Sd式中，：極板間介質(zhì)介電常數(shù)；d：極板間距；

S：極板有效面積。式中，：介質(zhì)相對(duì)真空的介電常數(shù)，空氣1；

0：真空的介電常數(shù)，0=8.8510-12F/m；

d：極板間距；

S：極板面積。注意：上述式子還有另外一種的表達(dá)形式：由電容式傳感器的工作原理表達(dá)式可以知道，ε、S、d的改變均使電容器的電容值發(fā)生變化。因此可以保持其中的兩個(gè)參數(shù)不變，只改變其中的某一個(gè)參數(shù)制造各種的電容式傳感器。d變——ε、S不變，稱為變極距型（或變間隙型）；S

變——ε、d不變，稱為變面積型；ε變——d、S不變，稱為變介電常數(shù)型（或介質(zhì)變化型）極距變化型它們的電極形狀有平板形、圓柱形和球平面形三種。下面分別講解這三種類型的電容式傳感器。2、類型一、變極距型電容式傳感器

d——CSd定板動(dòng)板定板d定板動(dòng)板d傳感器的靈敏度靈敏度不是一個(gè)常數(shù)，說明輸入輸出間為非線性關(guān)系，C——d關(guān)系為：可見，靈敏度與極距的平方成反比，極距越小，靈敏度越高，但極距減小受極板間擊穿電壓的限制。此外，為了減小因靈敏度隨極距變化導(dǎo)致的非線性誤差，通常極距變化范圍d/d00.1。因此，此類電容傳感器僅適于較小位移的測(cè)量（0.01m~幾個(gè)mm）。二、變面積型電容式傳感器S——C傳感器的靈敏度靈敏度是一個(gè)常數(shù)，說明輸入輸出間為線性關(guān)系。常見的四種結(jié)構(gòu)形式：S：極板有效面積。S：極板面積。因此可以保持其中的兩個(gè)參數(shù)不變，只改變其中的某一個(gè)參數(shù)制造各種的電容式傳感器。d：極板間距；靈敏度不是一個(gè)常數(shù)，說明輸入輸出間為非線性關(guān)系，C——d關(guān)系為：0：真空的介電常數(shù)，0=8.因此，此類電容傳感器僅適于較小位移的測(cè)量（0.S——Cd變——ε、S不變，稱為變極距型（或變間隙型）；三、變介電常數(shù)型電容式傳感器由電容式傳感器的工作原理表達(dá)式可以知道，ε、S、d的改變均使電容器的電容值發(fā)生變化。S——C注意：上述式子還有另外一種的表達(dá)形式：它們的電極形狀有平板形、圓柱形和球平面形三種。ε變——d、S不變，稱為變介電常數(shù)型（或介質(zhì)變化型）0：真空的介電常數(shù)，0=8.平面線位移型角位移型圓柱體線位移型差動(dòng)式圓柱體線位移型動(dòng)板動(dòng)板動(dòng)板動(dòng)板定板定板定板定板定板三、變介電常數(shù)型電容式傳感器e——C這種傳感器可用來測(cè)量?jī)善叫袠O板間介質(zhì)的厚度、位移、液位、液量，除此之外還可以測(cè)溫度、濕度、容量等。01m~幾個(gè)mm）。01m~幾個(gè)mm）。因此可以保持其中的兩個(gè)參數(shù)不變，只改變其中的某一個(gè)參數(shù)制造各種的電容式傳感器。因此，此類電容傳感器僅適于較小位移的測(cè)量（0.這種傳感器可用來測(cè)量?jī)善叫袠O板間介質(zhì)的厚度、位移、液位、液量，除此之外還可以測(cè)溫度、濕度、容量等。式中，：介質(zhì)相對(duì)真空的介電常數(shù)，空氣1；可見，靈敏度與極距的平方成反比，極距越小，靈敏度越高，但極距減小受極板間擊穿電壓的限制。式中，：介質(zhì)相對(duì)真空的介電常數(shù)，空氣1；因此，此類電容傳感器僅適于較小位移的測(cè)量（0.8510-12F/m；這種傳感器可用來測(cè)量?jī)善叫袠O板間介質(zhì)的厚度、位移、液位、液量，除此之外還可以測(cè)溫度、濕度、容量等?？梢姡`敏度與極距的平方成反比，極距越小，靈敏度越高，但極距減小受極板間擊穿電壓的限制。d變——ε、S不變，稱為變極距型（或變間隙型）；由電容式