靜電防護管理標準一、范圍本標準規(guī)定了公司內(nèi)靜電防護的管理要求、技術(shù)要求、檢測與監(jiān)控、人員培訓、文件管理及持續(xù)改進等內(nèi)容。適用于公司內(nèi)所有涉及靜電敏感產(chǎn)品（如半導體器件、集成電路、精密電子元件等）的生產(chǎn)、研發(fā)、倉儲、運輸及維修等環(huán)節(jié)，以及可能產(chǎn)生靜電危害的工作場所。二、術(shù)語和定義（一）靜電敏感產(chǎn)品（ESDS）對靜電放電（ESD）敏感，可能因靜電放電導致性能下降、功能失效或損壞的產(chǎn)品。例如，MOS場效應管、CMOS集成電路、微波器件等。（二）靜電放電（ESD）兩個具有不同靜電電位的物體之間的靜電電荷轉(zhuǎn)移。這種轉(zhuǎn)移可能通過直接接觸或靜電感應發(fā)生，產(chǎn)生的瞬間電流可能對靜電敏感產(chǎn)品造成損害。（三）靜電防護區(qū)（EPA）為防止靜電危害而建立的特定區(qū)域，在該區(qū)域內(nèi)采取了一系列靜電防護措施，以將靜電電位控制在安全范圍內(nèi)。例如，電子元件的生產(chǎn)車間、實驗室等。（四）接地將物體通過導體與大地連接，以消除物體上的靜電電荷。接地是靜電防護的基本措施之一，可分為直接接地和間接接地。（五）靜電耗散材料表面電阻在10^6Ω至10^11Ω之間的材料，能夠緩慢地釋放靜電電荷，防止靜電積累。例如，靜電耗散工作臺面、靜電耗散地板等。（六）導電材料表面電阻小于10^6Ω的材料，能夠快速地傳導靜電電荷。例如，金屬材料、導電橡膠等。（七）靜電屏蔽利用導電材料或靜電耗散材料制成的屏蔽體，將靜電敏感產(chǎn)品與外界靜電場隔離，防止靜電感應。例如，靜電屏蔽袋、靜電屏蔽箱等。三、管理要求（一）組織與職責公司管理層：負責批準靜電防護管理標準，提供必要的資源支持，確保靜電防護工作的有效實施。靜電防護管理部門：負責制定和修訂靜電防護管理標準，組織實施靜電防護培訓，監(jiān)督檢查靜電防護措施的執(zhí)行情況，協(xié)調(diào)解決靜電防護工作中出現(xiàn)的問題。生產(chǎn)部門：負責在生產(chǎn)過程中嚴格執(zhí)行靜電防護管理標準，確保生產(chǎn)設備、工具、材料等符合靜電防護要求，對生產(chǎn)人員進行靜電防護操作培訓。研發(fā)部門：負責在研發(fā)過程中考慮靜電防護要求，設計靜電防護方案，對研發(fā)產(chǎn)品進行靜電敏感性測試。倉儲部門：負責靜電敏感產(chǎn)品的倉儲管理，確保倉儲環(huán)境符合靜電防護要求，對倉儲人員進行靜電防護操作培訓。運輸部門：負責靜電敏感產(chǎn)品的運輸管理，確保運輸工具、包裝材料等符合靜電防護要求，對運輸人員進行靜電防護操作培訓。質(zhì)量部門：負責對靜電敏感產(chǎn)品的質(zhì)量進行檢驗，監(jiān)督檢查靜電防護措施對產(chǎn)品質(zhì)量的影響，參與靜電防護事故的調(diào)查與分析。（二）文件管理靜電防護管理標準：由靜電防護管理部門制定，經(jīng)公司管理層批準后發(fā)布實施。標準應明確靜電防護的范圍、術(shù)語和定義、管理要求、技術(shù)要求、檢測與監(jiān)控、人員培訓、文件管理及持續(xù)改進等內(nèi)容。靜電防護作業(yè)指導書：由各相關(guān)部門根據(jù)靜電防護管理標準制定，明確本部門靜電防護的具體操作流程和要求。作業(yè)指導書應包括靜電防護區(qū)的建立與維護、人員靜電防護、設備與工具靜電防護、材料與包裝靜電防護等內(nèi)容。靜電防護檢測報告：由靜電防護管理部門或委托第三方檢測機構(gòu)出具，記錄靜電防護檢測的結(jié)果。檢測報告應包括檢測項目、檢測方法、檢測結(jié)果、結(jié)論等內(nèi)容。靜電防護培訓記錄：由靜電防護管理部門或各相關(guān)部門記錄，記錄人員參加靜電防護培訓的情況。培訓記錄應包括培訓時間、培訓內(nèi)容、培訓人員、考核結(jié)果等內(nèi)容。靜電防護事故報告：由發(fā)生靜電防護事故的部門填寫，記錄事故發(fā)生的時間、地點、原因、損失情況及處理措施等內(nèi)容。事故報告應及時上報靜電防護管理部門。（三）人員培訓培訓對象：公司內(nèi)所有涉及靜電敏感產(chǎn)品的生產(chǎn)、研發(fā)、倉儲、運輸及維修等環(huán)節(jié)的人員，以及靜電防護管理部門的人員。培訓內(nèi)容：靜電的產(chǎn)生與危害、靜電防護的基本原理、靜電防護管理標準、靜電防護作業(yè)指導書、靜電防護設備與工具的使用方法、靜電防護檢測方法等。培訓方式：采用理論培訓與實際操作培訓相結(jié)合的方式，可邀請外部專家進行培訓，也可由公司內(nèi)部靜電防護專業(yè)人員進行培訓。培訓頻率：新員工入職時應進行靜電防護培訓，在職員工每年至少進行一次靜電防護復訓。培訓考核：培訓結(jié)束后應對培訓人員進行考核，考核合格后方可上崗?？己朔绞娇刹捎霉P試、實際操作等方式。四、技術(shù)要求（一）靜電防護區(qū)（EPA）的建立與維護EPA的選址：應選擇遠離靜電干擾源（如高壓設備、大功率電器、頻繁開關(guān)的門等）的區(qū)域作為EPA。EPA的邊界：應明確EPA的邊界，可采用物理隔離（如圍墻、柵欄等）或標識隔離（如警示線、警示標識等）的方式。EPA的接地系統(tǒng)：EPA內(nèi)的所有導電物體（如工作臺面、設備、工具、人員等）應可靠接地。接地系統(tǒng)的接地電阻應小于10Ω。EPA的地面：EPA內(nèi)的地面應采用靜電耗散材料或?qū)щ姴牧箱佋O，表面電阻應符合相關(guān)標準要求。地面應保持清潔、干燥，避免積水和灰塵積累。EPA的空氣濕度：EPA內(nèi)的空氣濕度應控制在40%至60%之間。當空氣濕度低于40%時，應采取加濕措施；當空氣濕度高于60%時，應采取除濕措施。EPA的靜電消除設備：EPA內(nèi)應配備必要的靜電消除設備，如離子風機、離子風槍等。靜電消除設備應定期進行檢測和維護，確保其性能符合要求。EPA的標識：EPA內(nèi)應設置明顯的靜電防護標識，如“靜電防護區(qū)”、“請接地”、“禁止帶入非靜電防護物品”等。標識應清晰、醒目，易于識別。EPA的維護：應定期對EPA進行維護，檢查接地系統(tǒng)、地面、空氣濕度、靜電消除設備等是否符合要求，及時更換損壞的設備和材料。（二）人員靜電防護人員接地：進入EPA的人員應佩戴防靜電手腕帶或防靜電腳腕帶，并可靠接地。防靜電手腕帶的接地電阻應小于1MΩ，防靜電腳腕帶的接地電阻應小于10MΩ。防靜電服裝：進入EPA的人員應穿著防靜電服裝，包括防靜電上衣、防靜電褲子、防靜電鞋等。防靜電服裝的表面電阻應符合相關(guān)標準要求。防靜電鞋：進入EPA的人員應穿著防靜電鞋，鞋底應采用靜電耗散材料或?qū)щ姴牧现瞥伞７漓o電鞋的表面電阻應符合相關(guān)標準要求。人員行為規(guī)范：進入EPA的人員應遵守以下行為規(guī)范：禁止在EPA內(nèi)梳頭、脫衣服、拍打衣物等可能產(chǎn)生靜電的行為。禁止在EPA內(nèi)使用非靜電防護的物品（如普通塑料袋、普通紙張等）。禁止在EPA內(nèi)吸煙、飲食等。操作靜電敏感產(chǎn)品時，應輕拿輕放，避免摩擦和碰撞。（三）設備與工具的靜電防護設備接地：EPA內(nèi)的所有設備（如生產(chǎn)設備、檢測設備、辦公設備等）應可靠接地。設備的接地電阻應小于10Ω。工具接地：EPA內(nèi)的所有工具（如螺絲刀、鑷子、鉗子等）應可靠接地。工具的接地電阻應小于10Ω。設備與工具的材料：設備與工具的表面應采用靜電耗散材料或?qū)щ姴牧现瞥?，避免使用絕緣材料。設備與工具的維護：應定期對設備與工具進行維護，檢查接地系統(tǒng)、表面電阻等是否符合要求，及時更換損壞的設備和工具。（四）材料與包裝的靜電防護材料的選擇：應選擇靜電耗散材料或?qū)щ姴牧献鳛樯a(chǎn)、研發(fā)、倉儲、運輸?shù)拳h(huán)節(jié)中與靜電敏感產(chǎn)品接觸的材料。例如，靜電耗散工作臺面、靜電耗散地板、靜電屏蔽袋等。包裝材料的選擇：靜電敏感產(chǎn)品的包裝應采用靜電屏蔽材料或靜電耗散材料制成，如靜電屏蔽袋、靜電屏蔽箱等。包裝材料的表面電阻應符合相關(guān)標準要求。包裝的要求：靜電敏感產(chǎn)品的包裝應密封良好，防止靜電敏感產(chǎn)品與外界靜電場接觸。包裝上應標明靜電敏感產(chǎn)品的標識和靜電防護要求。材料與包裝的存儲：材料與包裝應存儲在干燥、通風、清潔的環(huán)境中，避免與尖銳物體、腐蝕性物質(zhì)等接觸。（五）靜電敏感產(chǎn)品的處理靜電敏感產(chǎn)品的接收：接收靜電敏感產(chǎn)品時，應檢查產(chǎn)品的包裝是否完好，是否有靜電敏感產(chǎn)品的標識。如發(fā)現(xiàn)包裝損壞或標識不清，應拒絕接收。靜電敏感產(chǎn)品的存儲：靜電敏感產(chǎn)品應存儲在EPA內(nèi)的專用貨架上，避免與其他物品混放。存儲環(huán)境的溫度、濕度應符合產(chǎn)品要求。靜電敏感產(chǎn)品的搬運：搬運靜電敏感產(chǎn)品時，應使用防靜電搬運工具（如防靜電推車、防靜電托盤等），避免產(chǎn)品與地面、墻壁等摩擦。靜電敏感產(chǎn)品的生產(chǎn)：生產(chǎn)靜電敏感產(chǎn)品時，應在EPA內(nèi)進行，操作人員應佩戴防靜電手腕帶或防靜電腳腕帶，穿著防靜電服裝和防靜電鞋。生產(chǎn)設備、工具、材料等應符合靜電防護要求。靜電敏感產(chǎn)品的檢測：檢測靜電敏感產(chǎn)品時，應使用防靜電檢測設備，避免檢測過程中產(chǎn)生靜電放電。檢測人員應佩戴防靜電手腕帶或防靜電腳腕帶，穿著防靜電服裝和防靜電鞋。靜電敏感產(chǎn)品的維修：維修靜電敏感產(chǎn)品時，應在EPA內(nèi)進行，維修人員應佩戴防靜電手腕帶或防靜電腳腕帶，穿著防靜電服裝和防靜電鞋。維修設備、工具、材料等應符合靜電防護要求。靜電敏感產(chǎn)品的運輸：運輸靜電敏感產(chǎn)品時，應使用防靜電運輸工具（如防靜電卡車、防靜電集裝箱等），包裝應密封良好，防止靜電敏感產(chǎn)品與外界靜電場接觸。運輸過程中應避免劇烈震動和碰撞。五、檢測與監(jiān)控（一）檢測項目與方法接地電阻檢測：采用接地電阻測試儀檢測接地系統(tǒng)的接地電阻，檢測方法應符合相關(guān)標準要求。接地電阻應小于10Ω。表面電阻檢測：采用表面電阻測試儀檢測靜電耗散材料和導電材料的表面電阻，檢測方法應符合相關(guān)標準要求。表面電阻應符合相關(guān)標準要求。靜電電位檢測：采用靜電電位測試儀檢測物體表面的靜電電位，檢測方法應符合相關(guān)標準要求。靜電電位應控制在安全范圍內(nèi)。離子平衡度檢測：采用離子平衡度測試儀檢測離子風機、離子風槍等靜電消除設備的離子平衡度，檢測方法應符合相關(guān)標準要求。離子平衡度應符合相關(guān)標準要求。靜電放電敏感度檢測：采用靜電放電模擬器檢測靜電敏感產(chǎn)品的靜電放電敏感度，檢測方法應符合相關(guān)標準要求。靜電放電敏感度應符合產(chǎn)品要求。（二）檢測頻率接地電阻檢測：每月至少檢測一次。表面電阻檢測：每季度至少檢測一次。靜電電位檢測：每周至少檢測一次。離子平衡度檢測：每月至少檢測一次。靜電放電敏感度檢測：新產(chǎn)品研發(fā)時應進行靜電放電敏感度檢測，批量生產(chǎn)前應進行靜電放電敏感度驗證，生產(chǎn)過程中應定期進行靜電放電敏感度抽檢。（三）檢測記錄與報告檢測記錄：檢測人員應如實記錄檢測結(jié)果，包括檢測項目、檢測方法、檢測時間、檢測地點、檢測人員、檢測結(jié)果等內(nèi)容。檢測記錄應妥善保存，保存期限不少于3年。檢測報告：檢測結(jié)束后，檢測人員應出具檢測報告，報告應包括檢測目的、檢測范圍、檢測依據(jù)、檢測項目、檢測方法、檢測結(jié)果、結(jié)論等內(nèi)容。檢測報告應經(jīng)檢測人員簽字確認，并加蓋檢測機構(gòu)公章。異常情況處理：如發(fā)現(xiàn)檢測結(jié)果不符合要求，應立即采取措施進行整改，整改后應重新進行檢測。如整改后仍不符合要求，應停止相關(guān)作業(yè)，查明原因并采取糾正措施。六、持續(xù)改進（一）數(shù)據(jù)分析定期對靜電防護檢測數(shù)據(jù)、靜電防護事故數(shù)據(jù)等進行分析，找出靜電防護工作中存在的問題和不足。（二）糾正措施針對數(shù)據(jù)分析中發(fā)現(xiàn)的問題和不足，制定糾正措施，明確責任人和完成時間。糾正措施應具有針對性和可操作性。（三）預防措施根據(jù)靜電防護工作的經(jīng)驗和教訓，制定預防措施，防止類似問題的再次發(fā)生。預防措施應具有前瞻性和有效性。（四）管理評審每年至少進行一次靜電防護管理評審，評審靜電防護管理標準的適宜性、充分性和有效性，評審靜電防護工作的績效，提出改進意見和建議。管理評審應由公司管理層主持，各相關(guān)部門負責人參加。七、附錄（一）靜電防護標識靜電敏感產(chǎn)品標識：用于標識靜電敏感產(chǎn)品，標識圖案為一個三角形，內(nèi)部有一個閃電符號。靜電防護區(qū)標識：用于標識靜電防護區(qū)，標識圖案為一個矩形，內(nèi)部有“靜電防護區(qū)”字樣和一個接地符號。請接地標識：用于提醒人員接地，標識圖案為一個矩形，內(nèi)部有“請接地”字樣和一個接地符號。禁止帶入非靜電防護物品標識：用于禁止帶入非靜電防護物品，標識圖案為一個圓形，內(nèi)部有一個斜杠，斜杠下方有一個非靜電防護物品的圖案。（二）靜電防護設備與工具清單接地設備：接地導線、接地夾、接地極等。靜電消除設備：離子風機、離子風槍、離子風棒等。防靜電設備：防靜電工作臺面、防靜電地板、防靜電貨架等。防靜電工具：防靜電螺絲刀、防靜電鑷子、防靜電鉗子等。防靜電包裝材料：靜電屏蔽袋、靜電屏蔽箱、防靜電泡沫等。（三）靜電防護檢測設備清單接地電阻測試儀：用于檢測接地系統(tǒng)的接地電阻