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Al、O摻雜改性摻雜改性TiN薄膜的制備薄膜的制備及性能研究及性能研究 一、研究背景PVD沉積硬質(zhì)薄膜研究較多，很實(shí)用但不夠美觀，限制了其適用范圍一、研究背景優(yōu)點(diǎn)：PVD沉積TiN薄膜具有高熔點(diǎn)、高硬度，顏色以金色為主。它是第一個(gè)產(chǎn)業(yè)化并廣泛應(yīng)用的硬質(zhì)薄膜材料。一、研究背景缺點(diǎn)：其顏色以金色為主，簡(jiǎn)單工藝改善很難達(dá)到變色的效果，這也限制了其使用范圍我們是否可以沉積彩色我們是否可以沉積彩色薄膜，擴(kuò)大使用范圍，薄膜，擴(kuò)大使用范圍，比如電腦外殼比如電腦外殼創(chuàng)新點(diǎn)一、研究背景原有電子產(chǎn)品外殼表面處理技術(shù)中電鍍、噴涂、電泳等，外觀精美，顏色多樣，一、研究背景缺點(diǎn)：薄膜硬度低、易劃傷；電鍍、電泳工藝是高污染、高浪費(fèi)、高耗能工藝技術(shù)。背景衍生二、現(xiàn)有條件工程實(shí)踐報(bào)道PVD沉積Cr、Ti、Al、Ni等多元復(fù)合金屬氮氧化物薄膜在提高薄膜硬度的同時(shí)可實(shí)現(xiàn)薄膜顏色變化，但未見(jiàn)深入研究三、薄膜設(shè)計(jì)TiAlNxOyTiAlNxTi45# samples/Silicon chips打底層硬質(zhì)薄膜層變色薄膜四、工藝設(shè)計(jì)五、產(chǎn)品展示五、產(chǎn)品展示六、力學(xué)性能測(cè)試隨氧氣通量增大，顆粒邊界緊密化纖維組織細(xì)化，致密化，表面平整化六、力學(xué)性能測(cè)試六、力學(xué)性能測(cè)試創(chuàng)新點(diǎn)制備TiN薄膜的同時(shí)摻入Al、O：更高硬度、抗氧化能力更

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