微電機(jī)研究的最新動(dòng)戀與應(yīng)用展詹瓊?cè)A教授、博士生導(dǎo)師2019,10微電機(jī)研究的最新動(dòng)1微電機(jī)的基本特征和主要類型微電機(jī)的國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀微電機(jī)的應(yīng)用前景微電機(jī)研究面臨的問(wèn)題和發(fā)展趨勢(shì)微電機(jī)的基本特征和主要類型2微電機(jī)的基本特征1.微型化微型化途徑:條是驅(qū)動(dòng)原理和結(jié)構(gòu)沿襲已有的中小電機(jī),并加以微型化如磁盤驅(qū)動(dòng)、攝像機(jī)、電動(dòng)玩具以及辦公自動(dòng)化機(jī)器中的步進(jìn)電機(jī)和直流電機(jī)條是采用新的功能材料開(kāi)發(fā)新的驅(qū)動(dòng)原理,制作成各種結(jié)構(gòu)型式的微電機(jī)。如壓電超聲電機(jī)、靜電電機(jī)以及利用形狀記憶合金、超磁致伸縮器件層疊式壓電振子、人工肌筋等開(kāi)發(fā)的各種微驅(qū)動(dòng)器微電機(jī)的基本特征3微電機(jī)的基本特征2.微電杌兼有驅(qū)動(dòng)和精密控制雙重功能驅(qū)動(dòng)可以是直線、旋轉(zhuǎn)或多自由度的控制目標(biāo)可以是位置、速度或力(力矩)3.基本的性能要求在體積小重量輕的前提下,能產(chǎn)生較大的運(yùn)動(dòng)位移量,并輸出較大的功率功耗小;控制精度高、響應(yīng)快。微電機(jī)的基本特征4微電機(jī)的主要類靜電式電磁式超磁致伸縮式壓電形狀記憶合金式仿生電機(jī)、光熱電機(jī)等靜電式和電磁式的轉(zhuǎn)子/定子間為非接觸驅(qū)動(dòng)形狀記憶合金式為直接驅(qū)動(dòng)壓電式和超磁致伸縮式為接觸式驅(qū)動(dòng),并具有保持力微電機(jī)的主要類5微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件6微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件7微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件8微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件9微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件10微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件11微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件12微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件13微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件14微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件15微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件16微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件17微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件18微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件19微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件20微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件21微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件22微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件23微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件24微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件25微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件26微電機(jī)研究的最新動(dòng)戀與應(yīng)用展詹瓊?cè)A教授、博士生導(dǎo)師2019,10微電機(jī)研究的最新動(dòng)27微電機(jī)的基本特征和主要類型微電機(jī)的國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀微電機(jī)的應(yīng)用前景微電機(jī)研究面臨的問(wèn)題和發(fā)展趨勢(shì)微電機(jī)的基本特征和主要類型28微電機(jī)的基本特征1.微型化微型化途徑:條是驅(qū)動(dòng)原理和結(jié)構(gòu)沿襲已有的中小電機(jī),并加以微型化如磁盤驅(qū)動(dòng)、攝像機(jī)、電動(dòng)玩具以及辦公自動(dòng)化機(jī)器中的步進(jìn)電機(jī)和直流電機(jī)條是采用新的功能材料開(kāi)發(fā)新的驅(qū)動(dòng)原理,制作成各種結(jié)構(gòu)型式的微電機(jī)。如壓電超聲電機(jī)、靜電電機(jī)以及利用形狀記憶合金、超磁致伸縮器件層疊式壓電振子、人工肌筋等開(kāi)發(fā)的各種微驅(qū)動(dòng)器微電機(jī)的基本特征29微電機(jī)的基本特征2.微電杌兼有驅(qū)動(dòng)和精密控制雙重功能驅(qū)動(dòng)可以是直線、旋轉(zhuǎn)或多自由度的控制目標(biāo)可以是位置、速度或力(力矩)3.基本的性能要求在體積小重量輕的前提下,能產(chǎn)生較大的運(yùn)動(dòng)位移量,并輸出較大的功率功耗小;控制精度高、響應(yīng)快。微電機(jī)的基本特征30微電機(jī)的主要類靜電式電磁式超磁致伸縮式壓電形狀記憶合金式仿生電機(jī)、光熱電機(jī)等靜電式和電磁式的轉(zhuǎn)子/定子間為非接觸驅(qū)動(dòng)形狀記憶合金式為直接驅(qū)動(dòng)壓電式和超磁致伸縮式為接觸式驅(qū)動(dòng),并具有保持力微電機(jī)的主要類31微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件32微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件33微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件34微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件35微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件36微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件37微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件38微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件39微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件40微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件41微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件42微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件43微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件44微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件45微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件46微電機(jī)研究動(dòng)態(tài)與應(yīng)用展望課件4