高端光刻機輔助設(shè)備運維技師（中級）考試試卷及答案一、填空題（每題1分，共10分）1.高端光刻機輔助設(shè)備中，常用的高真空核心部件是______泵。2.浸沒式光刻機去離子水電阻率要求不低于______MΩ·cm。3.氣路系統(tǒng)過濾微塵的核心部件是______過濾器。4.激光對準系統(tǒng)校準周期一般為______個月。5.溫控系統(tǒng)精度需控制在±______℃以內(nèi)。6.真空鎖腔主要減少______時間。7.檢測氣體純度的儀器是______分析儀。8.勻膠機轉(zhuǎn)速范圍通常可達______rpm以上。9.氣動元件密封件常用材質(zhì)是______。10.故障代碼E001通常代表______系統(tǒng)故障。二、單項選擇題（每題2分，共20分）1.高真空環(huán)境常用泵是？A.離心泵B.分子泵C.齒輪泵D.柱塞泵2.去離子水濾芯更換周期一般為？A.1個月B.3個月C.6個月D.12個月3.不屬于溫控異常的是？A.溫度波動±0.2℃B.加熱棒不啟動C.冷卻液泄漏D.傳感器漂移4.光刻機氮氣純度需達到？A.99%B.99.9%C.99.999%D.99.9999%5.斷電操作正確順序是？A.先斷負載再斷電源B.先斷電源再斷負載C.直接斷電D.無順序6.真空泄漏檢測常用方法是？A.肥皂水法B.紅外檢測C.氦質(zhì)譜檢漏D.水壓試驗7.勻膠機核心部件是？A.電機B.膠杯C.噴嘴D.傳感器8.導(dǎo)致光刻精度下降的故障是？A.氣路微塵超標B.水溫正常C.真空度達標D.校準正常9.日常點檢不包括？A.壓力讀數(shù)B.溫度記錄C.零件更換D.泄漏檢查10.維護記錄應(yīng)保存至少？A.1年B.2年C.3年D.5年三、多項選擇題（每題2分，共20分）1.真空系統(tǒng)組成包括？A.分子泵B.機械泵C.真空計D.過濾器2.溫控系統(tǒng)維護要點包括？A.檢查冷卻液液位B.校準傳感器C.清理換熱器D.更換加熱棒3.前處理設(shè)備包括？A.勻膠機B.顯影機C.清洗機D.光刻機本體4.故障排查需記錄的信息包括？A.故障時間B.現(xiàn)象C.操作步驟D.維修結(jié)果5.氣路安全要求包括？A.定期檢漏B.過濾微塵C.控制流量D.接地保護6.分子泵維護注意事項包括？A.避免撞擊B.定期潤滑C.檢查轉(zhuǎn)速D.斷電后立即拆卸7.去離子水檢測項目包括？A.電阻率B.顆粒數(shù)C.pH值D.細菌數(shù)8.校準項目包括？A.激光對準精度B.真空度校準C.溫度校準D.轉(zhuǎn)速校準9.故障類型包括？A.機械故障B.電氣故障C.氣路故障D.軟件故障10.維護工具包括？A.萬用表B.檢漏儀C.校準儀D.扳手四、判斷題（每題2分，共20分）1.分子泵可在大氣壓下啟動。（）2.去離子水電阻率越高越好。（）3.冷卻液可用自來水代替。（）4.氣路過濾器無需定期更換。（）5.真空鎖腔減少抽真空時間。（）6.勻膠機轉(zhuǎn)速越高膠膜越厚。（）7.維護記錄只需記錄故障維修。（）8.氦質(zhì)譜檢漏是真空泄漏常用方法。（）9.密封件可用普通橡膠代替。（）10.斷電后需等待10分鐘再維護。（）五、簡答題（每題5分，共20分）1.簡述真空系統(tǒng)日常維護要點。2.說明溫控異常的常見原因及排查步驟。3.簡述去離子水系統(tǒng)維護周期及檢測項目。4.說明故障排查基本流程。六、討論題（每題5分，共10分）1.討論如何預(yù)防輔助設(shè)備機械故障？2.分析氣路泄漏對工藝的影響及應(yīng)對措施。---參考答案一、填空題1.分子2.183.高效（HEPA）4.65.0.16.抽真空7.氣體8.100009.氟橡膠10.真空二、單項選擇題1.B2.B3.A4.D5.A6.C7.A8.A9.C10.C三、多項選擇題1.ABCD2.ABCD3.ABC4.ABCD5.ABCD6.ABC7.ABCD8.ABCD9.ABCD10.ABCD四、判斷題1.×2.√3.×4.×5.√6.×7.×8.√9.×10.√五、簡答題1.①每日檢查真空計讀數(shù)，確認前腔≤1E-3Pa、主腔≤1E-6Pa；②每周檢查機械泵油位/油質(zhì)，發(fā)黑則更換；③每月檢查分子泵轉(zhuǎn)速（額定30000rpm）；④每季度用氦質(zhì)譜檢漏，重點查法蘭/閥門；⑤記錄維護后真空度變化，異常排查泄漏或泵故障。2.常見原因：冷卻液泄漏、傳感器漂移、加熱棒損壞、換熱器堵塞。排查步驟：①查看溫控面板波動；②檢查冷卻液液位并檢漏；③萬用表測傳感器電阻對比標定值；④測加熱棒電阻確認斷路；⑤清理換熱器，異常查循環(huán)泵。3.維護周期：濾芯3個月、樹脂再生6個月、系統(tǒng)清洗12個月。檢測項目：電阻率≥18MΩ·cm、顆粒數(shù)≤10個/L（≥0.1μm）、pH6.5-7.5、細菌數(shù)≤1CFU/mL。4.①確認故障現(xiàn)象（時間、表現(xiàn)）；②初步定位系統(tǒng)（真空/溫控等）；③現(xiàn)場檢查儀表/部件狀態(tài)；④逐步排除無關(guān)部件測試；⑤更換故障件后驗證；⑥記錄歸檔（原因、方法、結(jié)果）。六、討論題1.①日常點檢：每日查運動部件異響/溫度，及時潤滑；②定期潤滑：每季度加注指定潤滑脂；③換易損件：按周期換密封件/皮帶；④環(huán)境控制：保持清潔防灰塵進入；⑤操作規(guī)范：培