)面表面電

阻、體積電阻分別不小于1X1013。，其幾何周?chē)叽缇恍∮诒粶y(cè)材料10cm。

5.8.2表面電阻、體積電阻測(cè)試措施和測(cè)試測(cè)試電極按照IEC61340-5-1有關(guān)規(guī)定執(zhí)行，或者按GB

1410規(guī)定執(zhí)行。表面電阻率和體積電阻率按GB1410中規(guī)定計(jì)算，測(cè)試電壓按照表1規(guī)定。

5.9表面電阻、體積電阻測(cè)試電極

5.9.1電極組件由2個(gè)導(dǎo)電材料制作II勺同心環(huán)電極和1個(gè)直徑70mm?85nlm厚4mm圓柱狀反向電極（電

極面層有3mm厚導(dǎo)電材料，其邵氏硬度60±10）構(gòu)成（見(jiàn)圖2）,電極被施以10V電壓，在不

銹鋼、非腐蝕性金屬板（不是鋁）是測(cè)試時(shí)，接觸電阻應(yīng)不不小于103C。電極材料應(yīng)在測(cè)量

條件下腐蝕，并不與被測(cè)材料起反應(yīng)。

圖2表面電阻測(cè)試電極蛆件

5.9.2測(cè)試程序

5.9.2.1被測(cè)試材料應(yīng)放在1個(gè)光滑、平面口勺架子（或平面）上。當(dāng)用500V電壓進(jìn)行測(cè)試時(shí)，

其體積和表面電阻要不小于1X1（）,3Q,相對(duì)與被測(cè)試樣品尺寸而言，比被測(cè)試材料

時(shí)長(zhǎng)和寬敞10mm,厚度至少應(yīng)Immo

5.9.2.2被測(cè)樣品應(yīng)未經(jīng)化學(xué)、物料處理。電極與地面之間H勺漏泄電流對(duì)儀表內(nèi)讀數(shù)不應(yīng)有重

要的影響。要注意在放電極和裝樣品時(shí)要盡量減少電流漏泄，以免影響測(cè)量成果。

5.9.2.3樣品的形狀最佳為片狀，尺寸不不不小于110mmX120mm。

5.9.2.4應(yīng)準(zhǔn)備3塊樣品材料。樣品應(yīng)標(biāo)明清晰，以便鑒別被測(cè)表面。電極按照?qǐng)D3與儀器連

接，然后把樣品放在絕緣臺(tái)（架）上，面朝上。把電極組件放在樣品距邊緣至少10mm

的I距離處。

5.9.2.5給儀器施加表1規(guī)定電壓，15s后記錄讀數(shù)。

5.9.2.6對(duì)每個(gè)樣品（材料），以不一樣點(diǎn)測(cè)試3次平均值為成果。

b）測(cè)量表面電阻率

3—電極：4一試樣

圖3表面、體積電阻測(cè)試

5.10靜電電壓衰減時(shí)間H勺測(cè)試

5.10.1靜電電壓衰減時(shí)間是指把樣品放置在靜電率衰減測(cè)試儀充電板上，初始電壓力減少到約定的

比例電壓水平U2

5.10.2II勺時(shí)間。測(cè)試儀器使用離子平衡分析儀，充電極板與接地之間電阻不小于1X1013Q,其示意

圖（見(jiàn)圖4）o

測(cè)試措施:將待測(cè)試樣品放置在充電極板上，并良好接觸。在充電電極板上充電，使電壓到達(dá)士iooov

后，斷開(kāi)儀器充電高壓電源的同步，將待測(cè)樣品可靠接地，記錄極板電壓衰減到±ioov

時(shí)的時(shí)間。在測(cè)試時(shí)，接地極不得與充電極板相接。

5.11靜電屏蔽性能口勺檢測(cè)；本措施可評(píng)估柔韌性包裝袋的靜電屏蔽性能。

5.11.1檢測(cè)儀器：靜電屏蔽檢測(cè)儀的設(shè)計(jì)電壓為1000V,由一種放電器和一組電極構(gòu)成。儀器技術(shù)

指標(biāo)應(yīng)符合IEC61340-5-1中規(guī)定

5.11.2樣品（袋）的尺寸規(guī)定：袋的最小尺寸不不不小于200nmiX250mm,要有開(kāi)口使電極可以完全

裝入。電極放進(jìn)袋中的尺寸不不不小于100mm,并居中。對(duì)其他尺寸的袋來(lái)說(shuō)，應(yīng)當(dāng)使電極

放置在袋的中心。

5.11.3測(cè)試規(guī)定：將至少6個(gè)要測(cè)樣品放置在相對(duì)濕度12%±3%（或50%±3船的環(huán)境中預(yù)置48h,然

后將儀器電容電極放入袋中居中位置，接通放電器電源后，讀出與電流傳感器連接口勺電壓顯示

屏上口勺示值。

5.12靜電電量測(cè)試：運(yùn)用物體摩擦起電和其對(duì)大地的分布電容，測(cè)試出物體所帶靜電電量。

5.12.1測(cè)試設(shè)備：法拉第筒、摩擦起電器具、靜電電量表（接觸式靜電電壓表、電容器）。規(guī)定法拉

第內(nèi)簡(jiǎn)、靜電電量表輸入端對(duì)接地端電阻不小于IXIO"。。

5.12.2測(cè)試：將被測(cè)物用摩擦器具摩擦后，放入與靜電電量表電氣連接的I法拉第筒內(nèi)，測(cè)出帶電

量。

5.13各類防靜電產(chǎn)品（材料）的測(cè)試

5.13.1防靜電活動(dòng)地板測(cè)試

5.13.2防靜電活動(dòng)地板測(cè)試按照SJ/T10796

5.13.3防靜電貼面板（高離子有機(jī)類）測(cè)試

5.13.4防靜電貼面板（高離子有機(jī)類）測(cè)試按照SJ/11236

5.13.5防靜電地坪涂料測(cè)試

5.13.6防靜電地坪涂料測(cè)試按照SJ/T11294

5.13.7腕帶測(cè)試：

5.13.7.1所需儀器：腕帶可通過(guò)1個(gè)兼容的插頭終端，1個(gè)可以保證良好接觸、尺寸足夠大

口勺金屬或?qū)щ娙丈资钟|摸板來(lái)實(shí)現(xiàn)電源口勺連接。

5.13.7.2測(cè)試

a）腕帶穿戴狀態(tài)下電阻（系統(tǒng)電阻）：操作者以正常方式戴上腕帶，把線端插入

測(cè)試器。壓住手觸摸板，直至儀器可以穩(wěn)定的測(cè)量為止（見(jiàn)圖6）；

b）腕帶內(nèi)表面對(duì)電纜扣電阻（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻）：將兩測(cè)試電極分別接觸腕帶內(nèi)表面

和電纜扣與測(cè)試儀連接測(cè)量（見(jiàn)圖7）

c）腕帶接地電纜兩端電阻（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻）:用測(cè)試電極連接電纜兩端測(cè)試（見(jiàn)圖8）。

5.13.7.3穿著工作鞋、服和手套（指套）的人站在人體綜合電阻測(cè)試儀日勺金屬導(dǎo)電極板上,

手觸摸板電極測(cè)出電阻值。（如圖9）

圖9圖10手套和手持工具袤面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻窩試

5.13.9防靜電鞋電阻的測(cè)試措施：試驗(yàn)室測(cè)試時(shí)采用GB4385規(guī)定測(cè)試。

5.13.10手套、指套、帽、襪、腳束和工具（刷）的測(cè)試:

5.13.10.1用兩個(gè)直徑為20nmiH勺電極良好接觸在手套、指套、帽、襪、腳束內(nèi)與外任意點(diǎn)

上，測(cè)試出內(nèi)外兩點(diǎn)間電阻（見(jiàn)下圖）。測(cè)試襪子時(shí)，電極應(yīng)放置在襪底內(nèi)外

兩點(diǎn)。

5.13.10.2用兩個(gè)直徑為10mm日勺銅箔電極鏈接在工具（刷）兩頭任意兩點(diǎn)，測(cè)試出兩點(diǎn)間

電阻（見(jiàn)下圖）時(shí)，被測(cè)物品應(yīng)放在一塊絕緣電阻不小于1X1013。H勺板上。若

上述電極不適合，可以使用連接夾，電極與被測(cè)物良好接觸。

5.13.11防靜電服裝的測(cè)試措施

5.13.10.3帶電量測(cè)試：在試驗(yàn)室測(cè)試時(shí)應(yīng)符合GB12023有關(guān)規(guī)定

5.13.10.4電阻H勺測(cè)試：測(cè)量點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻，服裝要放在絕緣臺(tái)上。絕緣臺(tái)的表面電阻要不

小于1X1014。，要有足夠的尺寸。點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)量至少要測(cè)量3個(gè)不一樣位置

的值。要注意兩級(jí)之間的間距不不不小于300nun（見(jiàn)圖11）服裝點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)

試是指內(nèi)表面與外表之間電阻。

5.13.10.5摩擦起電電壓測(cè)試：工作服摩擦起電電壓測(cè)試應(yīng)符合GB/T12703的規(guī)定。

儀H

圖11防靜電服電阻泅試

5.13.12集成電路防靜電包裝管測(cè)試措施:防靜電包裝管摩擦起電電壓、電荷量測(cè)試應(yīng)分別符合SJ/T

1047Z中日勺規(guī)定。

5.13.13柔韌性包裝類的測(cè)試措施：靜電衰減期、靜用屏蔽性能、表面電阻率測(cè)試措施應(yīng)分別符合

GJB2605中的規(guī)定。

5.13.14周轉(zhuǎn)容器、盒的測(cè)試措施：靜電衰減期、靜電屏蔽性能、表面電阻率和體積電阻率測(cè)試措施

應(yīng)符合SJ/T11277有關(guān)規(guī)定。

5.13.15窗簾歐I測(cè)試措施：點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻、靜電摩擦起電電壓測(cè)試措施應(yīng)符合規(guī)定。

5.13.16防靜電寄存架測(cè)試措施：點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻、系統(tǒng)電阻測(cè)試措施應(yīng)符合規(guī)定，所用電極直徑為

10mm。

5.13.17工位與物流傳送器具測(cè)試措施；表面和體積電阻、點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻、靜電摩擦起電電壓測(cè)試措施

應(yīng)符合規(guī)定。

5.13.18墻體：墻面表面電阻測(cè)試措施應(yīng)符合規(guī)定。

5.13.19防靜電劑（液、蠟、膠）的測(cè)試措施

5.13.19.1將防靜電劑（液、蠟、膠）噴灑在一塊體積電阻和表面電阻不小于1X1012。的

絕緣板上，在相對(duì)濕度RH40舟?50知）的環(huán)境中放置48h后，測(cè)試其表面電阻。

5.13.20座椅的測(cè)試措施：

5.13.19.2椅面與靠背之間點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試措施符合“點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試”規(guī)定，

測(cè)試位置（見(jiàn)圖12）o

5.13.19.3椅面與腳輪之間系統(tǒng)電阻測(cè)試措施符合“點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試”規(guī)定。測(cè)

試時(shí)，腳輪下放置一塊200mmX200nni導(dǎo)電板并良好接觸。一種電極與導(dǎo)電板接觸,

另一種與椅面良好接觸（見(jiàn)圖13）

5.13.21運(yùn)轉(zhuǎn)車(chē)H勺測(cè)試措施：

5.13.19.4車(chē)臺(tái)面表面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試符合“點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試”規(guī)定（見(jiàn)圖14）o

5.13.22工作臺(tái)的測(cè)試措施:

5.13.19.6工作臺(tái)表面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試符合“點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試”規(guī)定（見(jiàn)圖16）

5.13.19.7測(cè)試系統(tǒng)電阻時(shí)，一種電極與臺(tái)面良好接觸，另一種電極（夾子）與工作臺(tái)接地

線連接（見(jiàn)圖17）。

VDCXR?

圖16工作臺(tái)表面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試圖圖17工作臺(tái)系統(tǒng)電阻測(cè)試圖

5.13.23地面、地墊的測(cè)試措施:

5.13.19.8地面、地墊點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試應(yīng)符合“點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試”

的J規(guī)定（見(jiàn)圖18、19）。

5.13.24離子靜電消除器的測(cè)試措施

5.13.19.9測(cè)試用設(shè)備：測(cè)試離子靜電消除器消靜電能力的儀器采用離子工衡儀，充電板

的尺寸應(yīng)當(dāng)為150nunX150mm,最小電容為15pF,測(cè)試電路H勺總電容量應(yīng)為（20

±2）pFo附件沒(méi)有接地導(dǎo)體，當(dāng)充電時(shí)，充電板在5min內(nèi)W、J自然放電不應(yīng)超過(guò)

測(cè)試電壓的10%。應(yīng)能精確地測(cè)量充電板的電壓變化及時(shí)間變化

5.13.19.10測(cè)試時(shí)臺(tái)式離子靜電消除器與測(cè)試儀充電板之間日勺相對(duì)?位置（見(jiàn)圖20）。

臺(tái)式烹子風(fēng)機(jī)

E

E

2

-

主視圖

f

a

M

-

E

O

f

的視圖

圖20測(cè)試時(shí)臺(tái)式離子除電消除器與測(cè)試儀之間的相對(duì)位置

5.13.19.11測(cè)試措施：將測(cè)試儀和離子靜電消除器按（圖20）所示放置（壓縮氣體離子槍

測(cè)試位置（見(jiàn)圖21）,高駕電離子測(cè)試位置（見(jiàn)圖22）,將測(cè)試儀充電板充規(guī)

定電壓，打開(kāi)靜電消除器電源，使充電極板暴露在電離氣流中，關(guān)閉充電電源

同步監(jiān)測(cè)極板電壓降至約定電壓時(shí)日勺靜電衰減時(shí)間。然后在中心線每個(gè)測(cè)試點(diǎn)

監(jiān)測(cè)殘存電壓。

注：制8為副視用.

圖21壓縮氣體離子槍測(cè)試位置圖圖22高架電離器測(cè)試位置圖

6.0有關(guān)表單:

6.1FORM/VP-QA-004#01《ESD點(diǎn)檢登記表》

6.2F0RM/VP-QA-004#02《靜電插座/卡扣線及靜電線末端點(diǎn)檢表》

6.3F0RM/VP-QA-004#03《靜電手環(huán)點(diǎn)檢表》

6.4F0RM/VP-QA-004tt04《靜電鞋測(cè)試登記表》

7.0有關(guān)文獻(xiàn):

7.1ANSI_ESD_S20.20-2023ESD靜電放電（ESD）協(xié)會(huì)原則

7.2SJ/T10694-2023電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電檢測(cè)通用規(guī)范

附錄A

（規(guī)范料性附錄）

測(cè)試技術(shù)指標(biāo)

測(cè)試技術(shù)指導(dǎo)標(biāo)見(jiàn)表A.l?

表A.1測(cè)試技術(shù)指標(biāo)

點(diǎn)對(duì)點(diǎn)磨擦靜電屏蔽性能電限

表面電阻體枳電阻系統(tǒng)電阻衷減期

項(xiàng)目要求電阻?"V電壓電荷?（率）

QQr?.Q*?.sVQ.

CtVQ

防靜電電阻?<10

*1X104?IXio4?

各類地面、地墊<100

1X10'0IXIO9■

各類工作臺(tái)面、1XI03?IMIO5?

<100*

工作臺(tái)筌1X1(/1X100

1XI05-.，

各類墻面?*

1X1O10

座椅和運(yùn)轉(zhuǎn)車(chē)1X1”?1X105?