半導體廠務項目工程管理項目八化學品分類任務8-2化學品供應方式介紹任務8-2化學品供應方式介紹1.CCSS化學品中央供應系統(tǒng)中文英文介紹化學品系統(tǒng)chemicalsystem工廠中酸堿化學品、溶劑、研磨液化學品系統(tǒng)的統(tǒng)稱化學品供應系統(tǒng)chemicalsupplysystem工廠中酸堿化學品、溶劑、研磨液化學品供應系統(tǒng)設備與管道的統(tǒng)稱化學品回收系統(tǒng)chemicalreclaimingsystem工廠中酸堿化學品、溶劑、研磨液化學品回收系統(tǒng)設備與管道的統(tǒng)稱化學品槽車chemicallorry工廠中輸送大量化學品的專業(yè)車輛化學品桶槽chemicalcontainer工廠中存儲化學品小容積容器，放置在化學品間或單元內部化學品儲罐chemicalstoragetank工廠中用于儲存大量化學品容器，固定布置在化學品存儲或分配間閥門箱valvemanifoldbox(VMB)指化學品通過供應管道可同時供應兩臺或以上生產設備分支閥箱teebox(TB)化學品供應系統(tǒng)中存在兩個或以上閥門箱的管道分配箱擴充閥箱futureteebox(F-TB)為了滿足系統(tǒng)擴充而設計的末端擴充箱取樣閥箱samplingbox(SB)化學品供應管道取樣閥箱清潔連接設備cleancouplingbox(CCB)將槽車原液輸送至桶槽儲存的供應機臺化學品監(jiān)控系統(tǒng)chemicalmonitorandcomtrolsystem用于化學品系統(tǒng)進行實時遠程狀態(tài)監(jiān)控、狀態(tài)顯示、系統(tǒng)報警、收集數(shù)據(jù)等功能任務8-2化學品供應方式介紹2.CCSS化學品中央供應系統(tǒng)包裝方式（1）小容量——罐桶（Drum）200L一般適合使用量較小的化學品，化學品罐桶的外觀尺寸約為φ600×900cm，一般采用四桶置于一個托盤上的包裝方式。在集成電路IC廠中使用的比較多。任務8-2化學品供應方式介紹2.CCSS化學品中央供應系統(tǒng)包裝方式（2）中容量——罐箱（Tote）1000L1000L罐箱的化學品包裝方式一般適用于使用量中等的化學品。化學品罐箱的外觀尺寸約為1200×1000×1160cm，在太陽能廠中使用的比較多。任務8-2化學品供應方式介紹2.CCSS化學品中央供應系統(tǒng)包裝方式（3）大容量——槽車（Lorry）槽車的包裝方式適合使用量非常大的化學品。槽車的容積有多種選擇，常見的有6m3、10m3、15m3等不同容積。清潔連接設備CCB將化學品由槽車以氮氣加壓的形式直接輸送至儲存罐Tank處。CCSS化學品中央供應系統(tǒng)主要供應方式任務8-2化學品供應方式介紹【任務實施】濕電子化學品的分類任務8-2化學品供應方式介紹【任務實施】濕電子化學品的分類Drum直供系統(tǒng)化學品存放在專門的化學品Drum罐桶中。罐桶放置于化學品供應單元內，也就是CDM中，通過泵系統(tǒng)將化學品從罐桶中抽取，直接通過管道經過T-box與對應的VMB閥箱連接。VMB再經過支管與相應的制程機臺相連接。適用于用量相對中等的化學品供應任務8-2化學品供應方式介紹【任務實施】濕電子化學品的分類2.SupplyTank直供系統(tǒng)化學品是存放于大型儲罐中，由儲罐經過耐腐蝕的泵系統(tǒng)和管道，輸送至CDM的化學罐中，而不是直接由儲罐供應?；瘜W品再經過T-box與VMB相連，最終輸送至相應的制程機臺處。適用于大量使用的化學品供應任務8-2化學品供應方式介紹【任務實施】濕電子化學品的分類3.N2氮壓供應系統(tǒng)N2氮壓供應系統(tǒng)利用氮氣作為壓力源，將化學品從儲罐中壓出并供應至生產設備?；瘜W品存儲在高純度密封容器內，氮氣壓力確?；瘜W品在運輸過程中不與空氣接觸，避免污染和氧化。適用于對化學品純度要求較高的工藝流程任務8-2化學品供應方式介紹【任務實施】濕電子化學品的分類4.混酸稀釋供應系統(tǒng)混酸稀釋供應系統(tǒng)專門用于供應混合酸液（例如硫酸和氫氟酸的混合物），系統(tǒng)內設有自動稀釋裝置，將高濃度的酸與純水按設定比例混合，得到所需濃度的混酸。稀釋后的酸液通過管道輸送至生產設備。任務8-2化學品供應方式介紹【任務實施】濕電子化學品的分類5.

Lorry槽車供應系統(tǒng)Lorry槽車供應系統(tǒng)通過槽車將大量化學品直接運輸至半導體廠，并通過槽車充填單元CCB將其卸載并儲存至儲罐中。該系統(tǒng)適用于大量使用且需要定期補充的化學品。CCSS化學品中央供應系統(tǒng)主要組成任務8-2化學品供應方式介紹【任務實施】以Drum直供系統(tǒng)為例CDMCDM由獨立PLC及人機界面控制，可以自動控制化學品的供應，實現(xiàn)無人值守；同時可以自動切換供應桶，并發(fā)出供應桶空桶報警。任務8-2化學品供應方式介紹【任務實施】以Drum直供系統(tǒng)為例CDM任務8-2化學品供應方式介紹【任務實施】以Drum直供系統(tǒng)為例CDM酸堿化學品CDM有機化學品CDM任務8-2化學品供應方式介紹【任務實施】以Drum直供系統(tǒng)為例2.TboxTbox配置有兩路支管，用于與相對應的VMB的連接。箱內還配置一個漏液偵測器，如果管道有化學品泄露，發(fā)出警報，并切斷供應，保證供液的安全管理。。任務