全球領(lǐng)先的光伏一體化產(chǎn)品制造商和服務(wù)商電池制造部培訓(xùn)內(nèi)容：刻蝕工序2010年9月9日1多晶電池片生產(chǎn)過程原硅片制絨擴(kuò)散刻蝕和去磷硅玻璃PECVD分類檢測包裝絲網(wǎng)印刷背電極絲網(wǎng)印刷背電場絲網(wǎng)印刷正電極2刻蝕的目的和原理刻蝕原理：①4HNO3+3Si=3SiO2+4NO+2H2O②SiO2+6HF=H2[SiF6]+2H2O去PSG（磷硅玻璃）原理：刻蝕目的：去除邊緣PN結(jié)，防止短路3什么是磷硅玻璃在擴(kuò)散過程中發(fā)生如下反應(yīng)：POCl3分解產(chǎn)生的P2O5淀積在硅片表面，P2O5與Si反應(yīng)生成SiO2和磷原子。這樣就在硅片表面形成一層含有磷元素的SiO2，稱之為磷硅玻璃。4Rena水平刻蝕機(jī)1.冷水機(jī)；5.上料臺；2.控制電腦；6.rena柱式指示燈及其急停開關(guān);3.抽風(fēng)管及其調(diào)節(jié)閥；7.前玻璃窗.4.集中供液柱式指示燈及其急停開關(guān);15326745Rena水平刻蝕機(jī)8.電柜；12.排放管道；9.后玻璃蓋板；13.自動補(bǔ)液槽；10.下料臺；14.集中供液管路；11.供氣，供水管道；15.傳送滾軸.891011121314156生產(chǎn)流程1.上料臺放片

2.刻蝕槽刻邊結(jié)3.洗槽去殘液

6.HF槽去磷硅玻璃5.洗槽去殘液4.KOH噴淋去多孔硅7.洗槽去殘液8.風(fēng)刀吹干9.下料臺插片7注意事項1全過程戴口罩，完全遮住口鼻；必須戴乳膠手套或一次性手套進(jìn)行操作；整個操作過程中衣服，皮膚不可接觸硅片。2每次只從傳遞窗里取一批片子，傳遞窗兩側(cè)的門不能同時打開3擴(kuò)散面朝上，千萬不要放反4控制放片間距和角度，防置卡片5下料要挑出色差片，水痕片等8注意事項6發(fā)現(xiàn)問題要快速上報，不得私自處理7刻蝕后的硅片留存不能超過1h8必須按時還液；配液之前要把槽里的碎片清理干凈，槽內(nèi)嚴(yán)禁有銹跡和有機(jī)物9嚴(yán)禁有金屬及其他雜質(zhì)進(jìn)入各槽內(nèi),否則更換槽液10及時清理地面的堿液或酸液11提高安全意意識9注意事項12NaOH、HCl、HF都是強(qiáng)腐蝕性的化學(xué)藥品，其溶液、蒸汽會傷害到人的皮膚、眼睛、呼吸道，所以操作人員要按照規(guī)定穿戴防護(hù)服、防護(hù)面具、防護(hù)眼鏡、長袖膠皮手套。一旦有化學(xué)試劑傷害了員工的身體，馬上用純水沖洗30分鐘，送醫(yī)院就醫(yī)。

101112131刻蝕液不能上涌過多

檢測方法：目視，刻蝕完畢不能有黑邊工藝控制指標(biāo)發(fā)現(xiàn)黑邊片必須挑出做返工處理通知工藝人員解決

142減重量符合工藝要求檢測方法：每批取5片，分別測試刻蝕前和刻蝕后的重量并記錄?？涛g減重量須在0.04-0.09g范圍內(nèi)。工藝控制指標(biāo)發(fā)現(xiàn)不符合要求的硅片時：必須馬上停止該臺設(shè)備的生產(chǎn)；正在生產(chǎn)的硅片不能流入下工序；通知工藝人員處理。153冷熱探針測試邊緣PN結(jié)去除干凈檢測方法：確認(rèn)萬用表工作正常，量程置于200mV。冷探針連接電壓表的負(fù)電極，熱探針與電壓表的正極相連。萬用表顯示數(shù)值小于“-30”即認(rèn)為去除干凈工藝控制指標(biāo)發(fā)現(xiàn)不符合要求的硅片時：必須馬上停止該臺設(shè)備的生產(chǎn)；正在生產(chǎn)的硅片不能流入下工序；通知工藝人員處理。164方阻上升復(fù)合工藝要求檢測方法：每批取5片，分別測試刻蝕前和刻蝕后中心點(diǎn)的方阻并記錄。方阻上升必須小于6。工藝控制指標(biāo)發(fā)現(xiàn)不符合要求的硅片時：必須馬上停止該臺設(shè)備的生產(chǎn)；正在生產(chǎn)的硅片不能流入下工序；通知工藝人員處理。17刻蝕間化學(xué)品的種類刻蝕間主要使用的化學(xué)的種類有：HF(氫氟酸）HNO3（硝酸）NaOH（氫氧化鈉）H2SO4（硫酸）18氫氟酸HF特性：

無色透明至淡黃色冒煙液體、有刺激性、揮發(fā)性氣味。弱酸。危害：

對皮膚和呼吸道有強(qiáng)烈的刺激性和腐蝕性。濺入眼內(nèi)會迅速形成白色假膜樣混濁，處理不及時可引起角膜穿孔。皮膚接觸會造成表皮、真皮、皮下組織乃至肌層液化壞死。吸入1.5g可導(dǎo)致立即死亡。吸入高濃度HF酸霧，引起支氣管和出血性肺水腫。防護(hù)措施：生產(chǎn)過程中應(yīng)密閉，全面通風(fēng)。手動添加時需佩戴防毒面具、長橡膠手套以及防護(hù)服。并確保該產(chǎn)品附近有安全淋浴及洗眼器。19特性：

無色透明至淡黃色冒煙液體、有刺激性、揮發(fā)性氣味。危害：其蒸汽有刺激作用，引起眼和上呼吸道刺激癥狀，如流淚、咽喉刺激感、嗆咳，并伴有頭痛、胸悶等。口服引起腹部劇痛，嚴(yán)重者可有胃穿孔、腹膜炎、喉痙攣、腎損害、休克以及窒息。皮膚接觸引起灼傷。防護(hù)措施：生產(chǎn)過程中應(yīng)密閉，全面通風(fēng)。手動添加時需佩戴防毒面具、長橡膠手套以及防護(hù)服。并確保該產(chǎn)品附近有安全淋浴及洗眼器。硝酸HNO320氫氧化鈉NaOH特性：

白色固體，強(qiáng)吸濕性。溶于水，并能放出大量熱使可燃物著火。有強(qiáng)腐蝕性。危害：

遇潮時對鋁、鋅、錫有腐蝕性，并放出易燃的氫氣，與酸類和銨鹽劇烈反應(yīng)，強(qiáng)腐蝕性。能嚴(yán)重灼傷人體。防護(hù)措施：