半導(dǎo)體設(shè)備維護(hù)工程師崗位招聘考試試卷及答案一、填空題（共10題，每題1分）1.光刻機(jī)中承載晶圓并實(shí)現(xiàn)高精度定位的部件是______。2.等離子體刻蝕設(shè)備產(chǎn)生等離子體的常用電源是______。3.半導(dǎo)體設(shè)備維護(hù)中測量微小電壓的工具是______。4.晶圓傳輸系統(tǒng)常用的真空機(jī)械手類型是______。5.設(shè)備預(yù)防性維護(hù)（PM）周期通常分為周、月、______三級。6.防止靜電損壞晶圓的關(guān)鍵部件是______。7.CVD設(shè)備加熱晶圓的常見方式有電阻加熱和______。8.故障排查“先外部后內(nèi)部，先電源后負(fù)載”屬于______原則。9.真空系統(tǒng)檢測漏率的常用儀器是______。10.記錄每次維護(hù)操作的文檔是______。答案：1.晶圓臺2.射頻電源（RF）3.高精度萬用表4.真空機(jī)械手（EndEffector）5.季度/年6.靜電消除器（離子風(fēng)扇）7.感應(yīng)加熱8.故障排查9.氦質(zhì)譜檢漏儀10.維護(hù)日志二、單項(xiàng)選擇題（共10題，每題2分）1.以下不屬于半導(dǎo)體核心制造設(shè)備的是？A.光刻機(jī)B.刻蝕機(jī)C.洗衣機(jī)D.CVD設(shè)備答案：C2.ESD防護(hù)的無效措施是？A.接地B.離子風(fēng)扇C.穿防靜電服D.直接觸摸晶圓答案：D3.反應(yīng)離子刻蝕（RIE）的主要特點(diǎn)是？A.各向同性B.各向異性C.僅刻蝕金屬D.僅刻蝕介質(zhì)答案：B4.預(yù)防性維護(hù)的主要目的不包括？A.降低故障頻率B.提高生產(chǎn)效率C.延長設(shè)備壽命D.增加耗材消耗答案：D5.旋片泵的主要作用是獲得？A.高真空B.粗真空C.加熱晶圓D.傳輸晶圓答案：B6.測量機(jī)械振動的工具是？A.示波器B.振動分析儀C.萬用表D.光譜儀答案：B7.控制氣體流量的部件是？A.MFCB.PLCC.CPUD.真空泵答案：A8.常見設(shè)備報(bào)警“E001”通常代表？A.電源故障B.溫度過高C.真空泄漏D.耗材耗盡答案：A9.晶圓清洗液不包括？A.去離子水B.氫氟酸C.酒精D.汽油答案：D10.更換耗材應(yīng)遵循的原則是？A.先拆后裝B.記錄參數(shù)C.不用清潔D.隨意更換答案：B三、多項(xiàng)選擇題（共10題，每題2分）1.半導(dǎo)體設(shè)備維護(hù)安全規(guī)范包括？A.LOTO鎖存掛牌B.穿PPEC.化學(xué)品安全D.高空防護(hù)答案：ABCD2.光刻機(jī)關(guān)鍵子系統(tǒng)包括？A.光學(xué)系統(tǒng)B.晶圓臺C.掩模臺D.傳輸系統(tǒng)答案：ABCD3.故障排查常用方法有？A.觀察法B.測試法C.替換法D.邏輯分析法答案：ABCD4.真空系統(tǒng)組成部件包括？A.真空泵B.真空計(jì)C.閥門D.管路答案：ABCD5.設(shè)備維護(hù)耗材包括？A.過濾器B.密封圈C.電極片D.晶圓答案：ABC6.等離子體刻蝕影響因素包括？A.氣體種類B.壓力C.功率D.溫度答案：ABCD7.維護(hù)文檔類型包括？A.維護(hù)手冊B.故障記錄C.校準(zhǔn)報(bào)告D.培訓(xùn)記錄答案：ABCD8.預(yù)防性維護(hù)內(nèi)容包括？A.清潔過濾器B.更換密封圈C.校準(zhǔn)傳感器D.修復(fù)故障答案：ABC9.常用傳感器類型包括？A.溫度傳感器B.壓力傳感器C.流量傳感器D.位置傳感器答案：ABCD10.維護(hù)人員需掌握的技能包括？A.機(jī)械維修B.電氣調(diào)試C.軟件操作D.化學(xué)分析答案：ABCD四、判斷題（共10題，每題2分）1.ESD會損壞晶圓，需嚴(yán)格防護(hù)。（√）2.光刻機(jī)分辨率僅與光源波長有關(guān)。（×）3.分子泵可直接從大氣壓獲得高真空。（×）4.PM需按固定周期執(zhí)行，無需考慮設(shè)備狀態(tài)。（×）5.CVD氣體純度不影響沉積質(zhì)量。（×）6.晶圓傳輸機(jī)械手精度影響定位準(zhǔn)確性。（√）7.故障排查可直接斷電拆卸內(nèi)部部件。（×）8.各向異性刻蝕適合高深寬比結(jié)構(gòu)。（√）9.更換過濾器后無需校準(zhǔn)。（×）10.維護(hù)日志僅記錄故障維修。（×）五、簡答題（共4題，每題5分）1.簡述LOTO鎖存掛牌的作用及要點(diǎn)。答案：LOTO是防止設(shè)備意外啟動的安全措施，作用是避免觸電、機(jī)械傷害。要點(diǎn)：①識別所有電源/氣源；②斷開并鎖上開關(guān)；③掛牌標(biāo)注維護(hù)人、時(shí)間、內(nèi)容；④測試確認(rèn)能源切斷；⑤維護(hù)后按流程移除鎖牌。需嚴(yán)格執(zhí)行，防止誤操作。2.PM與CM的區(qū)別是什么？答案：PM是主動維護(hù)，按周期清潔、換耗材、校準(zhǔn)，預(yù)防故障；CM是被動維護(hù)，故障后修復(fù)。PM降低CM頻率，減少停機(jī)；CM是應(yīng)急處理，成本高。兩者結(jié)合是設(shè)備維護(hù)核心策略。3.真空系統(tǒng)漏率檢測的常用方法及注意事項(xiàng)？答案：常用方法：氦質(zhì)譜檢漏儀（噴氦/吸氦法）、壓力衰減法。注意：①檢測前抽至合適壓力；②噴氦量適中，避免污染；③重點(diǎn)檢查密封圈、閥門；④記錄漏率，超閾值維修。4.晶圓傳輸系統(tǒng)常見故障及排查思路？答案：常見故障：定位不準(zhǔn)、卡頓、真空泄漏。排查：①定位不準(zhǔn)：查機(jī)械臂校準(zhǔn)、編碼器；②卡頓：清潔導(dǎo)軌、潤滑、除異物；③泄漏：查密封圈、管路、真空計(jì)。步驟：觀察→測試信號→替換可疑部件→驗(yàn)證。六、討論題（共2題，每題5分）1.如何平衡設(shè)備維護(hù)成本與生產(chǎn)效率？答案：①優(yōu)化PM周期：按設(shè)備數(shù)據(jù)調(diào)整，避免過度維護(hù)；②分類維護(hù)：關(guān)鍵設(shè)備重點(diǎn)維護(hù)，非關(guān)鍵簡化；③技能培訓(xùn)：提升維護(hù)人員效率；④耗材管理：按需采購，減少庫存；⑤數(shù)據(jù)驅(qū)動：用CMMS分析故障規(guī)律，提前預(yù)防。核心是穩(wěn)定設(shè)備前提下，降成本提效率。2.突發(fā)故障導(dǎo)致生產(chǎn)線停機(jī)，如何應(yīng)對？答案：①快速響應(yīng)