犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國國家標(biāo)準

犌犅／犜１４６０３—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３

電子工業(yè)用氣體三氟化硼

犌犪狊犲狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔—犅狅狉狅狀狋狉犻犳犾狌狅狉犻犱犲

２００９１０３０發(fā)布２０１００５０１實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標(biāo)準化管理委員會

書

犌犅／犜１４６０３—２００９

前言

本標(biāo)準代替ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３《電子工業(yè)用氣體三氟化硼》。

本標(biāo)準與ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３相比主要區(qū)別如下：

———修改三氟化硼的適用范圍（ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３的第１章，本版的第１章）；

———修改規(guī)范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３的第２章，本版的第２章）；

———修改三氟化硼的技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容（ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３的第３章，本版的第３章）；

———增加三氟化硼采樣安全要求（本版的４．１．２）；

———修改氮、氧（氬）含量的分析方法（ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３的４．２，本版的４．３）；

———修改二氧化硫含量的分析方法（ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３的４．２，本版的４．６）；

———增加二氧化碳、四氟化碳含量的分析方法（見本版的４．３）；

———修改標(biāo)志、包裝、貯運及安全（ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３的第６章、第７章，本版的第５章）；

———增加資料性附錄Ａ，并把測定三氟化硼中的氮、氧（氬）、二氧化碳和四氟化碳含量的色譜切割

流程圖寫入該附錄（見附錄Ａ）。

本標(biāo)準的附錄Ａ為資料性附錄。

本標(biāo)準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準化技術(shù)委員會提出。

本標(biāo)準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會歸口。

本標(biāo)準起草單位：核工業(yè)理化工程研究院、大連光明化工研究院、西南化工研究設(shè)計院。

本標(biāo)準主要起草人：鄧建平、倪志強、孫福楠、周鵬云。

本標(biāo)準所代替標(biāo)準的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３。

Ⅰ

書

犌犅／犜１４６０３—２００９

電子工業(yè)用氣體三氟化硼

１范圍

本標(biāo)準規(guī)定了電子工業(yè)用三氟化硼的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、包裝、標(biāo)志、貯運及安全要求。

本標(biāo)準適用于以氟氣和硼單質(zhì)為原料，采用直接化合的方法制得并經(jīng)過純化制取的三氟化硼；和以

氟硼酸鈉為原料熱分解法制得并經(jīng)過純化制取的三氟化硼。主要用于半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)的離

子注入和摻雜。

分子式：ＢＦ３。

相對分子質(zhì)量：６７．８０５（按２００５年國際相對原子質(zhì)量計算）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準的引用而成為本標(biāo)準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準，然而，鼓勵根據(jù)本標(biāo)準達成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準。

ＧＢ１９０危險貨物包裝標(biāo)志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標(biāo)志

ＧＢ１１６４０鋁合金無縫氣瓶

ＧＢ１４１９４永久氣體氣瓶充裝規(guī)定

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

危險貨物運輸規(guī)則

３技術(shù)要求

三氟化硼的質(zhì)量應(yīng)符合表１和表２的要求。

注：質(zhì)量保證期為１８個月。

表１直接反應(yīng)法制備的產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)

項目指標(biāo)

－２

三氟化硼（ＢＦ３）純度（摩爾分數(shù)）／１０≥９９．９９９９９．９９５

－６

氮（Ｎ２）含量（摩爾分數(shù)）／１０＜２２０

－６

氧＋氬（Ｏ２＋Ａｒ）含量（摩爾分數(shù)）／１０＜１１０

－６

二氧化碳（ＣＯ２）含量（摩爾分數(shù)）／１０＜１５

－６

四氟化碳（ＣＦ４）含量（摩爾分數(shù)）／１０＜１５

－６

四氟化硅（ＳｉＦ４）含量（摩爾分數(shù)）／１０＜５１０

總雜質(zhì)含量（摩爾