本規(guī)范是根據(jù)住房城鄉(xiāng)建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)<2011年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制訂、修訂計劃>的通知》(建標(biāo)〔2011〕17號)的要求，由工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院電子工程標(biāo)準(zhǔn)定額站、中國電子系統(tǒng)工程第四建設(shè)有限公司會同有關(guān)單位共同編制完成。本規(guī)范在編制過程中，編制組走訪了國內(nèi)有關(guān)太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)單位，收集了有關(guān)太陽能生產(chǎn)設(shè)備的搬運、運的科研成果、借鑒國外符合我國國情的先進(jìn)經(jīng)驗的基礎(chǔ)上，廣泛征本規(guī)范共分6章和4個附錄，主要技術(shù)內(nèi)容包括：總則、術(shù)語本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。本規(guī)范由住房城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對強(qiáng)制性條文的解釋，由工業(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理，由中國電子系統(tǒng)工程第四建設(shè)有限公司負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。本規(guī)范在執(zhí)行過程中，如發(fā)現(xiàn)需要修改和補(bǔ)充之處，請將意見和有關(guān)資料寄至中國電子系統(tǒng)工程第四建設(shè)有限公司《太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程施工及質(zhì)量驗收規(guī)范》管理組(地址：北京市豐臺區(qū)南四環(huán)西路188號；郵政編碼：100070,zgb@),以供今后修訂時參考。主編單位：工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院電子工程標(biāo)準(zhǔn)定額站中國電子系統(tǒng)工程第四建設(shè)有限公司參編單位：信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司中國電子科技集團(tuán)公司第二研究所北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司李華新鄭秉孝朱纮文晁宇晴馮衛(wèi)中鄭友山李曉東石小琰鄧俊馬國君 2.1術(shù)語 2.2縮略語 4.1安裝前設(shè)備材料的儲存 4.2施工準(zhǔn)備 4.3設(shè)備搬運 4.4設(shè)備開箱 4.5設(shè)備安裝 4.6二次配管配線 5.1設(shè)備試運行前的準(zhǔn)備 5.2設(shè)備試運行 6.1一般規(guī)定 6.2驗收內(nèi)容 6.3驗收程序 6.4驗收不合格的處置 附錄D驗收表格 本規(guī)范用詞說明 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄 4.1Equipmentmaterialstoragebeforetheins 4.3Equipmenttransport 4.5Equipmentinstallation 4.6Hook-up 5.1Preparebeforecommissioning 5.2Equipmentc 6.2Acceptanceco 6.3Acceptanceprogram 6.4Disposalofunqualifiedacceptance AppendixBRequirementsofstand-alonecommissioning AppendixCRequirementsofinstallationandformajorequipmentofsolarcell 1.0.1為規(guī)范太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程施工及質(zhì)量驗收，促進(jìn)太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝質(zhì)量和可靠運行，符合節(jié)能環(huán)保要求，制定本規(guī)范。1.0.2本規(guī)范適用于新建、改建和擴(kuò)建的太陽能電池工廠生產(chǎn)設(shè)備安裝工程及質(zhì)量驗收。1.0.3太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程施工及質(zhì)量驗收除應(yīng)符合本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。2.1.1太陽能電池solarcell是指將太陽光能直接轉(zhuǎn)換成電能的器件。2.1.2單晶硅太陽能電池monocrystallinesiliconsolarcell是以單晶硅為基體材料的太陽能電池。2.1.3多晶硅太陽能電池polycrystallinesiliconsolarcell是以多晶硅為基體材料的太陽能電池。2.1.4非晶硅太陽能電池amorphoussiliconsolarcell用非晶硅材料及其合金為基體制造的太陽能電池，亦稱無定以玻璃、不銹鋼板、陶瓷板等為基板，以非晶硅化合物薄膜為基體材料的太陽能電池。2.1.6化學(xué)氣相沉積chemicalvapordeposition(CVD)本規(guī)范系指在常壓下，化合物分解沉積為薄膜的制作薄膜太陽能電池的工藝。2.1.7低壓化學(xué)氣相沉淀lowpressurechemicalvapor本規(guī)范系指采用在低壓時，氣相化合物分解沉積成薄膜的制作薄膜太陽能電池的工藝。2.1.8等離子體化學(xué)氣相沉積plasmachemicalvapor本規(guī)范系指將氣相化合物等離子體分解沉積成薄膜的制作薄膜太陽能電池的工藝。2.1.9等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積plasmaenhancedchemicalvapordeposition(PECV本規(guī)范系指利用等離子體特性來控制或影響氣相反應(yīng)和材料表面的化學(xué)反應(yīng)過程，并在規(guī)定的溫度(最高至900℃)下沉積薄膜的工藝。2.1.10聚乙烯醇縮丁醛polyvinylbutyral(PVB)由聚乙烯醇縮丁醛樹脂經(jīng)增塑劑塑化擠壓成型的高分子半透明的薄膜材料。對無機(jī)玻璃有很好的黏結(jié)力。在太陽能電池的工藝設(shè)備中，用于傳輸硅片、承載硅片的運輸2.1.12質(zhì)量流量控制器massflowcontroller(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制的儀器。2.1.13晶體硅太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備crystallinesiliconsolar用來生產(chǎn)硅太陽能電池的工藝設(shè)備，包括槽式制絨清洗機(jī)、在線式制絨機(jī)、擴(kuò)散爐設(shè)備、PECVD設(shè)備、絲網(wǎng)印刷機(jī)、燒結(jié)爐等2.1.14二次配管配線hook-up生產(chǎn)廠房中一次管線系統(tǒng)至生產(chǎn)設(shè)備接口之間的連接管線。2.1.15大宗氣體bulkgas2.1.16特種氣體specialtygas電子行業(yè)生產(chǎn)的摻雜、外延、離子注入、刻蝕等工藝中使用的在單晶硅片表面通過一定的加工手段得到一定形狀的絨面結(jié)構(gòu)的工藝，以增加光線在電池表面的反射折射次數(shù)，降低表面反2.1.18絲網(wǎng)印刷electrodesprinting利用感光材料通過照相制版印刷制作電池正負(fù)極的工藝。PVC(Polyvinylchloride)聚氯乙烯CLPVC(Cleanpolyvinylchloride)潔凈聚氯乙烯PFA(Polytetrafluoroethylene)四氟乙烯共聚物聚偏氟乙烯VMB(Valvemanifoldbox)閥門分配箱EP(Electropolished)電拋光BA(Brightannealed)光亮退火AP(Annealedandpickled)酸洗鈍化3.0.1太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝之前應(yīng)制定詳細(xì)的安全和質(zhì)量控制預(yù)案。3.0.2設(shè)備安裝應(yīng)按經(jīng)批準(zhǔn)的技術(shù)文件就位，修改有關(guān)技術(shù)文件應(yīng)有相應(yīng)單位的批準(zhǔn)。3.0.4生產(chǎn)設(shè)備安裝工程的作業(yè)人員應(yīng)經(jīng)相應(yīng)工種培訓(xùn)。3.0.5特殊工種應(yīng)取得相應(yīng)的上崗證。3.0.7設(shè)備單機(jī)調(diào)試及試運轉(zhuǎn)應(yīng)在設(shè)備安裝和二次配管配線安裝完成，并經(jīng)自檢合格后進(jìn)行。3.0.8太陽能電池的生產(chǎn)宜按照本規(guī)范附錄A的工藝流程組織。典型國產(chǎn)太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備單機(jī)試運轉(zhuǎn)及驗收宜按本規(guī)范附錄B的要求進(jìn)行。3.0.9用于檢測的計量器具和儀器、設(shè)備應(yīng)檢定合格或校準(zhǔn)認(rèn)可，并應(yīng)在檢定或校準(zhǔn)有效期內(nèi)。4.1安裝前設(shè)備材料的儲存4.1.1生產(chǎn)設(shè)備宜放置于倉庫中儲存，儲存環(huán)境應(yīng)滿足設(shè)備存放4.1.2臨時存放在室外的生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)做好防潮、防雨、防凍措施。4.1.3有特殊存放要求的生產(chǎn)設(shè)備，應(yīng)按產(chǎn)品說明書的要求進(jìn)行儲存。4.1.4設(shè)備儲存應(yīng)有專人管理、建立崗位責(zé)任制。4.1.5進(jìn)場的生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)及時登記，建立臺賬。生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)標(biāo)明4.1.6現(xiàn)場材料保管應(yīng)有專人負(fù)責(zé)。現(xiàn)場材料存放環(huán)境應(yīng)防火、1庫房地面材質(zhì)應(yīng)防滲漏，并應(yīng)設(shè)置圍堰或事故收集裝置，2庫房應(yīng)保持通風(fēng)，并應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)裝置；4.2.1施工前，應(yīng)按本規(guī)范附錄C的要求制定具體的施工方案，并應(yīng)提交監(jiān)理或建設(shè)單位批準(zhǔn)。4.2.2施工前，應(yīng)制定潔凈室管理制度，并應(yīng)提交監(jiān)理或建設(shè)單位備案。4.2.3進(jìn)入現(xiàn)場的運輸機(jī)械應(yīng)質(zhì)量可靠、狀況良好，特種設(shè)備應(yīng)履行報檢程序。4.2.4安裝工程施工單位應(yīng)按質(zhì)量保證書或產(chǎn)品合格證對材料進(jìn)行驗收，并應(yīng)做好記錄，辦理驗收手續(xù)；需要復(fù)檢的材料應(yīng)有取樣送檢證明報告，對質(zhì)量不合格的材料不得在施工中使用。4.2.5進(jìn)入潔凈室的設(shè)備、材料應(yīng)進(jìn)行清潔處理，外表面不得有4.2.6施工前廠房應(yīng)符合下列規(guī)定：2潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)呈空態(tài)，并應(yīng)調(diào)試完畢、運行正3廠房內(nèi)公用系統(tǒng)應(yīng)調(diào)試完畢，正常運行；4消防系統(tǒng)應(yīng)正常運行。4.2.7設(shè)備搬運應(yīng)規(guī)劃好搬運路線圖，并應(yīng)標(biāo)注清楚路障、限高等注意事項。4.3.1設(shè)備搬運前應(yīng)對設(shè)備進(jìn)行檢查和確認(rèn)，檢查后應(yīng)做好設(shè)備出庫記錄。4.3.2在室外搬運設(shè)備時，道路應(yīng)平坦、暢通；在整個搬運過程4.3.3設(shè)備搬運方法應(yīng)根據(jù)設(shè)備廠家提供的說明和要求選擇，并的有關(guān)規(guī)定。4.3.4起吊旋轉(zhuǎn)過程中，起重臂、鋼絲繩或設(shè)備與架空線纜安全距離應(yīng)大于1.5m。4.3.5起吊有內(nèi)包裝的設(shè)備，應(yīng)符合下列規(guī)定：1起吊使用的吊索應(yīng)根據(jù)設(shè)備重量選用；2吊索捆綁位置應(yīng)避開儀表及結(jié)構(gòu)脆弱部位，并應(yīng)防止設(shè)備傾斜跌落；3設(shè)備起吊高度宜能順利拆除外包裝底盤；4起吊時應(yīng)控制提升和下降速度，不得產(chǎn)生沖擊、碰撞現(xiàn)象；5用液壓搬運車載運設(shè)備時，設(shè)備放置應(yīng)平穩(wěn)、平衡。4.3.6用叉車或汽車搬運設(shè)備時，全過程應(yīng)平穩(wěn)，不得載貨急轉(zhuǎn)，不得突然啟動或停車；叉車應(yīng)完全停止升降后再緩慢行進(jìn)，設(shè)備距路面高度應(yīng)不觸及路面障礙。4.3.7手動液壓車搬運設(shè)備時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1應(yīng)根據(jù)設(shè)備的重量選用液壓車；備傾斜的振動，兩側(cè)應(yīng)有搬運人員全程扶持；4不得超過規(guī)定的高度和寬度；5搬運時應(yīng)當(dāng)注意成品保護(hù)，尤其是地面和墻面，環(huán)氧(PVC)地面應(yīng)當(dāng)鋪塑料薄膜和不銹鋼板，經(jīng)過伸縮縫的地方應(yīng)鋪厚不銹鋼板；6搬運工具的輪子宜為軟膠輪。搬運裝置。搬運時操作人員應(yīng)控制其行進(jìn)速度，在起步、行進(jìn)及停止時不得產(chǎn)生沖擊振動現(xiàn)象。4.3.9對于有恒溫恒濕要求的精密設(shè)備，應(yīng)使用氣墊搬運法及時搬入潔凈室(區(qū))。4.3.10對于有防微振要求的設(shè)備，宜采用氣墊搬運法進(jìn)行搬運。4.3.11設(shè)備從搬入平臺經(jīng)過搬入口、氣閘室至潔凈室(區(qū))安裝的材料不應(yīng)發(fā)塵、積塵。當(dāng)搬運路線上地面承載能力不足時，應(yīng)做好加固工作，加固材料應(yīng)符合潔凈室內(nèi)的使用要求；當(dāng)需拆除門框或墻板時，拆除后應(yīng)做好保護(hù)并應(yīng)及時恢復(fù)。4.3.12當(dāng)在活動地板上吊裝設(shè)備時，宜采用龍門架、手動葫蘆等起重裝置，龍門架支腳應(yīng)設(shè)置荷重分散板，并應(yīng)核對活動地板的承載能力，當(dāng)不能滿足起吊荷載時應(yīng)進(jìn)行加固，并應(yīng)編制吊裝技術(shù)方案。4.3.13潔凈室室內(nèi)外設(shè)備搬運人員不應(yīng)交叉作業(yè)，在潔凈室里面設(shè)立緩沖區(qū)，緩沖區(qū)地面應(yīng)用不銹鋼板保護(hù)，設(shè)備的反光保護(hù)膜包裝可在潔凈室外拆除，但保護(hù)膜應(yīng)在緩沖區(qū)或者潔凈室內(nèi)拆除。均應(yīng)參加，并由采購方負(fù)責(zé)。開箱檢查應(yīng)包括下列內(nèi)容：3設(shè)備的技術(shù)文件；4設(shè)備的隨機(jī)附件、專有工具。4.4.2設(shè)備開箱前應(yīng)檢查包裝箱外觀是否完好，有無破損、浸水現(xiàn)象。4.4.3有防震貼、防傾貼等運輸智能標(biāo)貼的包裝箱，開箱前標(biāo)貼顯示應(yīng)正常。斜的措施。4.4.5設(shè)備開箱宜在卸貨平臺進(jìn)行，不得在運輸工具上開箱。4.4.6設(shè)備開箱宜按照從頂板開始，再拆除四面箱板，保留設(shè)備箱底的順序。4.4.7設(shè)備零部件開箱宜按照先拆除箱蓋，進(jìn)行零部件清點，然后將零部件放回箱內(nèi)保存的順序。4.4.8設(shè)備零部件堆放應(yīng)按照安裝先后順序，先安裝的放在外面或上面，后安裝的放在里面或下面。4.4.9設(shè)備開箱應(yīng)采用專用開箱工具。4.4.11設(shè)備開箱檢驗應(yīng)填寫驗收單，做好記錄，并辦理驗收手續(xù)。參加人員應(yīng)簽字，對不符合要求、質(zhì)量不合格的設(shè)備材料應(yīng)辦理相關(guān)手續(xù)。4.4.12設(shè)備包裝材料應(yīng)做好回收處理；進(jìn)口設(shè)備的木質(zhì)包裝材料確認(rèn)經(jīng)過檢疫部門檢疫手續(xù)后方可處理。4.5.1設(shè)備安裝前應(yīng)先對設(shè)備進(jìn)行定位放線，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1應(yīng)根據(jù)工程設(shè)計圖紙在地板上放出設(shè)備定位的尺寸平面2在設(shè)備輪廓轉(zhuǎn)角處應(yīng)貼上醒目的L形彩色粘膠帶；3設(shè)備不得跨越建筑結(jié)構(gòu)抗震縫、伸縮縫及沉降縫放置并安裝。4.5.2設(shè)備定位的基準(zhǔn)面、線或點對安裝基準(zhǔn)線的平面位置允許1與其他設(shè)備無機(jī)械聯(lián)系的設(shè)備為±10mm;2與其他設(shè)備有機(jī)械聯(lián)系的設(shè)備為±2mm;裝偏差不應(yīng)大于3mm。4.5.3對于設(shè)備需獨立基礎(chǔ)的，獨立基礎(chǔ)的材料為金屬框架時，應(yīng)用碳鋼鍍鋅材料或不銹鋼材料制作，外露表面應(yīng)平整，上平面不平度不應(yīng)大于2mm。4.5.4安裝獨立基礎(chǔ)時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1拆除基礎(chǔ)范圍內(nèi)的活動地板及支承結(jié)構(gòu)時，影響承重的支承應(yīng)做好加固；2獨立基礎(chǔ)施工完成后應(yīng)補(bǔ)全基礎(chǔ)周圍的活動地板，基礎(chǔ)邊沿與活動地板之間的間隙宜小于10mm,并宜采用柔性膠條嵌縫；3獨立基礎(chǔ)安裝水平誤差不應(yīng)大于2‰,最大不超過3mm;4基礎(chǔ)上平面應(yīng)與活動地板的地坪面平齊，允許誤差為4.5.5設(shè)備找正、調(diào)平的水平度或垂直度應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件的調(diào)平應(yīng)在選定的測量位置上進(jìn)行測量，復(fù)查、檢驗時不得改變原測量的基準(zhǔn)位置。4.5.6設(shè)備的安裝、組裝應(yīng)符合下列規(guī)定：2設(shè)備試運行中不得出現(xiàn)緊固件松動或磨損；3設(shè)備試運行中不得出現(xiàn)部件或零件的脫離；4合理選擇緊固件，所用緊固件的種類應(yīng)減少；5選用的緊固件應(yīng)符合國家標(biāo)準(zhǔn)和設(shè)計文件、設(shè)備說明書的6沉頭螺釘安裝后不允許突出被連接件表面。4.5.7在獨立基礎(chǔ)上或自流坪地面上安裝需要固定的設(shè)備時，宜采用化學(xué)錨栓或二次灌漿固定。4.5.8在基礎(chǔ)或地板上開孔時，應(yīng)用吸塵設(shè)備吸盡孔內(nèi)的塵埃。4.5.9當(dāng)設(shè)備需跨越壁板安裝時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1應(yīng)根據(jù)設(shè)備安裝所需的位置在壁板上開洞；2開洞作業(yè)不得劃傷、污染需保留的壁板表面或?qū)崈舡h(huán)境造成污染；3設(shè)備安裝后，四周間隙應(yīng)采用微孔泡沫帶密封，其材質(zhì)和色澤應(yīng)與該廠房內(nèi)裝修格調(diào)一致。4.6二次配管配線4.6.1二次配管配線應(yīng)包括下列管線安裝：1各種給水、排水系統(tǒng)的一次管道閥門至設(shè)備接口之間的2各種氣體動力系統(tǒng)的一次管道閥門至設(shè)備接口之間的3各種工藝排風(fēng)、排氣系統(tǒng)的一次管道閥門至設(shè)備接口之間4生產(chǎn)動力終端工藝母線或配電盤至設(shè)備接口之間的配管4.6.2設(shè)備二次配管配線作業(yè)應(yīng)在設(shè)備安裝完成后進(jìn)行，并應(yīng)與4.6.3二次配管配線的材料宜與一次配管配線的材質(zhì)一致，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1工藝?yán)鋮s水應(yīng)根據(jù)工藝設(shè)備水質(zhì)要求選用，宜采用不銹鋼管或PVC管，管配件及閥門宜采用與管道相同的材質(zhì)；2管線與設(shè)備的連接方式應(yīng)便于拆卸更換，對于易產(chǎn)生振動的設(shè)備應(yīng)采用柔性連接等減少振動影響的連接方式；3工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)的溫度計、壓力表宜采用不銹鋼材質(zhì)；4壓縮空氣和氮氣系統(tǒng)根據(jù)工藝生產(chǎn)線品質(zhì)要求宜選用SUS304BA或SUS316LBA管道，閥門宜選用球閥；其余大宗氣體系統(tǒng)和特種氣體系統(tǒng)宜采用SUS316LEP管道，閥門口徑小于等于1/2"時應(yīng)采用SUS316LEP隔膜閥，閥門口徑大于1/2"時應(yīng)采用波紋管截止閥；特種氣體系統(tǒng)當(dāng)采用雙套管時，內(nèi)管宜采用SUS316LEP管道，外管宜采用SUS304AP外拋管；在制造廠已脫脂完畢；6化學(xué)藥液輸送宜采用雙層管或PP管；雙層管內(nèi)管宜為PFA管，外管宜采用透明PVC管；閥門宜采用與管道材質(zhì)相同的耐腐蝕隔膜閥和閥門箱設(shè)置方式，不宜直接設(shè)置閥門于管道上；7有機(jī)排風(fēng)管宜采用SUS304不銹鋼材料，使用氬弧焊8酸堿排風(fēng)管宜采用PVC、PP等防腐蝕材料焊接或熔接；特氟龍管道；10熱排風(fēng)介質(zhì)溫度大于55℃時，應(yīng)對管路設(shè)置絕熱層，絕熱材料不得采用易破碎、掉渣和對人體有刺激作用的材質(zhì)；閥門應(yīng)采用與排風(fēng)管相同的材質(zhì)；11純水管路材質(zhì)宜采用PVDF、PP、PFA、CLPVC;12溫度大于80℃的酸堿排水不宜采用PVC、PP管道接管，可采用化工PVC;采用PP管時不得直接排放；13含有高濃度氫氟酸、硝酸的排水管道，宜采用雙層管道，內(nèi)管宜為PVDF管或PP管，外管宜采用透明PVC管；14潔凈室內(nèi)的電氣配管宜采用外表面光滑的金屬管，與設(shè)備連接采用的穿線軟管應(yīng)為不燃材料；15特種氣體、大宗氣體、純水和化學(xué)品系統(tǒng)的二次配管配線安裝工程應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB50646、《大宗氣體純化及輸送系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB50724、《電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50685和《電子工業(yè)化學(xué)品系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB50781的有關(guān)規(guī)定。4.6.4二次配管配線施工時，應(yīng)根據(jù)現(xiàn)場實際情況進(jìn)行空間整合作面布設(shè)管線。4.6.5當(dāng)在活動地板上開孔時，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《微電子生產(chǎn)設(shè)備安裝工程施工及驗收規(guī)范》GB50467的有關(guān)規(guī)定。4.6.6潔凈室內(nèi)的二次配管配線安裝需開洞時，不得影響承重結(jié)構(gòu)，且開洞時不得對潔凈室造成污染。4.6.7二次配管應(yīng)采用專用設(shè)備對管道進(jìn)行平口、切割、焊接4.6.8潔凈室內(nèi)不宜進(jìn)行電焊作業(yè)，特殊情況應(yīng)采取有效的防護(hù)使用氬弧焊進(jìn)行焊接作業(yè)；輸送大宗氣體、非腐蝕性溶劑的不銹鋼管，當(dāng)采用焊接連接時，應(yīng)采用鎢極氬弧焊機(jī)施焊，且其保護(hù)氣體的純度不應(yīng)低于管網(wǎng)本底氣體的純度。4.6.9不銹鋼管焊接質(zhì)量應(yīng)符合下列規(guī)定：1兩管端應(yīng)垂直于管中心軸線，端面應(yīng)平整光滑、無毛刺；2對口不得有間隙，直徑小于或等于2英寸的不銹鋼管，錯邊量不得大于管壁厚度的10%;直徑大于2英寸的不銹鋼管，錯邊量不得大于管壁厚度的15%;3焊接應(yīng)為自熔全焊透焊縫，管內(nèi)外焊縫平整光滑，焊波整齊美觀。焊縫的凹凸不平度不得大于管壁厚度的10%;4焊縫應(yīng)焊趾整齊，焊縫寬度應(yīng)一致，其誤差不得大于0.2mm,管內(nèi)焊縫表面寬度宜為外縫表面寬度的60%;影響區(qū)不應(yīng)有氧化變色。4.6.10PVC管粘接應(yīng)符合下列規(guī)定：1應(yīng)選用管材生產(chǎn)廠家配套的專用膠水和清潔劑；膠水與管2室外溫度低于5℃時，膠水應(yīng)保存在室內(nèi)；3粘接后管路兩端應(yīng)開放通風(fēng)；4管路粘接后，膠水固化時間應(yīng)符合說明書要求，達(dá)到設(shè)計強(qiáng)度方可進(jìn)行通水試壓。電的潔凈小室內(nèi)進(jìn)行，加工件經(jīng)潔凈處理后密封搬入潔凈廠房內(nèi)進(jìn)行安裝，潔凈小室的空氣潔凈度等級宜采用8級。4.6.12二次配管支、吊架安裝應(yīng)牢固可1二次配管支、吊架宜采用碳鋼鍍鋅或不銹鋼材料，切割斷面應(yīng)做防腐處理；2管卡應(yīng)與管道直徑相匹配；3不銹鋼管與碳鋼支架、管卡之間應(yīng)分別設(shè)置隔離墊和隔離套管，隔離墊宜采用軟質(zhì)聚四氟乙烯板，套管宜采用聚乙烯軟管。4.6.13二次配管標(biāo)識應(yīng)與一次配管配線標(biāo)識一致。4.6.14二次配管進(jìn)行壓力試驗時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1試驗介質(zhì)應(yīng)采用高純氮氣或高純氬氣，其純度不得低于管道工作介質(zhì)純度；2不得采用水壓試驗；3待試管道與生產(chǎn)設(shè)備無關(guān)系統(tǒng)應(yīng)采用盲板或采取其他措施隔開，待試管道上的安全閥、爆破板及儀表元件應(yīng)拆下或隔離；4試驗用壓力表宜采用專用管道壓力測試記錄儀，當(dāng)采用普通壓力表時，其精度不應(yīng)低于1.5級；5介質(zhì)為氫氣、酸堿藥液等具有危險性、腐蝕性的二次配管安裝完成后必須進(jìn)行壓力試驗；6壓力試驗應(yīng)分為強(qiáng)度試驗和氣密性試驗；強(qiáng)度試驗應(yīng)采用設(shè)計壓力的1.15倍，保壓30min無損壞、無泄漏為合格；氣密性試驗應(yīng)采用設(shè)計壓力的1.05倍，保壓24h無壓降、無泄漏為合格；7二次配管壓力試驗開始時應(yīng)測量試驗溫度，試驗溫度嚴(yán)禁選擇材料脆性轉(zhuǎn)變的溫度。4.6.15二次配管安裝完成后，宜做泄漏試驗。4.6.16二次配管試驗完成后，應(yīng)填寫設(shè)備配管檢驗批質(zhì)量驗收4.6.17當(dāng)設(shè)計文件規(guī)定以氦氣進(jìn)行泄漏性試驗時，應(yīng)符合現(xiàn)行4.6.18二次配管壓力試驗完成后，應(yīng)脫開設(shè)備進(jìn)行吹掃。吹掃氣體的純度不應(yīng)低于管網(wǎng)輸送介質(zhì)的純度。5.1設(shè)備試運行前的準(zhǔn)備5.1.1設(shè)備試運行前應(yīng)符合下列規(guī)定：2設(shè)備所需各種氣體動力配管配線應(yīng)與設(shè)備接通，各種介質(zhì)的各項參數(shù)應(yīng)符合設(shè)備使用要求；備要求；7室內(nèi)各項安全設(shè)施和消防設(shè)施應(yīng)滿足使用要求。5.1.2設(shè)備安全性測試應(yīng)符合下列規(guī)定：1當(dāng)絕緣電阻測試時，應(yīng)將絕緣電阻測試儀的正極端接至設(shè)備相線端，負(fù)極端接至設(shè)備機(jī)殼，電源輸入端與機(jī)殼之間應(yīng)施加500V直流電壓，穩(wěn)定10s后測試的絕緣電阻應(yīng)大于1MΩ;2當(dāng)耐壓測試時，應(yīng)將耐壓測試儀的高壓端接至設(shè)備相線端，接地端接至設(shè)備機(jī)殼進(jìn)行耐壓測試，設(shè)備抗電強(qiáng)度應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《測量控制和試驗室用電器設(shè)備的安全要求第一部分：3當(dāng)泄漏電流測試開路電壓超過規(guī)定的安全限值時，應(yīng)采用串接一個500Ω電阻的電流表與設(shè)備接地端子串聯(lián)測量設(shè)備的泄漏電流，測試值不應(yīng)大于5mA。5.1.3對于有噪聲限制的設(shè)備，應(yīng)進(jìn)行噪聲測試。噪聲測試應(yīng)采用聲級計在設(shè)備水平面四個方向上，應(yīng)在離地高度1.2m,距離設(shè)備1m處進(jìn)行測量。在人員操作位置應(yīng)以每天暴露時間8h計，其等效連續(xù)A聲級噪聲不應(yīng)大于85dB。5.2設(shè)備試運行5.2.1外接電源及接地應(yīng)按設(shè)備電路圖接好，檢查確認(rèn)無誤后接通總電源。5.2.2在開機(jī)狀態(tài)下，用鉗形電流表測量設(shè)備電壓、電流和功率，用相序表測量相序，應(yīng)滿足設(shè)備使用的要求。5.2.3設(shè)備調(diào)試應(yīng)按產(chǎn)品說明書或技術(shù)文件中規(guī)定的調(diào)試項目和步驟進(jìn)行，并應(yīng)按本規(guī)范附錄D中表D.0.5的要求記錄。5.2.4設(shè)備調(diào)試合格后，應(yīng)連續(xù)通電無故障工作24h,并應(yīng)按本規(guī)范附錄D表中D.0.6的要求記錄。5.2.5設(shè)備連續(xù)工作前后應(yīng)進(jìn)行主要性能指標(biāo)測試，測試結(jié)果應(yīng)符合產(chǎn)品規(guī)范的要求。6.1.1太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備二次配管配線工程完成后，應(yīng)對各系統(tǒng)進(jìn)行自驗，合格后方可進(jìn)行驗收。6.1.2設(shè)備安裝施工單位應(yīng)向建設(shè)單位提交工程質(zhì)量驗收記錄，驗收記錄應(yīng)按本規(guī)范附錄D的有關(guān)要求填寫。6.2.1太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程交接驗收應(yīng)由建設(shè)單位組織安裝工程施工單位、設(shè)計單位組成驗收組，并應(yīng)在接到安裝工程施工單位提交的驗收報告后進(jìn)行，驗收報告應(yīng)符合本規(guī)范附錄D的有關(guān)要求。6.2.2驗收應(yīng)在設(shè)備找正、調(diào)平后進(jìn)行設(shè)備安裝交接驗收，設(shè)備配管配線完成后應(yīng)進(jìn)行配管配線交接驗收。6.2.3工程驗收時，太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程施工單位提交文件應(yīng)包括下列內(nèi)容：1設(shè)備安裝工程施工合同；2主要材料合格證或質(zhì)量保證書；3設(shè)備開箱檢查記錄；4設(shè)備安裝檢驗批質(zhì)量記錄及分項工程質(zhì)量驗收記錄；5設(shè)備配管配線檢驗批質(zhì)量記錄及分項工程質(zhì)量驗收記錄；6管道焊接檢驗記錄；7設(shè)備二次配管壓力試驗、沖(吹)洗記錄；8竣工圖及設(shè)計變更文件；9工程質(zhì)量事故處理記錄；10設(shè)備隨機(jī)技術(shù)文件；11隱蔽工程驗收記錄。6.2.4太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程質(zhì)量主要控制項目應(yīng)符合下列規(guī)定：1設(shè)備安裝的平面坐標(biāo)位置應(yīng)符合設(shè)計要求。檢驗方法：對照圖紙用鋼卷尺檢查。檢驗方法：目測和用小榔頭輕擊墊板檢查。檢驗方法：對照設(shè)備安裝使用說明書目測和用小榔頭輕擊壓板檢查。4特殊基礎(chǔ)上平面水平度、安裝水平度應(yīng)符合設(shè)計和技術(shù)文件的要求，調(diào)整水平度的螺腳均應(yīng)與墊板緊密接觸。檢驗方法：用水平尺和塞尺測量基礎(chǔ)上平面不平度；用水平儀測量基礎(chǔ)水平度，抽拉墊板檢查接觸緊密度。5設(shè)備安裝的水平度、垂直度應(yīng)符合設(shè)備安裝使用說明書的要求。合格證和產(chǎn)品質(zhì)量證明書。檢驗方法：查看設(shè)計圖紙、產(chǎn)品合格證和產(chǎn)品質(zhì)量證明書。7管線布置和走向應(yīng)符合設(shè)計要求。8管道的對接焊縫處及曲管處不得焊接支管；焊縫距起彎點、支吊架邊緣應(yīng)大于50mm。9管道支吊架間距應(yīng)符合設(shè)計或要求。10二次配管壓力試驗應(yīng)按本規(guī)范第4.6.14條的有關(guān)要求。11二次配管沖(吹)洗應(yīng)按本規(guī)范第4.6.18條的規(guī)定進(jìn)行，用潔凈白綢布檢查，無污染物應(yīng)為合格。12二次配線的電線電纜規(guī)格、型號應(yīng)符合圖紙要求；絕緣、相序應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑電氣工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》GB/T50303的有關(guān)規(guī)定。檢驗方法：對照圖紙檢查，用相應(yīng)電壓等級的兆歐表檢13接地連接應(yīng)正確可靠，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《電氣裝置安裝工程接地裝置施工及驗收規(guī)范》GB50169的有關(guān)規(guī)定。檢驗方法：使用接地電阻測試儀檢測。6.2.5太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程質(zhì)量應(yīng)符合下列規(guī)定：1設(shè)備安裝用的墊板表面應(yīng)無塵無油。2設(shè)備跨壁板安裝的密封應(yīng)嚴(yán)密。3有坡度要求的管道，其坡度應(yīng)符合設(shè)計規(guī)定。5法蘭連接應(yīng)符合下列規(guī)定：2)襯墊的材質(zhì)符合設(shè)計要求，且不應(yīng)超過一層；3)螺栓露出螺母的長度應(yīng)一致，宜露出3個螺距。6不銹鋼管與碳鋼支吊架、管卡之間的隔離不應(yīng)遺漏。7閥門安裝應(yīng)符合下列規(guī)定：2)進(jìn)出口方向應(yīng)正確；3)手輪朝向應(yīng)合理。6.2.6驗收組應(yīng)對工程質(zhì)量進(jìn)行評價，提出驗收結(jié)論。參加驗收單位代表應(yīng)在驗收記錄表上簽字認(rèn)可，驗收記錄表應(yīng)按本規(guī)范附錄D中表D.0.8的要求。6.3.1太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程竣工驗收應(yīng)由建設(shè)單位組織安裝工程施工單位、設(shè)備供應(yīng)商、設(shè)計單位組成驗收組，根據(jù)施工合同、設(shè)計文件及設(shè)備技術(shù)文件進(jìn)行竣工驗收。6.3.2設(shè)備安裝工程竣工驗收時設(shè)備調(diào)試單位應(yīng)提供每臺設(shè)備的單機(jī)試運轉(zhuǎn)記錄。若設(shè)備安裝與單機(jī)調(diào)試非同一單位時，設(shè)備安裝單位應(yīng)予以協(xié)助。6.3.3驗收組應(yīng)對太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程的所有工程內(nèi)容進(jìn)行全面審核、檢查，檢查時應(yīng)做好記錄，各項指標(biāo)應(yīng)符合設(shè)計要求。6.3.4驗收組應(yīng)對工程質(zhì)量進(jìn)行評價，提出驗收結(jié)論和驗收報告，并應(yīng)按本規(guī)范附錄D中表D.0.9的要求。參加驗收單位代表應(yīng)在驗收報告上簽字確認(rèn)。6.3.5太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程驗收合格，可進(jìn)行試生產(chǎn)。6.4驗收不合格的處置6.4.1當(dāng)太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程、設(shè)備二次配管配線安裝工程不符合規(guī)定的質(zhì)量要求時，處理應(yīng)符合下列規(guī)定：1經(jīng)返工后的設(shè)備安裝檢驗批、二次配管配線檢驗批應(yīng)重新進(jìn)行驗收。2經(jīng)返修后的分項工程仍能滿足安全和使用性能要求，可按技術(shù)處理方案和協(xié)商文件進(jìn)行驗收。6.4.2經(jīng)過返修仍不能滿足安全使用和性能要求的分項工程，不得驗收通過。A.0.1晶硅太陽能電池生產(chǎn)可按下列工藝流程設(shè)置。圖A.0.1硅太陽能電池工藝流程A.0.2非晶硅薄膜電池生產(chǎn)可按下列工藝流程設(shè)置。圖A.0.2非晶硅薄膜電池生產(chǎn)工藝流程附錄B典型太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備單機(jī)試運轉(zhuǎn)及驗收要求B.1在線式表面制絨機(jī)B.1.1設(shè)備運轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查下列項目，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī)試運轉(zhuǎn)：1環(huán)境潔凈度等級宜為7級，溫度應(yīng)為22.5℃±2.5℃,相對濕度應(yīng)為40%～70%;避開氣體放空口及出風(fēng)口處；3接地電阻不應(yīng)大于1Ω;4不間斷三相交流電源電壓應(yīng)為380V±10%,頻率應(yīng)為50Hz;5冷卻水壓力應(yīng)為0.3MPa～0.4MPa,循環(huán)流量應(yīng)為6m3/h~6純水電阻率不應(yīng)小于18MΩ·cm,壓力應(yīng)為0.3MPa~0.4MPa,流量應(yīng)為1.7m3/h;7壓縮空氣壓力應(yīng)為0.5MPa～0.6MPa,流量應(yīng)為1.3m3/min;8排風(fēng)風(fēng)量不應(yīng)小于5400m3/h。B.1.2驗收項目應(yīng)符合下列規(guī)定：1設(shè)備的溫度傳感器、壓力傳感器、液體流量計工作應(yīng)顯示正常；2傳動滾輪運轉(zhuǎn)應(yīng)平穩(wěn)；3所有工藝槽溫度應(yīng)可調(diào)，溫度允許偏差為±1℃;4設(shè)備破片率應(yīng)小于0.2%;5藥液注入量應(yīng)可調(diào)，體積允許偏差為±1%。B.2槽式擴(kuò)散前清洗設(shè)備B.2.1試運轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查下列項目，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī)試運行：1環(huán)境潔凈度等級應(yīng)為6級，溫度應(yīng)為22.5℃±2.5℃,相對濕度應(yīng)為40%～70%;避開氣體放空口及出風(fēng)口處；3接地電阻不應(yīng)大于1Ω;4不間斷三相交流電源電壓應(yīng)為380V±10%,頻率應(yīng)為50Hz,功率應(yīng)為10kW;5去離子水壓力應(yīng)為0.2MPa～0.3MPa,流量應(yīng)為60L/min;6壓縮空氣壓力應(yīng)為0.5MPa～0.6MPa,流量應(yīng)為60L/min;7氮氣壓力應(yīng)為0.5MPa～0.6MPa,流量應(yīng)為80L/min;8排風(fēng)量應(yīng)為4000m3/h。B.2.2驗收項目應(yīng)符合下列規(guī)定：1各工藝槽注藥液時間、比例應(yīng)符合工藝要求；2各工藝槽排放時間應(yīng)符合工藝要求；3機(jī)械臂運行速度應(yīng)符合工藝要求；示正常；5各工藝槽槽蓋及槽內(nèi)液位應(yīng)正常；系統(tǒng)應(yīng)工作正常。B.3.1試運轉(zhuǎn)前檢查應(yīng)符合下列規(guī)定：1應(yīng)檢查烘烤物內(nèi)是否有加壓容器、爆裂物、易燃物、氧化立即停止啟動；2應(yīng)檢查烘烤物周圍是否有易燃易爆物品，當(dāng)有易燃易爆物品時應(yīng)保證和烤箱保持大于10m的距離，否則不得將烤箱投入3應(yīng)確認(rèn)風(fēng)輪安裝緊固且運轉(zhuǎn)順暢，不應(yīng)和周圍物體產(chǎn)生摩4進(jìn)氣口和排氣口應(yīng)打開，排氣口應(yīng)接至室外，并應(yīng)有強(qiáng)制性抽風(fēng)裝置；5應(yīng)檢查外部廢氣排風(fēng)機(jī)是否正常運轉(zhuǎn)，當(dāng)沒有運轉(zhuǎn)或方向不對時則不得開機(jī)，并應(yīng)進(jìn)行檢修。B.3.2驗收項目應(yīng)符合下列規(guī)定：1環(huán)境潔凈度等級應(yīng)為9級，環(huán)境溫度應(yīng)在25℃±2℃之間，相對濕度應(yīng)為(50±10)%;2三相交流電源電壓應(yīng)為380V±10%,頻率應(yīng)為50Hz,用電容量不應(yīng)小于43kW;3設(shè)備電氣的絕緣電阻應(yīng)大于5MΩ;4排風(fēng)管應(yīng)采取保溫措施，設(shè)備排風(fēng)量不得小于7500m3/h。B.4擴(kuò)散爐設(shè)備B.4.1試運轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查下列項目，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī)1環(huán)境潔凈度等級應(yīng)為6級，溫度應(yīng)為22.5℃±2.5℃,相對濕度應(yīng)為40%～70%;避開氣體放空口及出風(fēng)口處；3接地電阻不應(yīng)大于1Ω;4不間斷三相交流電源電壓應(yīng)為380V±10%,頻率應(yīng)為50Hz,功率應(yīng)為200kW;5冷卻水壓力應(yīng)為2kgf/cm2~3kgf/cm2,流量應(yīng)為20L/min;6壓縮空氣壓力應(yīng)為0.4MPa,流量應(yīng)為10L/min～20L/min;7氣源柜排風(fēng)量應(yīng)為8m3/min～10m3/min;8尾氣排酸管路負(fù)壓應(yīng)為250Pa～300Pa;9排毒箱排風(fēng)量應(yīng)為8m3/min～12m3/min;10爐體機(jī)箱排風(fēng)量應(yīng)為20m3/min～25m3/min。B.5.1試運轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查下列項目，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī)1環(huán)境潔凈度等級應(yīng)為7級，溫度應(yīng)為22.5℃±2.5℃,相對濕度應(yīng)為40%～70%;4不間斷三相交流電源電壓應(yīng)為380V±10%,頻率應(yīng)為50Hz,功率應(yīng)為5kW;水溫應(yīng)為20℃~25℃;7四氟化碳純度應(yīng)大于99.9995%,氧氣純度應(yīng)大于99.999%;8上口散熱排風(fēng)應(yīng)為1m3/min～5m3/min;9泵口排風(fēng)應(yīng)為1m3/min～5m3/min。B.5.2驗收項目應(yīng)符合下列規(guī)定：1反應(yīng)腔工藝壓力報警應(yīng)正常；2真空壓力報警應(yīng)正常；3工藝氣體報警應(yīng)正常；4反應(yīng)室門報警應(yīng)正常；6干泵、蝶閥、各截止閥、真空系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)應(yīng)工作B.6濕法刻蝕機(jī)B.6.1設(shè)備運轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查下列項目，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī)試運轉(zhuǎn)：1環(huán)境潔凈度等級應(yīng)為7級，溫度應(yīng)為22.5℃±2.5℃,相對濕度應(yīng)為40%～70%;避開氣體放空口及出風(fēng)口處；3接地電阻不應(yīng)大于1Ω;4不間斷三相交流電源電壓應(yīng)為380V±10%,頻率應(yīng)為50Hz;5冷卻水壓力應(yīng)為0.3MPa～0.4MPa,循環(huán)流量應(yīng)為6m3/h~6純水電阻率不應(yīng)小于18MΩ·cm,壓力應(yīng)為0.3MPa~0.4MPa,流量應(yīng)為1.7m3/h;7壓縮空氣壓力應(yīng)為0.5MPa～0.6MPa,流量應(yīng)為1.3m3/min;8排風(fēng)風(fēng)量不應(yīng)小于5400m3/h。B.6.2驗收項目應(yīng)符合下列規(guī)定：1設(shè)備的溫度傳感器、壓力傳感器、液體流量計工作應(yīng)顯示正常；2傳動滾輪運轉(zhuǎn)應(yīng)平穩(wěn)；3所有工藝槽溫度應(yīng)可調(diào)，溫度允許偏差為±1℃;4設(shè)備破片率應(yīng)小于0.2%;5藥液注入量應(yīng)可調(diào)，體積允許偏差為±1%。B.7槽式去PSG清洗設(shè)備B.7.1試運轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查下列項目，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī)1環(huán)境潔凈度等級應(yīng)為7級，溫度應(yīng)為22.5℃±2.5℃,相對濕度應(yīng)為40%～70%;避開氣體放空口及出風(fēng)口處；3接地電阻不應(yīng)大于1Ω;4不間斷三相交流電源電壓應(yīng)為380V±10%,頻率應(yīng)為50Hz,功率應(yīng)為10kW;5去離子水壓力應(yīng)為0.2MPa～0.3MPa,流量應(yīng)為60L/min;6壓縮空氣壓力應(yīng)為0.5MPa～0.6MPa,流量應(yīng)為60L/min;7氮氣壓力應(yīng)為0.5MPa～0.6MPa,流量應(yīng)為80L/min;8排風(fēng)量應(yīng)為4000m3/h。B.7.2驗收項目應(yīng)符合下列規(guī)定：1各工藝槽注藥液時間、比例應(yīng)符合工藝要求；2各工藝槽排放時間應(yīng)符合工藝要求；3機(jī)械臂運行速度應(yīng)符合工藝要求；5各工藝槽槽蓋及槽內(nèi)液位應(yīng)正常；系統(tǒng)應(yīng)工作正常。B.8.1試運轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查下列項目，并應(yīng)在符合以下要求后進(jìn)行單機(jī)試運轉(zhuǎn)：1環(huán)境潔凈度等級應(yīng)為8級，溫度應(yīng)為21.5℃±2℃,相對濕度應(yīng)為40%～60%。2動力條件應(yīng)符合下列規(guī)定：1)不間斷三相交流電壓應(yīng)為380V±10%,頻率應(yīng)為50Hz,功率不應(yīng)低于設(shè)備裝機(jī)要求；2)冷卻水水溫應(yīng)為20℃±2℃,進(jìn)水壓力應(yīng)為0.4MPa~0.5MPa,回水壓力應(yīng)為0.2MPa～0.3MPa;3)工藝氣體管道二次配管完成，壓力應(yīng)符合要求，并應(yīng)標(biāo)有明顯的化學(xué)分子式；4)工藝氣體泄漏報警裝置應(yīng)運行正常；5)壓縮空氣壓力應(yīng)為0.5MPa～0.7MPa;6)氣源柜排風(fēng)量應(yīng)大于或等于4m3/min;7)排氣和尾氣處理裝置應(yīng)運行正常；8)普通氮氣壓力應(yīng)為0.5MPa～0.7MPa;9)接地電阻不應(yīng)大于4Ω;10)絕緣電阻不應(yīng)小于2MΩ。3設(shè)備系統(tǒng)檢查應(yīng)符合下列規(guī)定：1)真空泵運轉(zhuǎn)應(yīng)方向正確；2)真空系統(tǒng)應(yīng)檢測合格；4)電纜應(yīng)接地準(zhǔn)確可靠；5)工藝氣體管路系統(tǒng)應(yīng)檢測合格。B.8.2驗收項目應(yīng)符合下列規(guī)定：1接通電源主機(jī)應(yīng)顯示電源接通；2冷卻水流量和溫度報警應(yīng)正常；3打開壓縮空氣閥門，壓力傳感器顯示的壓力值應(yīng)在要求的4加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)工作應(yīng)正常；5通過MFC控制工藝氣體流量，流量和壓力應(yīng)穩(wěn)定并且符B.9.1試運轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查下列項目，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī)1環(huán)境潔凈度等級應(yīng)為8級，溫度應(yīng)為22.5℃±2.5℃,相對濕度應(yīng)為40%～70%;避開氣體放空口及出風(fēng)口處；3接地電阻不應(yīng)大于1Ω;4不間斷三相交流電源電壓應(yīng)為380V±10%,頻率應(yīng)為50Hz,功率應(yīng)為200kW;5冷卻水壓力應(yīng)為1kgf/cm2~2.5kgf/cm2,流量應(yīng)為15L/min,水溫應(yīng)為20℃~25℃;6壓縮空氣壓力應(yīng)大于4kgf/cm2,流量應(yīng)為10L/min~7氮氣應(yīng)大于6kgf/cm2,流量應(yīng)為20L/min/管；8氣源柜排風(fēng)量應(yīng)為8m3/min～10m3/min;9尾氣排酸管路負(fù)壓應(yīng)為250Pa～300Pa;10排毒箱排風(fēng)量應(yīng)為8m3/min～12m3/min;11爐體機(jī)箱排風(fēng)量應(yīng)為20m3/min～25m3/min。B.9.2驗收項目應(yīng)符合下列規(guī)定：1爐箱超溫報警應(yīng)正常；3斷偶保護(hù)應(yīng)正常；4水流報警應(yīng)正常；6風(fēng)壓報警應(yīng)正常；7氣體流量報警應(yīng)正常；8壓差報警應(yīng)正常；9舟極限位報警應(yīng)正常；10加熱爐升降溫度應(yīng)正常；B.10進(jìn)口全自動絲網(wǎng)印刷設(shè)備B.10.1設(shè)備運轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查下列項目，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī)試運轉(zhuǎn)：1環(huán)境潔凈度等級應(yīng)為8級，溫度應(yīng)為22.5℃±2.5℃,相對濕度應(yīng)為40%～70%;避開氣體放空口及出風(fēng)口處；3接地電阻不應(yīng)大于1Ω;4不間斷三相交流電源電壓應(yīng)為380V±10%,頻率應(yīng)為50Hz;5壓縮空氣壓力應(yīng)為0.6MPa,流量應(yīng)為4m3/min;6真空壓力應(yīng)為—68kPa～—70kPa,流量應(yīng)為2.5m3/min;7有機(jī)排風(fēng)風(fēng)量不應(yīng)小于1500m3/h。B.10.2驗收項目應(yīng)符合下列規(guī)定：1設(shè)備的溫度傳感器、壓力傳感器、液體流量計工作應(yīng)顯示正常；2設(shè)備破片率應(yīng)小于0.2%;3印刷精度允許誤差為±50μm;B.11快速燒結(jié)爐B.11.1設(shè)備運轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查下列項目，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī)試運轉(zhuǎn)：1環(huán)境潔凈度等級應(yīng)為8級，溫度應(yīng)為22.5℃±2.5℃,相對濕度應(yīng)為40%～70%;避開氣體放空口及出風(fēng)口處；3接地電阻不應(yīng)大于1Ω;4不間斷三相交流電源電壓應(yīng)為380V±10%,頻率應(yīng)為50Hz;5冷卻水壓力應(yīng)為0.3MPa～0.4MPa,循環(huán)流量應(yīng)為6壓縮空氣壓力應(yīng)為0.8MPa,流量應(yīng)為1m3/min～2m3/min;7熱排風(fēng)風(fēng)量不應(yīng)小于5900m3/h;8有機(jī)排風(fēng)風(fēng)量不應(yīng)小于150m3/h。B.11.2驗收項目應(yīng)符合下列規(guī)定：1設(shè)備的溫度傳感器、壓力傳感器、液體流量計工作應(yīng)顯示2傳送網(wǎng)帶運轉(zhuǎn)應(yīng)平穩(wěn)；3各溫區(qū)溫度應(yīng)可調(diào)，溫度允許偏差為±2℃,升溫速度不應(yīng)小于100℃/s,降溫速度不應(yīng)小于100℃/s;4設(shè)備破片率應(yīng)小于0.1%;B.12CDS供液設(shè)備B.12.1試運轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查下列項目，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī)試運行：1環(huán)境潔凈度等級應(yīng)為8級，溫度應(yīng)為22.5℃±2.5℃,相對濕度應(yīng)為40%～70%;避開氣體放空口及出風(fēng)口處；3接地電阻不應(yīng)大于1Ω;4不間斷單相交流電源電壓應(yīng)為220V±10%,頻率應(yīng)為50Hz;5去離子水壓力應(yīng)為0.2MPa～0.3MPa,流量應(yīng)為60L/min;6壓縮空氣壓力應(yīng)為0.5MPa～0.6MPa,流量應(yīng)為20L/min;7氮氣壓力應(yīng)為0.5MPa～0.6MPa,流量應(yīng)為20L/min;8排風(fēng)量應(yīng)為900m3/h。B.12.2驗收項目應(yīng)符合下列