犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜２４４６９—２００９

電子工業(yè)用氣體５犖氯化氫

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２００９１０１５發(fā)布２００９１２０１實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

書

犌犅／犜２４４６９—２００９

前言

本標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)ＧＢ／Ｔ１４６０２—１９９３《電子工業(yè)用氣體氯化氫》同類產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，結(jié)合原料、生產(chǎn)工藝特

點(diǎn)及半導(dǎo)體工藝對(duì)氯化氫產(chǎn)品的新要求而制定。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)ＧＢ／Ｔ１４６０２—１９９３《電子工業(yè)用氣體氯

化氫》在產(chǎn)品質(zhì)量控制指標(biāo)及其檢驗(yàn)方法上已不適合當(dāng)前半導(dǎo)體工藝的新要求，尤其未能規(guī)定對(duì)半導(dǎo)體

器件質(zhì)量有重要影響的雜質(zhì)———金屬離子的含量。因此，需要制定本標(biāo)準(zhǔn)。

本標(biāo)準(zhǔn)對(duì)雜質(zhì)水、甲烷＋乙炔和金屬離子含量的測(cè)定方法與國(guó)際先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)ＳＥＭＩＣ３．３５１１０１的方

法基本相似，而對(duì)雜質(zhì)氧＋氬、氮和一氧化碳、二氧化碳含量的測(cè)定方法則優(yōu)于標(biāo)準(zhǔn)ＳＥＭＩＣ３．３５１１０１

的方法。

本標(biāo)準(zhǔn)首次提出了氯化氫專用鋼瓶的處理、產(chǎn)品充裝和分裝規(guī)則等。

本標(biāo)準(zhǔn)附錄Ａ、附錄Ｂ為規(guī)范性附錄，附錄Ｃ為資料性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分會(huì)（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）提出并歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：北京華宇同方化工科技開發(fā)有限公司、光明化工研究設(shè)計(jì)院、信息產(chǎn)業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化

四所。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：張吉瑞、孫福楠、劉筠。

Ⅰ

書

犌犅／犜２４４６９—２００９

電子工業(yè)用氣體５犖氯化氫

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氣體５Ｎ氯化氫的技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)

輸、儲(chǔ)存、充裝、分裝和安全要求。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于以工業(yè)氯化氫為原料經(jīng)凈化制得的瓶裝液化氯化氫。

氯化氫主要用于微電子工業(yè)半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中單晶硅片氣相拋光、外延和基座腐蝕工藝。也可用

于硬質(zhì)合金和玻璃表面處理、醫(yī)藥中間體和精細(xì)化學(xué)品制造、科學(xué)研究等領(lǐng)域。

分子式：ＨＣｌ

相對(duì)分子質(zhì)量：３６．４６１（按２００５年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量）

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＧＢ１９０危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

ＧＢ５０９９鋼質(zhì)無縫氣瓶（ＧＢ５０９９—１９９４，ｎｅｑＩＳＯ４７０５：１９８３）

ＧＢ／Ｔ５８３２．２氣體中微量水分的測(cè)定第２部分：露點(diǎn)法

ＧＢ／Ｔ６６８１氣體化工產(chǎn)品采樣通則

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標(biāo)志

ＧＢ１３００４鋼質(zhì)無縫氣瓶定期檢驗(yàn)與評(píng)定

ＧＢ１４１９３液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

ＧＢ１５２５８化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

ＧＢ１５３８２氣瓶閥通用技術(shù)條件

ＧＢ／Ｔ１６９４２電子工業(yè)用氣體氫

ＧＢ／Ｔ１６９４３電子工業(yè)用氣體氦

ＧＢ／Ｔ１６９４４電子工業(yè)用氣體氮

ＧＢ１７２６５液化氣體氣瓶充裝站安全技術(shù)條件

定量包裝商品計(jì)量監(jiān)督管理辦法

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)定

危險(xiǎn)貨物運(yùn)輸規(guī)則

３要求

５Ｎ氯化氫產(chǎn)品的質(zhì)量控制項(xiàng)目及技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表１要求。

表１５犖氯化氫產(chǎn)品的質(zhì)量控制項(xiàng)目及技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目指標(biāo)

氯化氫純度（體積分?jǐn)?shù)）／１０－２≥９９．９９９

氮