半導體廠務項目工程管理項目三FMCS監(jiān)控系統(tǒng)任務3-2FMCS監(jiān)控系統(tǒng)儀器選型任務3-2FMCS監(jiān)控系統(tǒng)儀器選型FMCS監(jiān)控系統(tǒng)儀器選型半導體廠務FMCS監(jiān)控系統(tǒng)儀器選型主要集中于現(xiàn)場PLC控制設備層，例如選擇合適的PLC控制器，選擇合適的儀表傳感器。FMCS監(jiān)控系統(tǒng)儀器選型的最終目標是通過高精度的傳感器和監(jiān)控設備，實時采集生產(chǎn)過程中的關鍵數(shù)據(jù)，如溫度、濕度、水質(zhì)、壓差、空氣質(zhì)量等，并對采集到的數(shù)據(jù)進行實時分析，及時發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)過程中的異常情況，為廠務工程師和管理人員提供決策支持。任務3-2FMCS監(jiān)控系統(tǒng)儀器選型1.PLC選型在FMCS系統(tǒng)及其各子系統(tǒng)的自動控制系統(tǒng)中，一般都采用獨立的冗余型PLC控制器。冗余型PLC控制器具有雙CPU硬件冗余、雙通信模塊冗余、雙電源模塊冗余和雙通信總線冗余等特點，各部分互為備用，能夠及時掌握CPU、內(nèi)存、同步模塊的狀態(tài)，CPU修復后能夠自動進入冗余模式。同時在運行中冗余型PLC的模塊可以更換，將CPU停機的可能性降到最低，確保控制系統(tǒng)的可靠性和穩(wěn)定性。任務3-2FMCS監(jiān)控系統(tǒng)儀器選型1.PLC選型冗余PLC組部件主要包括CPU模塊、電源模塊、以太網(wǎng)模塊、冗余模塊、底座和同步光纖等。在選型時，應考慮PLC控制器的性能、穩(wěn)定性、兼容性以及維護成本等因素。例如，SIEMENSS7-400H冗余PLC就是一種常用的選擇，其模塊類型包括S7-400系列和S7300系列，能夠滿足不同規(guī)模和復雜度的FMCS系統(tǒng)需求。任務3-2FMCS監(jiān)控系統(tǒng)儀器選型2.流量計選型流量計是FMCS系統(tǒng)中用于測量流體流量的重要儀器。根據(jù)測量介質(zhì)和測量精度的要求，可以選擇不同類型的流量計。例如，超聲波流量計適用于PCW等介質(zhì)，能夠實現(xiàn)非接觸式測量技術，使用時只需將其捆綁在管道外壁，測量精度為2-3%。任務3-2FMCS監(jiān)控系統(tǒng)儀器選型2.流量計選型電磁流量計適用于冷凍水、冷卻水、熱水等多種介質(zhì)，使用方式為一體插入式，傳感器本體材料為304不銹鋼材質(zhì)、電極為316L不銹鋼材質(zhì)，測量精度為1.5%。任務3-2FMCS監(jiān)控系統(tǒng)儀器選型2.流量計選型渦街流量計適用于壓縮空氣等介質(zhì)，使用方式為法蘭式，流量計本體為304不銹鋼材質(zhì)，測量精度為1.5%。在流量計選型時，應綜合考慮測量介質(zhì)、測量精度、安裝環(huán)境以及成本等因素。任務3-2FMCS監(jiān)控系統(tǒng)儀器選型3.其他傳感器選型FMCS系統(tǒng)中需要用到多種傳感器來監(jiān)測溫度、濕度、壓力、壓差等參數(shù)。例如，壓差傳感器可以用于監(jiān)測潔凈室的壓差變化，確保潔凈室的潔凈度；溫度傳感器和濕度傳感器則可以用于監(jiān)測空調(diào)系統(tǒng)的溫濕度變化，確保生產(chǎn)環(huán)境的舒適度。在選型時，應考慮傳感器的測量范圍、測量精度、穩(wěn)定性以及響應時間等因素。任務3-2FMCS監(jiān)控系統(tǒng)儀器選型3.其他傳感器選型SIEMENS的QBE3100-D