ICS7104099

N53..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T17359—2012/ISO223092006

代替:

GB/T17359—1998

微束分析能譜法定量分析

Microbeamanalysis—Quantitativeanalysisusingenergydispersivespectrometry

(ISO22309:2006,IDT)

2012-07-31發(fā)布2013-02-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T17359—2012/ISO223092006

:

目次

前言…………………………

Ⅲ

引言…………………………

Ⅳ

范圍………………………

11

規(guī)范性引用文件…………………………

21

術(shù)語(yǔ)和定義………………

31

試樣制備…………………

45

儀器準(zhǔn)備…………………

55

分析步驟…………………

66

數(shù)據(jù)處理…………………

77

附錄資料性附錄譜峰的標(biāo)定………………………

A()10

附錄資料性附錄峰鑒定干擾……………………

B()/11

附錄資料性附錄影響測(cè)量結(jié)果不確定度的因素…………………

C()12

附錄資料性附錄原子序數(shù)小于的元素分析…………………

D()1114

附錄資料性附錄單個(gè)實(shí)驗(yàn)室及不同實(shí)驗(yàn)室之間再現(xiàn)性研究的數(shù)據(jù)舉例………

E()15

參考文獻(xiàn)……………………

16

Ⅰ

GB/T17359—2012/ISO223092006

:

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)代替電子探針和掃描電鏡射線(xiàn)能譜定量分析通則

GB/T17359—1998《X》。

本標(biāo)準(zhǔn)與相比主要內(nèi)容變化

GB/T17359—1998,:

增加了輕元素定量分析的技術(shù)要求

———;

增加了術(shù)語(yǔ)與定義

———;

增加了無(wú)標(biāo)樣定量分析的技術(shù)要求

———;

增加了測(cè)量不確定度的要求

———;

增加了資料性附錄附錄

———A、E;

刪除了分析方法原理

———;

刪除了附表和附表的標(biāo)準(zhǔn)樣品清單

———12。

本標(biāo)準(zhǔn)使用翻譯法等同采用微束分析能譜法定量分析

ISO22309:2006《》。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位核工業(yè)北京地質(zhì)研究院中國(guó)地質(zhì)科學(xué)院礦產(chǎn)資源研究所

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人范光葛祥坤周劍雄陳振宇于阿朋

:、、、、。

Ⅲ

GB/T17359—2012/ISO223092006

:

引言

當(dāng)一種高能量電子束作用到一個(gè)試樣上時(shí)會(huì)產(chǎn)生射線(xiàn)這種射線(xiàn)隨著試樣中不同的化學(xué)組成

X,X

原子類(lèi)別特征而具有不同的能量波長(zhǎng)每種元素的射線(xiàn)強(qiáng)度與該元素在試樣中的含量相關(guān)

()()。X。

如果用測(cè)得的這些射線(xiàn)強(qiáng)度與一個(gè)適當(dāng)?shù)膮⒖嘉镔|(zhì)或一組參考物質(zhì)的射線(xiàn)強(qiáng)度比較并用適當(dāng)?shù)?/p>

XX

方法校正就可得到每一元素的含量無(wú)標(biāo)樣程序也可以提供試樣的定量結(jié)果但要有存儲(chǔ)在軟件包

,?！啊?

中的預(yù)先測(cè)量的參考射線(xiàn)強(qiáng)度或通過(guò)理論計(jì)算得到的射線(xiàn)強(qiáng)度與之作對(duì)比這種基于一些假設(shè)

XX。

的程序的測(cè)試精度必然比利用參考物質(zhì)方法的測(cè)試精度低見(jiàn)參考文獻(xiàn)檢測(cè)特征射線(xiàn)

([1]~[8])。X

有兩種常見(jiàn)的方法波譜法能譜法本標(biāo)準(zhǔn)所采用的方法是能譜法

:(WDX)、(EDX)。。

利用能譜法分析時(shí)輕元素原子序數(shù)Z的元素的定量分析更加復(fù)雜本標(biāo)準(zhǔn)討論了一

,(<11(Na)),

些這方面的問(wèn)題

。

Ⅳ

GB/T17359—2012/ISO223092006

:

微束分析能譜法定量分析

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用安裝在掃描電鏡或電子探針上的能譜儀對(duì)試樣上特定點(diǎn)或特定

(SEM)(EPMA)

區(qū)域進(jìn)行定量分析的方法定量分析是指用質(zhì)量分?jǐn)?shù)百分?jǐn)?shù)表示元素的含量正確鑒別試樣中所有

。()。

元素是定量分析中必不可少的組成部分因此本標(biāo)準(zhǔn)也包含這方面的內(nèi)容本標(biāo)準(zhǔn)提供了多種能譜法

,,。

定量分析方法本標(biāo)準(zhǔn)適用于利用參考物質(zhì)或無(wú)標(biāo)樣程序?qū)|(zhì)量分?jǐn)?shù)高于的元素進(jìn)行定量分析

,“”1%。

本標(biāo)準(zhǔn)對(duì)原子序數(shù)大于的元素的分析置信度更高

10。

本標(biāo)準(zhǔn)也規(guī)定了對(duì)原子序數(shù)小于的輕元素的分析方法

11。

注當(dāng)沒(méi)有重疊峰并且相應(yīng)的特征射線(xiàn)被強(qiáng)烈地激發(fā)時(shí)能譜儀也可以測(cè)量質(zhì)量分?jǐn)?shù)在水平的元素本

:,X,0.1%。

標(biāo)準(zhǔn)主要應(yīng)用于表面平整試樣的定量分析基本方法也適用于表面不平整試樣的分析但會(huì)引入附加的不確定

,,

度分量

。

目前沒(méi)有公認(rèn)的輕元素的準(zhǔn)確能譜儀定量分析方法以下是幾種常用于輕元素分析的

(EDS),EDS

方法

:

測(cè)量峰面積并對(duì)比峰強(qiáng)度如附錄中所述的原因這種方法對(duì)輕元素分析結(jié)果的不確定度

a)。D,

比重元素大

。

當(dāng)已知試樣中的輕元素以化學(xué)計(jì)量的方式與重元素Z結(jié)合時(shí)該輕元素的濃度可以通

b)(>10),

過(guò)與其他元素的相關(guān)濃度比進(jìn)行測(cè)定這種方法通常用于硅酸鹽礦物試樣中氧的測(cè)定

。。

通過(guò)差值法計(jì)算濃度即用減去能夠分析元素的總百分?jǐn)?shù)即為輕元素的百分?jǐn)?shù)這種

c),100%。

方法只有在很好的束流穩(wěn)定性和單獨(dú)測(cè)量至少一個(gè)參考樣品的條件下才能夠應(yīng)用并且還需

,

要精確測(cè)定樣品中的其他元素

。

附錄總結(jié)了重元素存在時(shí)輕元素定量分析中的問(wèn)題如果儀器上安裝了能譜儀和波譜儀

D。

可以用來(lái)克服分析中的低能量譜峰重疊問(wèn)題

(WDS),WDSEDS。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,