ICS71.100.20G86中華人民共和國國家標準GB/T26250—2010電子工業(yè)用氣體砷化氫Gasesforelectronicindustry-Arsine2011-01-14發(fā)布2011-05-01實施中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布中國國家標準化餐理委員會

GB/T26250—2010前本標準的附錄A和附錄B為規(guī)范性附錄本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會(SAC/TC203)提出本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會（SAC/TC203/SC1)歸口本標準起草單位：西南化工研究設(shè)計院、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、光明化工研究設(shè)計院。本標準主要起草人：孫福楠、方華、周鵬云、莊鴻濤、李建浩。

GB/T26250—2010電子工業(yè)用氣體砷化氫1范圍本標準規(guī)定了砷化氫的技術(shù)要求、試驗方法以及包裝、標志、運及安全本標準適用于砷化合物與酸反應(yīng)獲得的砷化氫。在半導(dǎo)體器件制備過程中，砷化氫用于摻雜以及化合物半導(dǎo)體外延分子式：AsH：相對分子質(zhì)量：77.94542（按2007年國際相對原子質(zhì)量計算）規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件.其隨后所有的修改單(不包括勒誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標準,然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。GB190危險貨物包裝標志GB/T3723工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則GB5099鋼質(zhì)無縫氣瓶GB/T5832.1氣體濕度的測定第1部分：電解法GB7144氣瓶顏色標志GB/T8984氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法GB/T11640鋁合金無縫氣瓶GB14193液化氣體氣瓶充裝規(guī)定GB/T26571特種氣體儲存期規(guī)范《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布.2000年)技術(shù)要求神化氫的質(zhì)量應(yīng)符合表1的要求。技術(shù)指標種化氫（AsH。）純度(體積分數(shù)）/10-99.999氧(O.)十氫(Ar)含量(體積分數(shù))/10—氮(N.)含量(體積分數(shù))/10--氧化碳(CO)含量(體積分數(shù))/10-二氧化碳(CO.）含量(體積分數(shù))/10-甲烷(CH,)含量(體積分數(shù))/10-水（H.O)含量(體積分數(shù)）/10化氫(P