PAGE1PAGE6《薄膜材料與薄膜技術(shù)》課程簡(jiǎn)介課程編號(hào)：02034910課程名稱：《薄膜材料與薄膜技術(shù)》ThinSolidFilmsMaterialsandTechnology學(xué)分:2學(xué)時(shí)：32（課內(nèi)實(shí)驗(yàn)(踐)：2上機(jī)：課外實(shí)踐：）適用專業(yè)：材料類本科生建議修讀學(xué)期：第6學(xué)期開課單位：材料科學(xué)與工程學(xué)院材料物理與化學(xué)系課程負(fù)責(zé)人：先修課程：《材料科學(xué)基礎(chǔ)》考核方式與成績(jī)?cè)u(píng)定標(biāo)準(zhǔn)：考核方式：開卷考試成績(jī)?cè)u(píng)定標(biāo)準(zhǔn)：本課程的總成績(jī)主要由兩部分組成：平時(shí)成績(jī)（包括作業(yè)情況、出勤情況等）占20%，期末考試成績(jī)占80%。教材與主要參考書目：教材：鄭偉濤等，薄膜材料與薄膜技術(shù)，化學(xué)工業(yè)出版社，2007主要參考書目：1．陳國(guó)平主編，薄膜物理與技術(shù)，東南大學(xué)出版社，19932．楊邦朝王文生著，薄膜物理與技術(shù)，電子科技大學(xué)出版社，1994內(nèi)容概述：中文：真空與薄膜技術(shù)在近代物理和近代科學(xué)技術(shù)發(fā)展中起著重要作用，本課程是擴(kuò)大材料物理專業(yè)本科生視野和就業(yè)面重要的專業(yè)選修課之一。本課程在《材料物理基礎(chǔ)》等課程的基礎(chǔ)上，結(jié)合本校工科的特色，介紹真空和薄膜技術(shù)等方面的一些基礎(chǔ)知識(shí)，為學(xué)生的進(jìn)一步學(xué)習(xí)和工作打好基礎(chǔ)。其教學(xué)內(nèi)容主要包括：薄膜技術(shù)與高科技、真空技術(shù)基礎(chǔ)、薄膜的制備方法、薄膜的生長(zhǎng)、薄膜的性質(zhì)和表征以及薄膜材料和應(yīng)用。本課程意在培養(yǎng)學(xué)生從事薄膜以及相關(guān)行業(yè)的能力，要求學(xué)生能了解真空、薄膜制備、生長(zhǎng)以及薄膜材料應(yīng)用的知識(shí)，并全面了解薄膜行業(yè)的科研前景。培養(yǎng)學(xué)生能在實(shí)際工作中根據(jù)需要，應(yīng)用相關(guān)知識(shí)解決實(shí)際問題的能力。英文：TechnoligiesofVacuumandThinSolidFilmsplayanimportantroleinthedevelopmentofmodernphysicsandmodernscienceandtechnology,thiscourseisanimportantselectivecoursetoexpandthematerialphysicsmajorstudentsviewandemployment.Onthebasisofthe“FundamentalsofMaterialsPhysics”,combiningthecharacteristicsofourschoolofengineering,thebasicknowledgeofthevacuumandthinfilmtechnologywasintroduced.Itsteachingcontentmainlyincludesthinfilmtechnology,vacuumtechnology,preparationmethodsofthinfilm,thegrowthofthinfilms,filmpropertiesandcharacterization,andfilmmaterialsandapplications.Thiscourseaimstoculturestudent’sabilityinthefilmanditsrelatedindustry,requirestudentstounderstandthevacuum,thinpreparation,growthandapplicationofthinfilmmaterials,tofullyunderstandthefilmindustryandresearchprospect.Thiscourseaimstoculturethestudent’sabilitytosolvepracticalproblems,accordingtotheneedintheactualwork.

《薄膜材料與薄膜技術(shù)》教學(xué)大綱課程編號(hào)：02034910課程名稱：ThinSolidFilmsMaterialsandTechnology學(xué)分:2學(xué)時(shí)：32（實(shí)驗(yàn)：上機(jī)：課外實(shí)踐：）適用專業(yè)：材料科學(xué)與工程等建議修讀學(xué)期：6開課單位：材料科學(xué)與工程學(xué)院材料物理與化學(xué)系課程負(fù)責(zé)人：先修課程：材料科學(xué)基礎(chǔ)一、課程性質(zhì)、目的與任務(wù)【課程性質(zhì)】真空與薄膜技術(shù)在近代物理和近代科學(xué)技術(shù)發(fā)展中起著重要作用，本課程是擴(kuò)大材料物理專業(yè)本科生視野和就業(yè)面重要的專業(yè)選修課之一。本課程在《材料物理基礎(chǔ)》和《固體物理》等課程的基礎(chǔ)上，結(jié)合本校工科的特色，介紹真空和薄膜技術(shù)等方面的一些基礎(chǔ)知識(shí)，為學(xué)生的進(jìn)一步學(xué)習(xí)和工作打好基礎(chǔ)。【教學(xué)目的與任務(wù)】（1）讓學(xué)生掌握與真空和薄膜制備相關(guān)的基本概念、方法和規(guī)律，激發(fā)學(xué)生對(duì)現(xiàn)代科學(xué)知識(shí)的興趣，培養(yǎng)科學(xué)研究的方法。（2）介紹真空和薄膜物理發(fā)展的基本情況和他們對(duì)近代物理和近代科技發(fā)展所起的重要作用，培養(yǎng)學(xué)生的科學(xué)素質(zhì)和科學(xué)精神。（3）介紹當(dāng)今真空技術(shù)和薄膜技術(shù)的前沿領(lǐng)域概況，培養(yǎng)學(xué)生的現(xiàn)代意識(shí)和科學(xué)遠(yuǎn)見?！緦?duì)應(yīng)畢業(yè)要求】對(duì)應(yīng)指標(biāo)點(diǎn)：1.4：能夠應(yīng)用專業(yè)知識(shí)解決材料科學(xué)與工程專業(yè)復(fù)雜工程問題。3.1：能夠設(shè)計(jì)針對(duì)新材料的研發(fā)、應(yīng)用和工藝改進(jìn)等復(fù)雜工程問題的解決方案。6.1：能夠基于工程相關(guān)背景知識(shí)對(duì)專業(yè)工程實(shí)踐和復(fù)雜工程問題的解決方案的合理性進(jìn)行分析。6.2：能夠評(píng)價(jià)復(fù)雜工程問題解決方案對(duì)社會(huì)、健康、安全、法律以及文化的影響，并理解應(yīng)承擔(dān)的責(zé)任。二、教學(xué)內(nèi)容及學(xué)時(shí)分配（按章節(jié)列出內(nèi)容要求學(xué)時(shí)等，實(shí)驗(yàn)上機(jī)項(xiàng)目要列在課程內(nèi)容一欄）《薄膜材料與薄膜技術(shù)》總學(xué)時(shí)數(shù)為32學(xué)時(shí)，其中理論教學(xué)為32學(xué)時(shí)；課程教學(xué)共有6章，具體內(nèi)容及學(xué)時(shí)安排等如下表所示：課程內(nèi)容教學(xué)要求重點(diǎn)（☆）難點(diǎn)（△）學(xué)時(shí)安排實(shí)驗(yàn)學(xué)時(shí)上機(jī)學(xué)時(shí)備注（一）緒論1薄膜與高新技術(shù)C什么是薄膜A☆（二）真空技術(shù)基礎(chǔ)2真空基本知識(shí)A☆稀薄氣體的基本性質(zhì)BΔ真空的獲得B☆真空的測(cè)量與檢漏C（三）薄膜的制備方法10熱生長(zhǎng)C化學(xué)氣相沉積B☆LB膜技術(shù)C真空蒸發(fā)B濺射鍍膜A☆Δ離子鍍B外延鍍膜法B☆（四）薄膜的形成與生長(zhǎng)3凝結(jié)過程B形核B☆Δ薄膜的形成過程和生長(zhǎng)模式A☆Δ濺射薄膜的形成過程B☆（五）薄膜的性質(zhì)與表征11薄膜厚度控制及測(cè)量B☆Δ薄膜的性質(zhì)：力學(xué)性質(zhì)、電學(xué)性質(zhì)、磁學(xué)性質(zhì)B☆Δ薄膜的結(jié)構(gòu)與缺陷B薄膜的組分、形貌表征A☆薄膜結(jié)構(gòu)的表征A☆（六）薄膜材料及其應(yīng)用5超硬薄膜材料B☆石墨烯C形狀記憶合金薄膜C磁性薄膜與超導(dǎo)薄膜B☆Δ半導(dǎo)體薄膜C（教學(xué)基本要求：A-掌握；B-熟悉；C-了解）三、建議實(shí)驗(yàn)（上機(jī)）項(xiàng)目及學(xué)時(shí)分配無四、教學(xué)方法與教學(xué)手段教學(xué)方法：課堂講授中要重點(diǎn)對(duì)基本概念、基本方法和解題思路的講解；采用啟發(fā)式教學(xué)，培養(yǎng)學(xué)生思考問題、培養(yǎng)學(xué)生思考問題、分析問題和解決問題的能力；引導(dǎo)和鼓勵(lì)學(xué)生通過自學(xué)獲得知識(shí)；調(diào)動(dòng)學(xué)生學(xué)習(xí)的主觀能動(dòng)性。教學(xué)手段：本課程屬于專業(yè)基礎(chǔ)課，在教學(xué)中可采用電子教案、CAI課件及多媒體教學(xué)系統(tǒng)等先進(jìn)教學(xué)手段，處理好重點(diǎn)和難點(diǎn)。啟發(fā)式教學(xué)，實(shí)現(xiàn)“課堂介紹+答疑”教學(xué)互動(dòng)。在理論授課時(shí)，除了要堅(jiān)持由淺入深，循序漸進(jìn)和階段性的原則，還要注意和橫向課程的銜接。加強(qiáng)課堂教學(xué)的實(shí)踐環(huán)節(jié)，充分發(fā)揮模型、實(shí)物等的作用，來激發(fā)學(xué)生的興趣和想象力。五、考核方式與成績(jī)?cè)u(píng)定標(biāo)準(zhǔn)考核方式：開卷考試成績(jī)?cè)u(píng)定標(biāo)準(zhǔn)：本課程的總成績(jī)主要由兩部分組成：平時(shí)成績(jī)（包括作業(yè)情況、出勤情況等）占20%，期末考試成績(jī)占80%。期終考試試卷對(duì)應(yīng)該課程支撐畢業(yè)要求指標(biāo)點(diǎn)的情況如下表所示：課程支撐畢業(yè)要求指標(biāo)點(diǎn)在試卷中的相應(yīng)分?jǐn)?shù)（范圍）指標(biāo)點(diǎn)1.280%指標(biāo)點(diǎn)4.220%總計(jì)100%六、教材與主要參考書目教材：鄭偉濤等，薄膜材料與薄膜技術(shù)，化學(xué)工業(yè)出版社，2007主要參考書目：1．陳國(guó)平主編，薄膜物理與技術(shù)，東南大學(xué)出版社，19932．楊邦朝王文生著