1、作 業(yè) 指 導(dǎo) 書(shū)文件編號(hào)：DFT-T233-34 版本:02 日期:2012.8.14文件名稱：干式氣密性測(cè)試校準(zhǔn)規(guī)程1 適用范圍 本規(guī)定適用于干式氣密性測(cè)試設(shè)備的校準(zhǔn)。2 設(shè)備概述 干式氣密性測(cè)試設(shè)備是用壓縮空氣檢測(cè)零件氣密性的專用設(shè)備，干式氣密性測(cè)漏儀原理為差壓衰減方式，測(cè)試件泄漏時(shí)會(huì)導(dǎo)致傳感器薄膜的偏移。由于氣體的受熱膨脹性，要求同一零件的測(cè)試溫度保持一致。3 技術(shù)要求3.1 壓力范圍： 0 -500Kpa；3.2 檢測(cè)范圍： 0-999mL/min；3.3 設(shè)備檢測(cè)誤差： 要求: 誤差±5%；3.4 校準(zhǔn)條件：溫度10-25度。4 檢驗(yàn)項(xiàng)目4.1 外觀檢查；4.2 精密壓力

2、表(ATEQ檢漏設(shè)備無(wú)需檢驗(yàn))；4.3 設(shè)備的泄漏量的驗(yàn)證5 標(biāo)定方法和要求5.1 外觀目測(cè)檢查要求：設(shè)備應(yīng)整齊清潔，零部件完整、齊全、油漆完好、無(wú)銹蝕，各種儀表正常。5.2 精密壓力表需外委標(biāo)定（ATEQ檢漏設(shè)備無(wú)需標(biāo)定）。5.3 設(shè)備的泄漏量驗(yàn)證 5.3.1要求：設(shè)備上的精密壓力表須在標(biāo)定的時(shí)間范圍內(nèi)；5.3.2驗(yàn)證使用工具：1)ATEQ檢測(cè)儀表； 5.3.3方法：1)打開(kāi)電源，接通氣源，完成“設(shè)備日點(diǎn)檢卡”；2)將設(shè)備連接工裝的氣管拔下，并將其接到檢測(cè)儀表的接口上。雙手按下啟動(dòng)按鈕，調(diào)節(jié)檢測(cè)儀表顯示值為1ml/min，待檢測(cè)時(shí)間到后，記下設(shè)備檢測(cè)值，觀察檢測(cè)值與1ml/min的差值是否在

3、±10%范圍內(nèi)，若不在，則需將設(shè)備內(nèi)容積數(shù)值調(diào)小，然后再啟動(dòng)設(shè)備檢測(cè)，繼續(xù)比較，若仍然不接近，需要繼續(xù)減小內(nèi)容積的設(shè)定值，直至檢測(cè)值與1ml/min的差值在±10%以內(nèi)。3)檢測(cè)儀表分別取值1.5ml/min、2ml/min、3ml/min、3.5ml/min、5ml/min時(shí)，啟動(dòng)設(shè)備進(jìn)行檢測(cè)并記錄下檢測(cè)值進(jìn)行比較；4)判定：計(jì)算泄漏量誤差誤差±10%為合格。5.4 系統(tǒng)的泄漏量驗(yàn)證 5.4.1要求：設(shè)備上的精密壓力表須在標(biāo)定的時(shí)間范圍內(nèi)；5.4.2驗(yàn)證使用工具：1)ATEQ檢測(cè)儀表； 5.4.3方法：A 重復(fù)性：評(píng)定其重復(fù)性指標(biāo)采用測(cè)量能力指數(shù)Cg，將全密封樣

4、件（即零泄漏樣件）在設(shè)備上重復(fù)安裝后測(cè)量50次，記錄每次的測(cè)得值然后求Cg值： Cg=0.2×T/（4×S）式中，S標(biāo)準(zhǔn)偏差(采用EXCEL表格標(biāo)準(zhǔn)公式計(jì)算)T被測(cè)工件的最大允許泄漏量，HFA零件最大允許泄漏量為3ml/min。當(dāng)Cg2.0時(shí)，認(rèn)為該檢測(cè)設(shè)備的重復(fù)性指標(biāo)符合要求。B 精度：檢驗(yàn)時(shí)：精度評(píng)定是利用標(biāo)準(zhǔn)漏塊來(lái)進(jìn)行的。設(shè)置3個(gè)泄漏值測(cè)試點(diǎn)，分別為1ml/min,4ml/min，2ml/min。將全密封樣件（即零泄漏樣件）置于設(shè)備上。在每個(gè)評(píng)定點(diǎn)等精度地測(cè)試10次，然后比較檢測(cè)設(shè)備的測(cè)得值。所得到的三組比較結(jié)果中，若每一組的最大偏差maxi10%×T（T=

5、3ml/min），即認(rèn)為這臺(tái)泄漏檢測(cè)設(shè)備的精度達(dá)到要求。6 評(píng)價(jià)6.1 能通過(guò)規(guī)定的全部檢驗(yàn)項(xiàng)目時(shí)，為合格設(shè)備；6.2 有下列情況之一時(shí)，為不合格設(shè)備：1)設(shè)備有嚴(yán)重缺陷，危及人身安全，或可能引起更大故障和損失時(shí)；2)精密壓力表或電磁流量計(jì)外委標(biāo)定不合格；3)泄漏量檢查超出規(guī)定范圍；7 檢驗(yàn)周期：定期整體檢驗(yàn)的間隔為一年，其中設(shè)備的泄漏流量驗(yàn)證，需不定期檢驗(yàn)，預(yù)定為每天測(cè)產(chǎn)品泄漏量前進(jìn)行泄漏量驗(yàn)證，合格后方可進(jìn)行產(chǎn)品的泄漏量測(cè)試。 共 8 頁(yè) 第 3 頁(yè)編制：陳軍 校對(duì)：張建明 審核：肖志華 發(fā)布日期：2012-8-14作 業(yè) 指 導(dǎo) 書(shū)文件編號(hào)：DFT-T233-34 版本:02 日期:20

6、12.8.14文件名稱：干式氣密性測(cè)試校準(zhǔn)規(guī)程 附錄一：記錄表格干式氣密性檢測(cè)設(shè)備校準(zhǔn)記錄設(shè)備編號(hào)： 年 月 日外觀情況： 合格 不合格壓力表標(biāo)定標(biāo)簽是否在有效期內(nèi)： 是 否 儀表泄漏量檢驗(yàn)允許泄漏計(jì)算誤差：誤差±10%泄漏量測(cè)量序號(hào)1.5ml/min2ml/min3ml/min3.5ml/min5ml/min檢測(cè)值差值計(jì)算誤差判斷： 誤差±10% 誤差±10% 評(píng)價(jià)：儀表檢測(cè)泄漏量在允許的誤差范圍內(nèi)，儀表正常。注：表中判斷欄，以“Y”為通過(guò)，以“N”為不通過(guò)附錄二：記錄表格干式氣密性檢測(cè)系統(tǒng)校準(zhǔn)記錄設(shè)備編號(hào)： 年 月 日外觀情況： 合格 不合格壓力表標(biāo)定標(biāo)簽是否

7、在有效期內(nèi)： 是 否左邊工位泄漏量檢驗(yàn)重復(fù)性單位：ml/min泄漏量檢測(cè)值SCg判斷： Cg2 Cg2 評(píng)價(jià)：左邊工位泄漏量檢驗(yàn)重復(fù)性滿足要求。注：表中判斷欄，以“Y”為通過(guò)，以“N”為不通過(guò)附錄三：記錄表格干式氣密性檢測(cè)系統(tǒng)校準(zhǔn)記錄設(shè)備編號(hào)： 年 月 日外觀情況： 合格 不合格壓力表標(biāo)定標(biāo)簽是否在有效期內(nèi)： 是 否左邊泄漏量檢驗(yàn)精度單位：ml/min泄漏量檢測(cè)值標(biāo)準(zhǔn)值測(cè)量值maxi12345678910142maxi10%×T（T=3ml/min）判斷142評(píng)價(jià)：左邊工位泄漏量檢驗(yàn)精度滿足要求。注：表中判斷欄，以“Y”為通過(guò)，以“N”為不通過(guò)附錄二：記錄表格干式氣密性檢測(cè)系統(tǒng)校準(zhǔn)記錄設(shè)備編號(hào)： 年 月 日外觀情況： 合格 不合格壓力表標(biāo)定標(biāo)簽是否在有效期內(nèi)： 是 否右邊工位泄漏量檢驗(yàn)重復(fù)性單位：ml/min泄漏量檢測(cè)值SCg判斷： Cg2 Cg2 評(píng)價(jià)：右邊工位泄露量檢驗(yàn)重復(fù)性滿足要求。注：表中判斷欄，以“Y”為通過(guò)，以“N”為不通過(guò)附錄三：記錄表格干式氣密性檢測(cè)系統(tǒng)校準(zhǔn)記錄設(shè)備編號(hào)： 年 月 日外觀情況： 合格 不合格壓力表標(biāo)定標(biāo)簽是否在有效期內(nèi)： 是 否右邊泄漏量檢驗(yàn)精度單位：ml/min泄漏量檢測(cè)值標(biāo)準(zhǔn)值測(cè)量值maxi1234567891