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助力科研|白光干涉儀(光學3D表面輪廓儀)服務超精密拋光技術發(fā)展隨著技術的不斷進步，精密制造領域對材料表面的處理要求越來越高，超精密拋光技術作為當下表面處理的尖端技術，對各種高精密產品的生產起到了至關重要的作用，已廣泛應用于集成電路制造、醫(yī)療器械、航空航天、3C電子、汽車、精密模具等多個先進制造行業(yè)。SuperViewW1系列白光干涉儀通過納米傳動與掃描技術、白光干涉與高精度3D重建技術實現(xiàn)0.1nm級表面粗糙度測量，成為超精密拋光技術研究領域的重要工具和幫手。浙江工業(yè)大學趙軍、呂冰海團隊對磨料旋轉射流拋光(ARJP)技術，剪切增稠拋光技術等開展深入研究，并利用SuperViewW1系列光學3D表面輪廓儀對拋光后表面粗糙度進行檢測驗證，多篇論文在國際TOP期刊發(fā)布。《TribologyInternational》（中科院一區(qū)）Numericalandexperimentalinvestigationonthematerialremovalprofileduringpolishingofinnersurfacesusinganabrasiverotatingjet論文鏈接：/10.1016/j.triboint.2023.109125《Wear》（中科院一區(qū)）Effectofelastohydrodynamiccharacteristicsonsurfaceroughnessincylindricalshearthickeningpolishingprocess論文鏈接：/10.1016/j.wear.2023.205026《Surface&CoatingsTechnology》（中科院一區(qū)）SurfacepolishingandmodificationofTi-6Al-4Valloybyshearthickeningpoli

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