檢漏技術(shù)介紹1

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006

系統(tǒng)泄漏....... .......你有麻煩了!2

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006找到泄漏點.............也許是個難題?3

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006需要檢漏的原因

環(huán)保

安全 ISO9000

使用壽命

可靠性

產(chǎn)品要求

產(chǎn)品的賣點 4

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006應用范圍分析儀大型光譜儀電子顯微鏡汽車工業(yè)空調(diào)剎車管熱交換器油箱蒸發(fā)器壓縮機調(diào)溫閥安全氣囊醫(yī)療技術(shù)起搏器X-光管導管，容器能源工業(yè)渦輪冷凝器高壓轉(zhuǎn)換器科研低溫容器加速器/同步器高真空表面分析儀IT搬送室工藝室離子注入機工業(yè)應用工業(yè)爐焊接爐鍍膜機閥門生產(chǎn)5

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006汽車工業(yè)BMWMercedesAudiVWFordVolvo

Peugot

etc.汽車制造商

應用檢測子系統(tǒng)

油箱Walbro

輪胎,管線Contitech

閥門Buerkert

熱交換器

Behr

安全氣囊

Temic/ Dyn.Nobel

機箱Witzenmann

壓力泵

Bosch配件商升壓測試空調(diào)系統(tǒng)空調(diào)系統(tǒng)充入冷媒前的He-LD檢漏6

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006檢漏的方法

Leybold的產(chǎn)品范圍檢漏方法檢漏氣體最小可檢漏率mbarl/s壓強范圍能否定量測量升壓檢漏法空氣和其他氣體10-4抽真空有限制壓強衰減法空氣和其他氣體10-4正壓有限制皂泡檢漏法空氣和其他氣體10-5正壓否水泡檢漏法空氣和其他氣體10-4正壓有限制超聲波檢漏空氣和其他氣體10-2正壓/抽真空否熱傳導檢漏空氣和其他氣體10-5正壓/抽真空否吸附檢漏法制冷劑和其他氣體10-7正壓能氦質(zhì)譜檢漏法氦，氫<10-7正壓能氦質(zhì)譜檢漏法氦，氫<5×10-12抽真空能7

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006氣密性的常識密封程度漏率范圍顆粒直徑備注

氦氣mbarl/s20。C空氣kg/h

封閉水10-210-5

水滴封閉水蒸汽10-310-6

凝結(jié)封閉細菌10-410-7d≈10-6m

封閉汽油10-510-8

封閉病毒10-610-9d≈0.3×10-6m

封閉氣體10-710-10

絕對封閉10-1010-11

理論上8

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006常見泄漏的漏率

水龍頭每秒滴一滴 1,7x10-1mbarl/s

一根頭發(fā)夾在密封圈與法蘭之間 1x10-3-5x10-2mbarl/s

自行車內(nèi)胎在水中發(fā)泡 1x10-2mbarl/s(水泡法)

汽車輪胎壓力在六個月里 4x10-5mbarl/s從1,81,6bar

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?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006泄漏的種類

接口泄漏

法蘭,焊點,接觸面平整度，接頭

滲透

氣體穿過密封物質(zhì)

如.

橡膠密封圈,玻璃

小孔泄漏

鑄件上的微孔導致的泄漏

虛擬泄漏

氣體（也包括蒸汽）從鑄件和塑料件的內(nèi)部空隙，盲孔逃逸出來

冷熱引起的泄漏

在極端的冷熱情況下造成的細微裂縫引起的泄漏10

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006a)泄漏b)解吸附作用c)泄漏+解吸附真空腔內(nèi)壓強的影響壓強時間11

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006體積為1升time/srisepressurembar1mbarl/s

的定義：1升的容器壓強在1秒鐘由1mbar升到2mbar的等效漏率。12

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006當漏率為1x10-6mbarl/s時一個一升容器壓強從1mbar升到2mbar，需要多長時間?1x10-6mbarl/sqL=V/tpV=1lp=1mbarqL=1x10-6mbarl/st=V/qL

p=1l/1x10-6mbarl/s1mbar=100000s=277,7h=11,5d13

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006升壓法檢漏事例:容積:V=1m3p:從

p=1·10-3mbar到8·10-3mbarTime:t=5minQL=??Q=

==V

t·p[mbar·l·s-1]1000l

300s·7·10-3mbar2,33·10-2mbar·l·s-1

p=p2–p1=8·10-3–1·10-3=7·10-3mbar漏率

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?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006主要檢漏方法

真空法

整體檢漏(氦氣環(huán)境)

整體檢漏(氦氣內(nèi)充)

局部檢漏

正壓法

局部檢漏(吸槍模式)

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?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006真空法檢漏

整體檢漏Helium3被測容器(真空狀態(tài))1向容器內(nèi)充入氦氣2被測容器3LDPhoeniXL300

檢漏儀4氦氣5輔助泵系統(tǒng)

12

最小可檢漏率<5x10-12mbarl/s16

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006真空法

1真空腔2被測容器3LDPhoeniXL300

檢漏儀4Helium氦氣5輔助泵系統(tǒng)整體檢漏3

最小可檢漏率<5x10-12mbarl/s17

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006真空法局部檢漏1噴槍2被測容器3LDPhoeniXL300

檢漏儀4氦氣5輔助泵系統(tǒng)

3

最小可檢漏率<5x10-12mbarl/s18

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006正壓法

局部檢漏(吸槍模式)

最小可檢漏率<1x10-7mbarl/s!!!1吸槍2被測容器3LDPhoeniXL300檢漏儀4氦氣319

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006分流系統(tǒng)的用于大的泄漏或大型物體的檢漏20

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006分流系統(tǒng)檢漏原理被測容器PhoeniXL300檢漏儀SLD=2,5l/sSP=60m3/h=16,66l/sQHe=3·10-5mbar·l/s分流泵漏率氦氣流被分到兩個方向2,5

2,5+16,66流向

LD

QL:3·10-5·=3,9·10-6mbar·l/s16,66

2,5+16,66流向分流泵

QP:3·10-5·=2,6·10-5mbar·l/sTotal=3·10-5mbar·l/sdisplayLD

leakrateTestleak流量比

=pQHe=Ssum.pQL=SLD.pQL=QHe.SLD/Sp+SLDp=QHe/Ssum

Ssum=SLD+SP21

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006分流系統(tǒng)

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?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006氦氣作為一種理想的檢漏氣體有如下原因在空氣中含量低(只有5ppm),本底濃度低惰性氣體不易燃，易爆對環(huán)境沒有污染在質(zhì)譜儀中和其他相鄰物質(zhì)可以很好的分別比空氣輕氣體分子很小，可以穿過微小的泄漏孔23

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006

氦質(zhì)譜儀

1陰極12陽極3陰極24放大器5離子收集器6離子收集器防護罩7抗干擾裝置8磁場9選擇孔10出口11防護罩24

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006漏率單位對照表25

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006最好的檢漏儀

........26

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006

Leybold最新的氦檢漏儀PhoeniXL30027

?LeyboldVacuum/*/03/02/2023

PhoeniXL300

是著名的氦檢漏儀L200+的升級產(chǎn)品

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?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006

檢漏儀系列產(chǎn)品

使用油封旋片泵

使用膜片式真空泵

使用油封旋片泵>2,5m3/h

使用蝸旋泵>30m3/h

移動檢漏車29

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006

三劍客30

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006顯示器主菜單連接圖Bar模式線圖模式31

?LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006技術(shù)參數(shù)PhoeniXL300PhoeniXL300DryPhoeniXL300ModulLowestdetectableHeleakrate(vacuummode)mbarl/s<5x10-12<3x10-11<5x10-12/<8x10-12Lowestdetectableleakrate(sniffermode)mbarl/s<1x10-7<1x10-7<1x10-8Max.detectableHeleakrate(vacuummode)mbarl/s>0,1>0,1>0,1Max.permissibleinletpressurembar151515Max.permissibleinletpressurewpartialflowsetmbar1000--Pumpingspeedduringpumpdownm32,5(50Hz)3(60Hz)1,6(50Hz)1,8(60Hz)16/20(50/60Hz)D16B25/30(50/60Hz)D25B30/36(50/60Hz)ScrollPumpingspeedforHeliuml/s>2,5>2,5>2,5PumpingspeedwithpartialflowsetandD16Bl/s16(50Hz)PumpingspeedwithpartialflowsetandD25Bl/s25(50H