ITO薄膜基礎(chǔ)知識(shí)

一、ITO薄膜的概念

IT0薄膜是IndiumTinOxides的縮寫。作為納米錮錫

金屬氧化物，具有很好的導(dǎo)電性和透明性，可以切斷對(duì)人體

有害的電子輻射，紫外線及遠(yuǎn)紅外線。因此，噴涂在玻璃，

塑料及電子顯示屏上后，在增強(qiáng)導(dǎo)電性和透明性的同時(shí)切斷

對(duì)人體有害的電子輻射及紫外、紅外。IT0是一種N型氧化

物半導(dǎo)體-氧化錮錫,IT0薄膜即錮錫氧化物半導(dǎo)體透明導(dǎo)電

膜,通常有兩個(gè)性能指標(biāo)：電阻率和透光率.

二、IT0薄膜的應(yīng)用

IT0薄膜具有優(yōu)良的光電性能,對(duì)可見光的透過率達(dá)95%

以上,對(duì)紅外光的反射率70%,對(duì)紫外線的吸收率285%,對(duì)微

波的衰減率285%導(dǎo)電性和加工性能極好,硬度高且耐磨耐

蝕，因而在工業(yè)上應(yīng)用廣泛,在高技術(shù)領(lǐng)域中起著重要作用。

主要用途有：

(一)用于平面顯示

IT0薄膜的透明導(dǎo)電性及其良好的電極加工性能，所以

它作為液晶顯示器用的透明電極獲得高速發(fā)展，約占功能膜

的50%以上，例如液晶顯示(LCD)、LED、電致發(fā)光顯本(ELD)、

電致彩電顯示(ECD)等。隨著液晶顯示器件的大面積化、高

等級(jí)化和彩色化,LCD將超過CRT成為顯示器件中的主流產(chǎn)

品。因而IT0薄摸主要用于高清晰度的大型彩電、計(jì)算器、

計(jì)算機(jī)顯示器、液晶和電子發(fā)光屏幕等。

（二）用于觸摸屏

目前市場上，使用ITO材料的電阻式觸摸屏和電容式觸

摸屏應(yīng)用最為廣泛。

1、電阻式觸摸屏

薄的ITO透明性好，但是阻抗高；厚的ITO材料

阻抗低，但是透明性會(huì)變差。在PET聚脂薄膜上沉積時(shí)，反

應(yīng)溫度要下降到150度以下，這會(huì)導(dǎo)致IT0氧化不完全，之后

的應(yīng)用中ITO會(huì)暴露在空氣或空氣隔層里，它單位面積阻抗

因?yàn)樽匝趸S時(shí)間變化。這使得電阻式觸摸屏需要經(jīng)常校

正。電阻式觸摸屏的多層結(jié)構(gòu)會(huì)導(dǎo)致很大的光損失，對(duì)于手

持設(shè)備通常需要加大背光源來彌補(bǔ)透光性不好的問題，但這

樣也會(huì)增加電池的消耗。電阻式觸摸屏的優(yōu)點(diǎn)是它的屏和控

制系統(tǒng)都比較便宜，反應(yīng)靈敏度也很好。

2、電容式觸摸屏

電容式觸摸屏也需要使用ITO材料，而且它的功

耗低壽命長,

以得到高的能量轉(zhuǎn)換效率，例如ITO/SiO

2/P-Si太陽能電池可以產(chǎn)生13%?16%的轉(zhuǎn)換效率。ITO

玻璃還可以用于Si太陽能電池的反射涂層以及用于異質(zhì)結(jié)

型A-Si基太陽能電池的透明電極。具有電致變色（EC）的靈巧

窗的典型結(jié)構(gòu)是在普通白玻璃上沉積多層膜,其內(nèi)外層為

ITO膜。研究表明，EC玻璃可使建筑物內(nèi)暖氣、冷氣和照明等

能耗減少50%以上。

（四）用于微波屏蔽和防護(hù)鏡

IT0薄膜有良好的微波屏蔽作用，能防靜電，可用于屏

蔽電磁波的地方,如計(jì)算機(jī)房、雷達(dá)的屏蔽保護(hù)區(qū)，甚至可用

于防雷達(dá)隱形飛機(jī)上。茶色I(xiàn)TO薄膜是鋼、錫氧化物的新品

種,它能防紫外線和紅外線,濾去對(duì)人體有害的紫外波段,因

此鍍IT0膜的玻璃鏡片可作特殊防護(hù)鏡。

三、IT0薄膜的主要制備方法

IT0導(dǎo)電薄膜是用物理的或化學(xué)的方法在基體表面上沉

積得到。基體材料一般采用玻璃，如采用低溫濺射工藝制備

這種薄膜，基體也可以采用塑料等聚合物材料。基體的熱膨

脹系數(shù)對(duì)膜的性質(zhì)有較大的影響，所以選擇基體時(shí)應(yīng)考慮基

體和莫的熱膨脹系數(shù)的匹配問題。

（-）磁控濺射法：磁控濺射法是利用惰性氣體離子轟

擊靶材（一般為高密度的錮錫氧化物靶材），轟擊下來的原子

沉積到襯底上形成薄膜。磁控濺射法采用的靶材有IT靶和

IT0靶兩種。

（二）化學(xué)氣相沉積（CVD）法：CVD法首先是將錮、錫的

有機(jī)鹽氣化,然后在N2或Ar的載氣氣氛中與0力比0或乩。2等反

應(yīng)而得到ITO薄膜。

（三）噴霧熱分解法：噴霧熱分解法是將錮和錫的金屬

鹽溶液霧化后噴在處于高溫區(qū)域的襯底上，經(jīng)過液滴的干

燥、熱分解過程在基體表面得到ITO薄膜。

（四）溶膠-凝膠法：首先得到氫氧化鋼錫溶膠，然后

通過浸涂、煨燒等后續(xù)工藝得到薄膜。

（五）水熱法：水熱法制備薄膜是近年來發(fā)展起來的一

種很有潛力的液相制膜技術(shù)，它一般以廉價(jià)的無機(jī)鹽或氫

氧化物水溶液或懸浮液為前驅(qū)體，以單晶片、金屬片、玻璃

片、甚至塑料等為襯底，將前驅(qū)體和襯底置于密閉反應(yīng)容器

里，通過對(duì)反應(yīng)容器加熱，創(chuàng)造了一個(gè)高溫（通常低于

300℃）、高壓的反應(yīng)環(huán)境，最終在襯底上形成穩(wěn)定結(jié)晶相

薄膜。目前，水熱法制備薄膜的研究主要集中在制備壓電和

鐵電薄膜。

四、電容屏主要供應(yīng)廠商

（-）臺(tái)灣電容屏主要供應(yīng)廠商

BrandBusinessCustomerBaseMajorMarket

宸鴻TPKTPSensor/ModuleApple

奇美CMITPSensor/ModuleApple/HTC

勝華WintekTPSensor/ModuleApple

達(dá)虹CandoTPSensor/ModuleApple/HP

和叁SintekTPSensor/ModuleApple/SonyErisUSA/Korea/Japan

凌達(dá)giantplusLCMModuleHTC

洋華YoungFastModuleHTC/三星/LG

華映CpttLCMModule冠明/Dell/HP

介而JTouchLCMModuleSonyEris/^W/LG

全臺(tái)EDTLCMModule思科/Lexmark/SymbolCHINA/Japan

明興UnidisplayTPSensor/Module群創(chuàng)/三星/小巨Korea/TW/Japan

（二）國內(nèi)電容屏主要供應(yīng)廠商

BrandBusinessCustomerBaseMajorMarket

比亞迪BYDLCMModule金立/康佳/天時(shí)達(dá)

天馬TianmaModule華為/中興/天語

南玻NaBOGlass/ITOGlass東方/宇勝/航天光電

CHINA

牧東MuttoTPSensor海爾/中興/海信/聯(lián)想

信利TrulyTPSensor/Module華為/中興/天語

超聲GoworldTPSensor/Module聯(lián)想/天語

萊寶LaibaoGlass/ITOGlass天馬/信利/超聲CHINA

華意EELYTPSensor察」韋爾/三艮/口節(jié)僚想CHINA/Japan

宇順SuccessTPSensor/Module華為/中興/BBK/支曲

CHINA

長信TokenGlass/ITOGlass天馬/信利/超聲

（三）國外電容屏主要供應(yīng)廠商

BrandBusinessCustomerBaseMajorMarketArea

LG化學(xué)LGModuleLG/OlhersKoreaKorea

DigitechN/ATPSensor三星KoreaKorea

ELKN/ATPSensor/Module^i*/LG/Moto/SonyKorea/JapanKorea

MELFASN/ATPSensor三星Korea/JapanKorea

SynopexN/ATPSensor/Module三星Korea/JapanKorea

寫真NisshaModule1ITCUSA/Korea/Japan/TWJapan

（四）觸控板材料價(jià)值分布

1、Touchsensor（觸控感測器）40%

2、Coverglass（防護(hù)玻璃罩）30%

3、Touchsensorchip（觸摸傳感器芯片）15%

4、Printedcircuitboardsandothercomponents

（電路板及其他部件）15%

五、ITO材料在電容式觸摸屏產(chǎn)業(yè)鏈中的基本情況

（一）行業(yè)綜述

IT0靶材，約占原材料采購成本20%左右。主要由日本

提供，日本目前提供了全球70%左右IT0靶材。日東電工目

前在電阻屏和電容屏的ITOfilm領(lǐng)域都是第一品牌，采取

的是高端市場戰(zhàn)略，大陸廠商由于和日東合作的歷史不長，

從日東采購的ITO