擴(kuò)散爐常見(jiàn)故障及維護(hù)Tempress擴(kuò)散爐1TUBE尾氣壓力偏高檢查尾氣管是否被偏磷酸堵塞檢查尾氣壓力控制器是否損壞或需要重新校正檢查進(jìn)入尾氣壓力控制器的氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥是否關(guān)閉2TUBE尾氣壓力偏低檢查爐管是否存在缺口或裂口檢查爐門是否關(guān)閉不良檢查爐門是否被偏磷酸腐蝕或磨損檢查進(jìn)入爐管的氮?dú)鈿夤芑蚪宇^是否漏氣檢查進(jìn)入尾氣壓力控制器的氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥是否調(diào)大3各氣路流量異常檢查氣路閥的氣路氣管或接頭是否漏氣檢查氣路閥氣是否損壞檢查氣路流量計(jì)是否工作正常4部分制程中PaddleTC溫度偏高或偏低檢查隨溫度升高，加熱區(qū)的輸入功率是否正常，如果有波動(dòng)，可讓工藝做profiling檢查SpikeTC是否與爐管接觸良好5全制程中PaddleTC溫度較高或顯示1499度檢查PaddleTC接頭是否接觸不良檢查paddleTC是否損壞6DMC通迅錯(cuò)誤檢查CPU模塊錯(cuò)誤指示燈是亮起在手動(dòng)情況下確認(rèn)各個(gè)電機(jī)和Sense是否正常檢查各個(gè)電機(jī)到DMC的電纜是否損壞7在制程中卡槳檢查電機(jī)是否損壞檢查傳動(dòng)部分是否工作正常(絲桿和軸承)檢查電機(jī)到DMC的電纜是否接觸不良或斷裂8爐管無(wú)法升溫檢查溫度控制器是否警報(bào)9R2D機(jī)械手在自動(dòng)或Home中不移動(dòng)檢查控制Y軸的保險(xiǎn)絲是否燒斷10R2D機(jī)械手在自動(dòng)無(wú)法從槳上取舟檢查工藝制程是否完成在R2D屏幕中檢查輸入輸出通迅是否正常檢查R2D機(jī)械手的觸點(diǎn)開關(guān)是否工作正常檢查Shuttle上的觸點(diǎn)開關(guān)是否工作正常11機(jī)械手在自動(dòng)中無(wú)法從Shuttle上取舟在R2D機(jī)械手屏幕中檢查爐管的狀態(tài)(必要時(shí)清除)檢查R2D機(jī)械手的觸點(diǎn)開關(guān)是否工作正常在R2D屏幕中檢查輸入輸出通迅是否正常TEMPRESS基本結(jié)構(gòu)1.DTC 7.Furnace，Spike2.DPC 8.Powersupply3.DMC 9.Bubblersystem4.Touchscreen 10.溫控裝置5.Paddle 11.Fan6.GasDTC數(shù)據(jù)處理模塊DPC---整個(gè)爐管數(shù)據(jù)的處理DMC

Bubblersystem

起給POCL3加熱保溫作用，一定要用1.5升的標(biāo)準(zhǔn)瓶Fan

1－CPU模

2－電機(jī)驅(qū)動(dòng)單元

3－Interface板二．各個(gè)伺服單元位置的校正1.當(dāng)清除CPU模塊內(nèi)存后,擴(kuò)散爐會(huì)自動(dòng)自動(dòng)執(zhí)行校準(zhǔn)，爐門和槳的上升下降伺服電機(jī)會(huì)自動(dòng)運(yùn)行，確認(rèn)當(dāng)前的位置,這時(shí)door和haight兩個(gè)伺服電機(jī)的“PositionValid”和“Calibrated”均顯示為YES.2.當(dāng)爐門同槳上升下降位確認(rèn)后,請(qǐng)確認(rèn)槳是否有前進(jìn),如果沒(méi)有,請(qǐng)選擇第九號(hào)test程序.3.將test程序槳的到達(dá)位置更改為2550mm,執(zhí)行該程序．爐門會(huì)自動(dòng)打開并且槳會(huì)起進(jìn)入爐管內(nèi)，到達(dá)endsensor位置.完成程序．4.將test程序槳的到達(dá)位置更改為10mm，執(zhí)行該程序．槳將返回homesensor位置，爐門關(guān)閉，完成loader位置的校準(zhǔn)．在校正完成后，請(qǐng)確認(rèn)所有“PositionValid”和“Calibrated”的值均應(yīng)該顯示為YES.Baratron氮?dú)獾墓?jié)流閥保壓設(shè)定當(dāng)爐管清洗并且安裝完成后,重新對(duì)DMC初使化,在初使化完成后,需要對(duì)爐管的密封性進(jìn)行檢測(cè).選擇TEST程序,設(shè)置當(dāng)前氮?dú)饬髁繛?SLM,將排氣壓力設(shè)置為5Pa,在爐門完全關(guān)閉后,運(yùn)行該程序.這時(shí),爐內(nèi)壓力會(huì)逐漸升高，并且維持在5Pa．如果壓力無(wú)法保持穩(wěn)定或低于當(dāng)前設(shè)定值，表示爐管密封