1、深度分析一文帶你看半導(dǎo)體光刻膠國(guó)產(chǎn)化之路“難”在何處 HYPERLINK /hs/zhengquan_300398.SZ.html 中國(guó)光刻膠行業(yè)主要上市公司：飛凱材料(300398)、容大感光(300576)、廣信材料(300537)、上海新陽(yáng)(300236)、永太科技(002326)、雅克科技(002409)、江化微(603078)等。本文核心數(shù)據(jù)：中國(guó)半導(dǎo)體光刻膠自給率等1、光刻膠是典型的高技術(shù)壁壘行業(yè)光刻膠是電子化學(xué)品中技術(shù)壁壘最高的材料，具有純度要求高、生產(chǎn)工藝復(fù)雜、生產(chǎn)及檢測(cè)等設(shè)備投資大、技術(shù)積累期長(zhǎng)等特征。從相關(guān)技術(shù)來(lái)看，光刻膠的核心技術(shù)包括配方技術(shù)、質(zhì)量控制技術(shù)和原材料技術(shù)，配

2、方技術(shù)是光刻膠實(shí)現(xiàn)功能的核心，而質(zhì)量控制技術(shù)能夠保證光刻膠性能的穩(wěn)定性，而光刻膠原材料的品質(zhì)對(duì)光刻膠的質(zhì)量起著關(guān)鍵作用。2、半導(dǎo)體光刻膠自給率低、主要由日企滿足半導(dǎo)體光刻膠屬于光刻膠高端產(chǎn)品，受技術(shù)限制，當(dāng)前，我國(guó)半導(dǎo)體光刻膠需求主要由外資企業(yè)來(lái)滿足，2020年，外資企業(yè)的市場(chǎng)份額達(dá)71%。從不同光刻膠產(chǎn)品的自給率來(lái)看，目前適用于6英寸硅片的g線、i線光刻膠的自給率約為20%，適用于8英寸硅片的KrF光刻膠的自給率不足5%，而適用于12寸硅片的ArF光刻膠基本依靠進(jìn)口，光刻膠國(guó)產(chǎn)化任重道遠(yuǎn)。3、半導(dǎo)體光刻膠國(guó)產(chǎn)化“難”在何處?研發(fā)設(shè)備：成本高昂且依賴進(jìn)口光刻膠生產(chǎn)需要光刻機(jī)進(jìn)行配套測(cè)試，因此，

3、光刻機(jī)是光刻膠研發(fā)中必不可少的一環(huán)。根據(jù)晶瑞電材于2021年8月公布的集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目信息，該研發(fā)項(xiàng)目投資總額為48850萬(wàn)元，其中設(shè)備及安裝費(fèi)占總投資額的69%，而光刻機(jī)(進(jìn)口ASML光刻機(jī))就占設(shè)備及安裝費(fèi)的44%，達(dá)1.5億元，可以看出，光刻機(jī)是光刻膠研發(fā)項(xiàng)目中成本最高的一環(huán)。 HYPERLINK /us/zhengquan_ASML.O.html 除了成本高昂以外，我國(guó)高端光刻機(jī)幾乎依賴進(jìn)口，目前國(guó)內(nèi)僅有1家高端光刻機(jī)生產(chǎn)企業(yè)上海微裝，成功研發(fā)出極紫外線光刻機(jī)。在全球市場(chǎng)中，荷蘭的阿斯麥處于王者之位，尤其是在高端光刻機(jī)市場(chǎng)，更是處于壟斷地位，2018年以來(lái)，該公司的EU

4、V光刻機(jī)價(jià)格也不斷上揚(yáng)，2021年7月4日，約為1.54億歐元/臺(tái)。核心原材料“受制于人”原料是光刻膠產(chǎn)業(yè)的重要環(huán)節(jié)，原料的品質(zhì)也決定了光刻膠產(chǎn)品品質(zhì)，主要原料包括樹脂、光引發(fā)劑、溶劑和單體等。我國(guó)對(duì)光刻膠及專用化學(xué)品的分析起步較晚，但國(guó)家層面非常重視，從“六五計(jì)劃”至今都一直將光刻膠列為國(guó)家高新技術(shù)計(jì)劃、國(guó)家重大科技項(xiàng)目。盡管取得了一定成果，但技術(shù)水平仍與國(guó)際水平相差較大，作為原料的主要專用化學(xué)品仍然需要依賴進(jìn)口：客戶驗(yàn)證周期長(zhǎng)、不確定性較大光刻膠技術(shù)壁壘較高且其功能性和產(chǎn)品質(zhì)量直接影響電子元器件、部件的功能和穩(wěn)定性，一旦出現(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題會(huì)給下游客戶帶來(lái)不可估量的嚴(yán)重?fù)p失，下游客戶對(duì)光刻膠專用化

5、學(xué)品供應(yīng)商的選擇非常謹(jǐn)慎，通常采用認(rèn)證采購(gòu)的模式，認(rèn)證所需時(shí)間周期較長(zhǎng)。由于光刻膠產(chǎn)品的功能及質(zhì)量將直接影響電子元器件、部件的功能和穩(wěn)定性，下游客戶對(duì)光刻膠專用化學(xué)品供應(yīng)商的選擇非常謹(jǐn)慎，通常采用認(rèn)證采購(gòu)的模式，認(rèn)證所需時(shí)間周期較長(zhǎng)。一般來(lái)說(shuō)，面板光刻膠的驗(yàn)證周期為1-2年，半導(dǎo)體光刻膠的驗(yàn)證周期為2-3年，同時(shí)因?yàn)榘雽?dǎo)體光刻膠的種類多，各個(gè)客戶的測(cè)試要求和流程也有不同，因此，送測(cè)驗(yàn)證的時(shí)間不確定性很高。定制化需求加大生產(chǎn)難度由于光刻膠的下游用戶是IC芯片和面板制造商，不同的客戶會(huì)有不同的應(yīng)用需求，同一個(gè)客戶也有不同的光刻應(yīng)用需求。因此，由于客戶的差異化、定制化需求，光刻膠產(chǎn)品種類繁多，主要通過(guò)配方技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)，是難度較高也是較核心的技術(shù)。以半導(dǎo)體光刻膠的發(fā)展情況為例，隨著集成電路制程的演變，光刻膠技術(shù)需不斷更迭，產(chǎn)品種類也越來(lái)越多：但從目前本土光刻膠企業(yè)的產(chǎn)能情況來(lái)看，截至2021年上半年末，可量產(chǎn)i/g line膠的企業(yè)包括北京科華