標(biāo)準(zhǔn)解讀
GB/T 14851-1993 是一項(xiàng)中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),全稱為《電子工業(yè)用氣體 磷化氫》。該標(biāo)準(zhǔn)主要規(guī)定了電子工業(yè)中使用的磷化氫氣體的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲(chǔ)存要求,旨在確保磷化氫氣體的質(zhì)量滿足電子工業(yè)應(yīng)用的需求,保障生產(chǎn)安全與產(chǎn)品質(zhì)量。
標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容概覽:
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范圍:明確了本標(biāo)準(zhǔn)適用的磷化氫氣體種類及其在電子工業(yè)中的具體應(yīng)用范圍。
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引用標(biāo)準(zhǔn):列出了實(shí)施本標(biāo)準(zhǔn)時(shí)需要參考的其他相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),這些標(biāo)準(zhǔn)通常涉及氣體檢測(cè)、分析方法及安全規(guī)范等。
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定義:對(duì)磷化氫氣體及其相關(guān)術(shù)語(yǔ)進(jìn)行了界定,確保標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行過(guò)程中的一致性和準(zhǔn)確性。
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技術(shù)要求:
- 純度:規(guī)定了磷化氫氣體的最低純度要求,通常以體積分?jǐn)?shù)或質(zhì)量分?jǐn)?shù)表示,確保其在電子元件制造等過(guò)程中不會(huì)引入雜質(zhì)。
- 雜質(zhì)含量:詳細(xì)列出了可能存在的雜質(zhì)種類及其最大允許含量,如水分、氧含量、酸性或堿性物質(zhì)等,以防止這些雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體材料或電路造成損害。
- 物理性質(zhì):可能包括氣體的壓力、溫度條件下的物理狀態(tài)要求等。
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試驗(yàn)方法:描述了用于測(cè)定磷化氫氣體純度、雜質(zhì)含量等關(guān)鍵指標(biāo)的具體測(cè)試步驟和方法,確保檢測(cè)結(jié)果的可靠性和可重復(fù)性。
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檢驗(yàn)規(guī)則:規(guī)定了產(chǎn)品出廠前的檢驗(yàn)程序、取樣規(guī)則、合格判定準(zhǔn)則等,以保證每批次產(chǎn)品的質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)要求。
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包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲(chǔ)存:
- 包裝:要求氣體容器應(yīng)符合安全標(biāo)準(zhǔn),能有效防止泄漏,并標(biāo)注有明確的產(chǎn)品信息和警示標(biāo)志。
- 標(biāo)志:需清晰標(biāo)示氣體名稱、純度、批號(hào)、生產(chǎn)日期、有效期、生產(chǎn)商信息等,便于追溯和安全使用。
- 運(yùn)輸:提供運(yùn)輸過(guò)程中的安全措施和注意事項(xiàng),確保氣體在搬運(yùn)過(guò)程中的安全性。
- 儲(chǔ)存:說(shuō)明了適宜的儲(chǔ)存條件,如溫度、壓力、避光、通風(fēng)等要求,以防氣體變質(zhì)或發(fā)生危險(xiǎn)。
實(shí)施意義:
該標(biāo)準(zhǔn)為電子工業(yè)中磷化氫氣體的生產(chǎn)、檢測(cè)、銷售及使用提供了統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)依據(jù),有助于提升產(chǎn)品質(zhì)量,促進(jìn)安全生產(chǎn),同時(shí)也為相關(guān)企業(yè)的產(chǎn)品出口和國(guó)際貿(mào)易提供了技術(shù)支撐。通過(guò)遵循此標(biāo)準(zhǔn),可以有效減少因氣體質(zhì)量問(wèn)題導(dǎo)致的電子元器件失效或生產(chǎn)事故,保障電子產(chǎn)品的性能和可靠性。
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- 被代替
- 已被新標(biāo)準(zhǔn)代替,建議下載現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T 14851-2009
- 1993-12-30 頒布
- 1994-10-01 實(shí)施
文檔簡(jiǎn)介
UDG661.637:621.3G87中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T14851-93電子工業(yè)用氣體磷化氫Gasforelectronicindustry-Phosphine1993-12-30發(fā)布1994-10-01實(shí)施國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布
中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)電子工業(yè)用氣體磷化氫GB/T14851-93Gasforelectronicindustry-Phosphine主題內(nèi)容與適用范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了磷化氫產(chǎn)品的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、安全要求以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸與財(cái)存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于亞磷酸熱分解、磷化物水解、單質(zhì)磷與水或堿反應(yīng)等方法獲得并經(jīng)精制得到的磷化氫產(chǎn)品。它主要用于半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)的外延、離子注入和摻雜。麟化氫是一種劇毒、可燃、具有腐魚味的無(wú)色氣體,在空氣中高濃度時(shí)能自燃。分子式:PH:相對(duì)分子質(zhì)量:33.9975(按1989年國(guó)際原子量)引用標(biāo)準(zhǔn)GB190危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志GB4845氨氣檢驗(yàn)方法GB5099鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶GB5274氣體分析校準(zhǔn)用混合氣體的制備稱量法GB5832.11氣體中微量水分的測(cè)定電解法GB7144氣瓶顏色標(biāo)志GB7445氫氣GB8980高純氮GB9721化學(xué)試劑分子吸收分光光度法通則(紫外和可見光部分)3技術(shù)要求薛化氫的質(zhì)量應(yīng)符合表1的技術(shù)要求。表1技術(shù)要求電子級(jí)發(fā)光二極管級(jí)磷化氫純度,10-99.981999.9828砷化氫含量,10-4VY102二氧化酸含量,10-10氫含量,10-°包含量,10-氧含量,10-總烴含量,10-水含量,10
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